硬掩模用组合物的制作方法

技术特征：

技术总结
本发明涉及硬掩模用组合物，更详细而言，所述硬掩模用组合物通过包含分子内含有两个以上叔醇基的化合物和溶剂，能够形成耐热性优异的下层膜(硬掩模)。

技术研发人员：崔汉永;梁敦植;金相泰;成始震
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司
技术研发日：2017.04.06
技术公布日：2017.11.10