一种曝光装置的制作方法

本发明涉及光学加工技术领域，尤其涉及一种曝光装置。

背景技术：

使用曝光机进行曝光时，一般需要使用挡板，挡板中设有曝光孔，光源将对产品中与该曝光孔正对应的区域进行曝光，从而在产品上形成所需的图形。然而，光在直线传播过程中遇到挡板会发生衍射现象，即在曝光孔的侧边处发生衍射，产品中与衍射区对应的区域也会存在一定程度的曝光，这就导致产品的实际制作形状与所需的形状差异较大，大大降低曝光机的曝光精确度，同时影响产品的质量。

故，有必要提供一种曝光装置，以解决现有技术所存在的问题。

技术实现要素：

本发明提供一种曝光装置，以解决因挡板中曝光孔侧边产生衍射光而使得产品中不需要曝光的地方被曝光，进而降低曝光精确度的技术问题。

本发明实施例提供一种曝光装置，用于对待曝光基板进行曝光，其包括：挡板组件和透镜组件，所述挡板组件设有曝光孔；所述透镜组件设置在所述挡板组件与所述待曝光基板之间，所述透镜组件用于将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述透镜组件置于所述曝光孔的侧边对应的衍射区；所述透镜组件包括沿所述曝光孔的轴向方向间隔设置的第一透镜和第二透镜，所述第一透镜和第二透镜均为凸透镜沿其主光轴切割形成的半透镜结构；所述挡板组件设置在所述第一透镜的焦距上，所述待曝光基板设置在所述第二透镜的焦距上。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述第一透镜和第二透镜的切割面均与所述曝光孔的侧边相齐平。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述第一透镜的焦距和所述第二透镜的焦距相等。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述挡板组件为一个平板，所述挡板组件中设有所述曝光孔。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述挡板组件包括至少两个可移动的挡板，至少两个所述挡板围成所述曝光孔。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述第一透镜和第二透镜的直径均与所述曝光孔的侧边的长度相同。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述第一透镜和第二透镜的直径均与所述挡板的侧边的长度相同。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述曝光装置还包括固定支架，所述固定支架用于固定所述挡板组件与所述透镜组件，以使得所述挡板组件与所述透镜组件形成整体结构。

在本发明实施例提供的曝光装置中，所述第一透镜和第二透镜的材质包括聚甲基丙烯酸甲酯。

本发明提供了一种曝光装置，其通过在所述挡板组件与待曝光基板之间设置所述透镜组件，使得所述透镜组件可以将所述曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在所述待曝光基板的待曝光区域，从而提高曝光装置的曝光精确度，提升待曝光基板的曝光品质。

附图说明

图1为本发明实施例提供的曝光装置中挡板组件的俯视结构示意图；

图2为图1中所示的挡板组件沿箭头a-a方向的截面示意图；

图3为本发明实施例提供的曝光装置中挡板组件的另一结构示意图；

图4为本发明实施例提供的曝光装置的截面结构示意图；

图5为图4所示的曝光装置中挡板组件与透镜组件的位置关系俯视示意图。

具体实施方式

以下各实施例的说明是参考附加的图式，用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等，仅是参考附加图式的方向。因此，使用的方向用语是用以说明及理解本发明，而非用以限制本发明。

在图中，结构相似的单元是以相同标号表示。

请参照图1至图5所示。本发明实施例提供一种曝光装置，其包括挡板组件11和透镜组件12。

请参见图1所示，图1为本发明实施例提供的曝光装置中挡板组件的俯视结构示意图。挡板组件11包括四个挡板，分别为第一挡板1111、第二挡板1112、第二挡板1113和第二挡板1114。

四个挡板可以相互移动以围成曝光孔112。具体地，第二挡板1112和第四挡板1114处于同一平面上，两者可以向相互靠近或远离的方向移动，即在图1所示的俯视图中左右方向移动，以控制曝光孔112在左右方向上的宽度。

第一挡板1111和第三挡板1113处于同一平面上，且第一挡板1111和第三挡板1113处于第二挡板1112和第四挡板1114的上面。第一挡板1111和第三挡板1113可以向相互靠近或远离的方向移动，即在图1所示的俯视图中上下方向移动，以控制曝光孔112在上下方向上的宽度。

为了可以更清楚地说明第一挡板1111和第三挡板1113与第二挡板1112和第四挡板1114之间的层次关系，本实施例给出了图1中沿箭头a-a方向的界面示意图，请参见图2所示。

从图2中可以清楚地看到，第三挡板1113搭载在第二挡板1112和第四挡板1114上。可以理解的是，第一挡板1111同样搭载在第二挡板1112和第四挡板1114上。

当然，在其他实施例中，第一挡板1111和第三挡板1113也可以置于第二挡板1112和第四挡板1114的上方，且均不与第二挡板1112和第四挡板1114接触。

通过调节第一挡板1111和第三挡板1113之间的距离以及第二挡板1112和第四挡板1114之间的距离就可以获得不同尺寸的曝光孔112，使得该挡板组件11可以在多个曝光面积需求下使用，提高挡板组件11的灵活性。

可以理解的是，挡板组件11所包括挡板的个数不限于四个，可以两个、三个或更多个均可。当挡板个数为两个时，如仅有图1中第二挡板1112和第四挡板1114时，两个挡板围成一条狭缝状的曝光孔112。当挡板的个数为三个时，三个挡板可以围成三角形状的曝光孔112。在此，不对挡板的个数以及曝光孔112的形状做限定。

请参见图3所示，在一实施例中，挡板组件11也可以为一平板，在挡板组件11中设有曝光孔112。也就是说，将挡板组件11中间挖空以形成曝光孔112，曝光孔112的尺寸和形状根据实际需求来设定。

请参见图4所示，图4为本发明实施例提供的曝光装置的截面结构示意图。在图4所示的曝光装置中，挡板组件11采用图1所示的结构，即由四个挡板组成，为了更加清晰地展现曝光装置中各个部件的位置关系，图4的截面结构示意图中未示出第一挡板1111或第三挡板1113及其相对应的部件。

如图4所示，透镜组件12设置在挡板组件11和待曝光基板13之间，用于将曝光孔112的侧边产生的衍射光线会聚在待曝光基板13的待曝光区域。其中，待曝光基板13中与曝光孔112正对应的区域为待曝光区域，与挡板组件11中除曝光孔112以外部分正对应的区域为非曝光区域。

在这里，待曝光基板13可以为一基板载物台，该基板载物台用于盛放待曝光产品，或者也可以直接为待曝光产品，在此不做具体限制。

在一实施例中，透镜组件12包括沿曝光孔112的轴向方向间隔设置的第一透镜121和第二透镜122。其中，曝光孔112的轴向方向是指挡板组件11至待曝光基板13的方向。

第一透镜121和第二透镜122置于曝光孔112的边侧对应的衍射区，即该透镜组件12置于曝光孔112的侧边对应的衍射区。以图4中第四挡板1114为例，曝光孔112的侧边，即第四挡板1114的侧边发生衍射时，衍射光线会入射到第四挡板1114的正下方，该衍射光线所在的区域即为衍射区。

由于曝光孔112有四个侧边，而每个侧边都会发生衍射，即将对应有四个衍射区。为了将每个侧边产生的衍射光线均会聚到待曝光区域，在本实施例中，透镜组件12的个数为四个，每个透镜组件12均与曝光孔12的一个侧边相对应，即四个透镜组件12分别设置在四个衍射区的相应位置。

图4中仅仅示出了与第二挡板1112和第四挡板1114对应的两个透镜组件12。根据图4所示位置关系，可以很容易地得到另外两个透镜组件12分别与第一挡板1111和第三挡板1113的位置关系。

在本实施例中，第一透镜121和第二透镜122均为凸透镜沿其主光轴切割形成的半透镜结构。

为了更加清晰地展现透镜组件12与挡板组件11之间的位置关系，本发明实施例给出了挡板组件11与透镜组件12的位置关系俯视示意图，如图5所示。

在图5中，每个挡板的正下方均对应设置一个透镜组件12，由于该俯视图是从挡板组件11向待曝光基板13方向看去，因此透镜组件12为不可见的。

从图4和图5中可以看出，第一透镜121和第二透镜122的切割面均与曝光孔112的侧边相齐平，这里，切割面为经过主光轴的面。这样第一透镜121和第二透镜122可以不影响曝光孔112正对应区域的光线分布，即不影响待曝光基板13中待曝光区域的曝光质量。

由于挡板组件11中四个挡板为可移动的，即曝光孔112的大小为可调的，为了使得不同尺寸的曝光孔112均可以使用四个透镜组件12来将衍射光会聚在待曝光区域，第一透镜121和第二透镜122的直径均与相应挡板的侧边的长度相同。

例如，四个挡板的尺寸为200厘米×100厘米，且四个挡板均采用100厘米的侧边围成尺寸为20厘米×20厘米的曝光孔112，则第一透镜121和第二透镜122的直径为100厘米。这样，在曝光孔112的尺寸为40厘米×40厘米的情况下，第一透镜121和第二透镜122依然可以使得曝光孔112的侧边产生的衍射光会聚在待曝光区域。

为了可以保持透镜组件12与其相对应挡板之间的位置关系，便于实际操作，节省操作时间，在一实施例中，曝光装置还包括固定支架14，如图4和图5所示。固定支架14包括支架部141、第一半环固定部142a和第二半环固定部142b。

第一半环固定部142a和第二半环固定部142b均为半环形状，第一半环固定部142a用于包住第一透镜121的边缘，以使得第一透镜121卡在第一半环固定部142a内，第二半环固定部142b用于包住第二透镜122的边缘，以使得第二透镜122卡在第二半环固定部142b内。

第一半环固定部142a和第二半环固定部142b均固定在支架部141的一端。支架部141的另一端为折弯状，折弯的部分固定在与透镜组件12相对应的挡板上。这样挡板与其相对应透镜组件12就形成整体结构，在实际操作过程中，只需要调整各个挡板之间的位置即可，无需在调整透镜组件12的位置。

另外，在该实施例中，第一半环固定部142a和第二半环固定部142b为尺寸相同的结构，在图5所示的俯视图中，仅仅示意出了第一半环固定部142a，可以理解的是，第二半环固定部142b在俯视图中的位置与第一半环固定部142a的位置相同。

可以理解的是，固定支架14也可以采用其他形状，图4和图5中所示的固定支架14仅仅是多种固定支架中的一种。另外，透镜组件12也可以单独控制，即不与相应挡板固定成整体结构，这样在实际操作过程中，需要分别调整挡板组件11和透镜组件12的位置。

在其他实施例中，若挡板组件11采用图3所示的平板型的结构，此时，第一透镜121和第二透镜122的直径可以与曝光孔112的侧边的长度相同。当然，此种情况下，第一透镜121和第二透镜122的直径也可以大于曝光孔112的侧边的长度。

可以理解的是，当挡板组件11采用图3所示的平板型的结构时，透镜组件12也可以通过图4和图5中所示的固定支架14与挡板组件11固定成整体结构。

为了可以将曝光孔112的侧边产生的衍射光线重新会聚在待曝光区域，在本实施例中，挡板组件11置于第一透镜121的焦距上，待曝光基板13设置在第二透镜122的焦距上。这样，曝光孔112的侧边产生的衍射光线通过第一透镜121变成平行衍射光线，该平行衍射光线再通过第二透镜122会聚在待曝光区域。

根据透镜对光线的作用原理可知，曝光孔112的侧边产生的衍射光线经过透镜组件12后将被重新会聚在与曝光孔112的侧边正对应的区域，这样可以避免非待曝光区域被衍射光线曝光，影响曝光装置的精确度。同时，衍射光线被会聚在待曝光区域的边缘处，不会影响待曝光区域内各处光线强度，使得待曝光区域内各处曝光更加均匀。

另外，根据透镜对光线的作用原理可知，当挡板组件11和待曝光基板13均置于透镜的焦距上时，第一透镜121与第二透镜122之间的距离不限。第一透镜121和第二透镜122之间的距离可以根据实际需求设置。

在本实施例中，第一透镜121的焦距和第二透镜122的焦距相等。当然，在其他实施例中，第一透镜121的焦距和第二透镜122的焦距也可以不相等，在此不做具体限制。另外，第一透镜121和第二透镜122的材质包括聚甲基丙烯酸甲酯。

另外，在其他实施例中，透镜组件12的个数不局限于4个，可以更少，如1个或2个或3个。当曝光孔112的侧边数量超过四个时，透镜组件12的数量也可以超过4个。

同时，图4和图5中所示的第一透镜121和第二透镜122的组合仅仅是透镜组件12实现其功能的多种结构中的一种，在其他实施例中，透镜组件12可以采用其他结构，只要透镜组件12可以实现将衍射光线会聚在待曝光区域即可，在此不做具体限制。

另外，在其他实施例中，曝光装置还可以进一步包括曝光用的光源和/或掩膜板等部件。

本发明实施例提供一种曝光装置，其通过在挡板组件与待曝光基板之间设置透镜组件，使得透镜组件可以将曝光孔的侧边产生的衍射光线会聚在待曝光基板的待曝光区域，从而提高曝光装置的曝光精确度，提升待曝光基板的曝光品质。

综上所述，虽然本发明已以优选实施例揭露如上，但上述优选实施例并非用以限制本发明，本领域的普通技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与润饰，因此本发明的保护范围以权利要求界定的范围为准。