一种用于制备显示基板的曝光系统及曝光控制方法与流程

文档序号:12593492阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种用于制备显示基板的曝光系统,其特征在于,所述曝光系统包括曝光设备、检测设备以及分别与所述曝光设备和所述检测设备进行通讯的用户主机,其中所述检测设备用于对经所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标进行检测,并发送到所述用户主机,所述用户主机根据检测的所述显示基板的产品指标与标准指标计算校正数据,并将所述校正数据发送到所述曝光设备,所述曝光设备根据所述校正数据对所述曝光设备的运行参数进行校正,进而使得经校正后的所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标更接近所述标准指标。

2.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于,所述用户主机进一步从所述曝光设备获取与所述显示基板对应的曝光流程的标识,并将所述标识发送至所述检测设备,所述检测设备进一步将所述标识与检测的所述显示基板的产品指标进行关联后发送回所述用户主机,所述用户主机进一步将所述校正数据与所述标识进行关联后发送到所述曝光设备,以使所述曝光设备能够根据所述校正数据对所述标识所对应的曝光流程的运行参数进行调整。

3.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于,所述显示基板为彩色滤光片基板,所述产品指标为设置于所述彩色滤光片基板的显示区域外围的至少两个标记点的坐标或者所述至少两个标记点之间的间距。

4.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于,所述用户设备进一步判断所述检测的所述显示基板的产品指标与标准指标之间的差异是否在预设误差许可范围内,若在所述预设误差许可范围内,则不发送所述校正数据到所述曝光设备,若超出所述预设误差许可范围,则发送所述校正数据到所述曝光设备。

5.根据权利要求1所述的曝光系统,其特征在于,所述校正数据至少包括所述产品指标与所述标准指标之间的差值。

6.一种用于制备显示基板的曝光控制方法,其特征在于,所述方法包括以下步骤:

在用户主机与曝光设备和检测设备之间建立通讯连接;

由所述检测设备对经所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标进行检测,并发送到所述用户主机;

由所述用户主机根据检测的所述显示基板的产品指标与标准指标计算校正数据,并将发送到所述曝光设备;

由所述曝光设备根据所述校正数据对所述曝光设备的运行参数进行校正,进而使得经校正后的所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标更接近所述标准指标。

7.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,在所述由所述检测设备对经所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标进行检测,并发送到所述用户主机步骤之前,进一步包括:

由所述用户主机从所述曝光设备获取与所述显示基板对应的曝光流程的标识,并将所述标识发送至所述检测设备;

所述由所述检测设备对经所述曝光设备曝光后形成的显示基板的产品指标进行检测,并发送到所述用户主机的步骤包括:

由所述检测设备将所述标识与检测的所述显示基板的产品指标进行关联后发送回所述用户主机;

所述由所述用户主机根据检测的所述显示基板的产品指标与标准指标计算校正数据,并将发送到所述曝光设备的步骤包括:

由所述用户主机将所述校正数据与所述标识进行关联后发送到所述曝光设备;

所述由所述曝光设备根据所述校正数据对所述曝光设备的运行参数进行校正的步骤包括:

由所述曝光设备根据所述校正数据对所述标识所对应的曝光流程的运行参数进行调整。

8.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述显示基板为彩色滤光片基板,所述产品指标为设置于所述彩色滤光片基板的显示区域外围的至少两个标记点的坐标或者所述至少两个标记点之间的间距。

9.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述由所述用户主机根据检测的所述显示基板的产品指标与标准指标计算校正数据,并将发送到所述曝光设备的步骤包括:

由所述用户设备进一步判断所述检测的所述显示基板的产品指标与标准指标之间的差异是否在预设误差许可范围内;

若在所述预设误差许可范围内,则不发送所述校正数据到所述曝光设备;

若超出所述预设误差许可范围,则发送所述校正数据到所述曝光设备。

10.根据权利要求6所述的方法,其特征在于,所述校正数据至少包括所述产品指标与所述标准指标之间的差值。

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