技术总结
本发明公开一种照明系统以及使用其形成鳍状结构的方法。该照明系统包括用于产生一光线的一光源以及一不透明板。不透明板设置于光源以及一光掩模之间，且不透明板包括一环形开口以及一双极开口。环形开口具有一内侧边以及一外侧边。双极开口包括至少一第一开口以及至少一第二开口，其中第一开口与第二开口分别与环形开口相连接，并分别从环形开口的外侧边延伸出，且第一开口与第二开口对称于环形开口的一中心点设置。
技术研发人员：刘恩铨;童宇诚
受保护的技术使用者：联华电子股份有限公司
文档号码：201510160096
技术研发日：2015.04.07
技术公布日：2016.11.23