隔离结构及装载装置制造方法
【专利摘要】本实用新型提供一种隔离结构，隔板可以通过控制杆的转动而移动。为更好地将此可活动的隔离结构运用到光罩装载中，本实用新型还提供了一种装载装置，用于光罩的装载。实现了先放置好所有光罩，再推动所述把手带动所述控制杆而使得隔板插入光罩间的间隙中，起到隔离作用，即通过隔离解决了光罩倒塌造成成批光罩损毁的问题，也有效防止了隔离板刮伤光罩。
【专利说明】隔离结构及装载装置
【技术领域】
[0001] 本实用新型涉及半导体领域，尤其涉及一种隔离结构及装载装置。
【背景技术】
[0002] 光刻是通过对准、曝光等一系列步骤将光罩上的目标图案转移到晶圆上的工艺过 程。光罩是半导体工业中的重要工具。如图1所示，在某些制程中，光罩1需要被成批地坚 直放置到其装载装置2上，但现有的光罩装载装置2仅有容置光罩的空间，并没有设置挡 板，如此一来，在后续的操作过程中，若出现某一光罩倒塌，则会带动其他光罩倒塌，造成光 罩刮伤报废。
[0003] 在光罩的清洗过程中，上述缺陷尤其明显。装载装置设置在酸槽的旁边，酸液长年 累月加热循环产生的酸雾会腐蚀其周围的电子元件，包括装载装置旁边的感应器。此感应 器用来感应摆放在装载装置上光罩的尺寸，若因为酸雾的腐蚀导致感应器损坏，便无法准 确判断所摆放光罩的尺寸，如此，会使得机械手在抓取光罩时的抓取位置错误，从而导致光 罩倒塌。
[0004] 据此，业界曾采取一种做法，即在光罩装载装置上固定隔离结构以隔开每个光罩。 但是，基于装载装置上光罩的距离较近，隔离结构易造成放置光罩时隔离结构刮伤光罩。
[0005] 因此，如何避免装载装置上的光罩整体倒塌带来严重损失，成为业界亟待解决的 问题。 实用新型内容
[0006] 本实用新型提供一种隔离结构，包括隔板和控制杆，所述控制杆的一端固设于所 述隔板上。
[0007] 可选的，所述控制杆上设置转轴。
[0008] 可选的，所述隔离结构还包括推动杆，垂直固定于所述控制杆，且位于所述转轴与 所述隔板之间，所述推动杆能够带动所述控制杆使所述隔板绕所述转轴转动。
[0009] 可选的，所述隔离结构还包括一底座，所述转轴固设于所述底座上，所述推动杆位 于所述底座中的一容置空间内。
[0010] 可选的，所述推动杆的一端凸出于所述底座，其上具有一把手。
[0011] 可选的，所述底座包含平行所述推动杆的止挡部，以控制所述推动杆的转动范围。
[0012] 可选的，所述控制杆平行固设于所述隔板上。
[0013] 本实用新型还提供和一种装载装置，包含装载台，还包括所述的隔离结构，所述底 座紧邻所述装载台设置。
[0014] 可选的，所述装载台上具有多个装载部且彼此间隔一定间距，所述隔离结构包含 多个所述隔板及控制杆，所述推动杆垂直固定于所述多个控制杆的所述转轴与所述隔板之 间，每一所述隔板正对所述间距设置。
[0015] 可选的，所述隔板的一侧面具有开口。
[0016] 可选的，所述装载台为光罩装载台。
[0017] 相比于现有技术，本实用新型采用一种可活动的隔离结构，隔板可以通过控制杆 的转动而移动。为更好地将可活动的隔离结构运用到光罩装载中，本实用新型还提供了一 种装载装置，用于光罩的装载。实现了先放置好所有光罩，再推动所述把手带动所述控制杆 而使得隔板插入光罩间的间隙中，起到隔离作用，即通过隔离解决了光罩倒塌造成成批光 罩损毁的问题，也有效防止了隔离板刮伤光罩。
【专利附图】
【附图说明】
[0018] 图1是本实用新型所述的光罩放置在容置空间的示意图。
[0019] 图2是本实用新型一实施例所述隔离结构的侧视图。
[0020] 图3是本实用新型一实施例所述装载装置的俯视图。
【具体实施方式】
[0021] 以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的隔离结构及装载装置作进一步 详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是， 附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用 新型实施例的目的。
[0022] 如图2所示，本实施例包含隔板10和控制杆20,控制杆20的一端固设于隔板10 上。具体的，可以通过铆接的方式固定，控制杆20可带动隔板10移动即可。控制杆20平 行于隔板10所在的平面设置。控制杆20上设置转轴30,使得控制杆20可绕着转轴30转 动，优选的，转轴30固定在控制杆20的另一端的端点上。
[0023] 在控制杆20上还具有推动杆40,垂直固定于控制杆20,亦垂直于隔板10所在的 平面。推动杆40位于转轴30和隔板10之间，即位于控制杆20中部的位置，穿过控制杆20 而与控制杆20固定。可通过推动推动杆40而带动控制杆20绕转轴30转动，从而带动隔 板10的转动。为了更方便推动所述推动杆40,在推动杆40上设置一把手41便于操作者握 持并沿图2中箭头方向推动。
[0024] 本实施例的隔离结构还包括底座50,用以支撑整个隔离结构，所述转轴30固设于 所述底座50上，具体的，设置于底座50的下方。推动杆40穿过所述底座50,且位于底座50 的一容置空间51中。所述容置空间51目的在于为推动杆40的运动提供空间，具体的，容 置空间51的形状为月牙形，为两边窄、中间宽的结构，使得推动杆40可在中间较宽的空间 来回运动。把手41设置于推动杆40凸出于底座50的一端，位于底座50的外部，方便操作 者的推动。把手41的数量不以此为限，亦可设置两个把手41，分别凸出于底座50的两端， 以实现双手的操作。
[0025] 为实现隔板10的有限度转动，在底座50内部设置止挡部52。在本实施例中，止挡 部52的数量为两个。具体的，止挡部52为杆状，平行于所述推动杆40,因此垂直于控制杆 20。止挡部51通过止挡控制杆20来控制隔板的转动幅度。
[0026] 以上均为挡板10为单块，仅需一个控制杆20控制的情况。本实用新型不以此为 限，亦可设置多个隔板10和相应连接挡板10的控制杆20,此时推动杆40垂直穿过多个控 制杆，可通过推动把手41控制多个隔板10。具体的控制方式和原理同上，此处不再赘述。
[0027] 根据本实用新型的另一面，将提出的隔离结构运用到光罩装载台，提出了一种装 载装置。如图3所示，图3为所述装载装置的俯视图。装载装置包含上述的隔离结构和光 罩装载台200,装载台200可与传统装载台的结构相同，其包含了多个装载部，且彼此间隔 一定间距。光罩100即分别放置在所述多个装载部中，彼此之间空出一定间距。
[0028] 由于装载台200中存在多个光罩和多个间距，因此隔离结构采用上述多块隔板10 的情况。隔离结构的底座50紧邻装载台200设置，且每块隔板正对光罩100的间距。
[0029] 下面详细说明本装载装置的操作过程。
[0030] 在光罩100经过处理完成后需要首先通过机械手放置在装载台200上，如图3所 示，图3即为放置满光罩100的装载台200,此时隔离结构的每块隔板10正对每块光罩100 之间的间距。
[0031] 推动把手41，带动推动杆40的移动，从而带动所有的控制杆20绕转轴30转动， 由于控制杆20的另一端有隔板10,因此所有隔板10均跟随控制杆20转动，直到推动杆40 被止挡部52挡住而固定，此时所有隔板10均插入到光罩100之间，将所有光罩100分开。
[0032] 为了更好地保护光罩100,所述隔板10的一侧具有一开口。当隔板10进入光罩之 间以后，如果有一光罩100倒塌，贝 1J其会倒在此开口中。由于光罩100多为方形，放置时其 中一个角朝上，因此光罩1〇〇的上部会倒在开口中而被隔板10挡住，避免了其表面被刮伤。 具体的，此开口的形状为圆弧形。
[0033] 本实用新型提出了一种可活动的隔离结构，隔板10可以通过控制杆20的转动而 移动。为更好地将此可活动的隔离结构运用到光罩装载中，本实用新型还提供了一种装载 装置，用于光罩的装载。实现了先放置好所有光罩100,再推动所述把手41带动所述控制杆 20而使得隔板10插入光罩100间的间隙中，起到隔离作用，即通过隔离解决了光罩100倒 塌造成成批光罩100损毁的问题，也有效防止了隔板10刮伤光罩100。
[0034] 上述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不对本实用新型起到任何限制作用。 任何所属【技术领域】的技术人员，在不脱离本实用新型的技术方案的范围内，对本实用新型 揭露的技术方案和技术内容做任何形式的等同替换或修改等变动，均属未脱离本实用新型 的技术方案的内容，仍属于本实用新型的保护范围之内。
【权利要求】
1. 一种隔离结构，其特征在于：包括隔板和控制杆，所述控制杆的一端固设于所述隔 板上。
2. 如权利要求1所述的隔离结构，其特征在于：所述控制杆上设置转轴。
3. 如权利要求2所述的隔离结构，其特征在于：还包括推动杆，垂直固定于所述控制 杆，且位于所述转轴与所述隔板之间，所述推动杆能够带动所述控制杆使所述隔板绕所述 转轴转动。
4. 如权利要求3所述的隔离结构，其特征在于：还包括一底座，所述转轴固设于所述底 座上，所述推动杆位于所述底座中的一容置空间内。
5. 如权利要求4所述的隔离结构，其特征在于：所述推动杆的一端凸出于所述底座，其 上具有一把手。
6. 如权利要求4所述的隔离结构，其特征在于：所述底座包含平行所述推动杆的止挡 部，以控制所述推动杆的转动范围。
7. 如权利要求1-6任意一项所述的隔离结构，其特征在于：所述控制杆平行固设于所 述隔板上。
8. -种装载装置，包含装载台，其特征在于，还包括如权利要求4-6任意一项所述的隔 离结构，所述底座紧邻所述装载台设置。
9. 如权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述装载台上具有多个装载部且彼此 间隔一定间距，所述隔离结构包含多个所述隔板及控制杆，所述推动杆垂直固定于所述多 个控制杆的所述转轴与所述隔板之间，每一所述隔板正对所述间距设置。
10. 如权利要求8所述的装载装置，其特征在于：所述隔板的一侧面具有开口。
11. 如权利要求8至10中任意一项所述的装载装置，其特征在于：所述装载台为光罩 装载台。
【文档编号】G03F1/82GK203894531SQ201420147567
【公开日】2014年10月22日 申请日期:2014年3月28日 优先权日:2014年3月28日
【发明者】毛晓峰 申请人:中芯国际集成电路制造(北京)有限公司