彩色滤光片基板及其制作方法与流程

文档序号:12716044阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种彩色滤光片基板,包括基板(1),其特征在于:还包括黑色矩阵(2)、色阻层(3)、透明电极层(5)、主间隙粒子(7)以及副间隙粒子(6),在黑色矩阵(2)或色阻层(3)上位于副间隙粒子(6)位置处分别设有第一沉孔(4),使透明电极层(5)上形成第二沉孔(8),副间隙粒子(6)设于第二沉孔(8)内,从而使副间隙粒子(6)与主间隙粒子(7)之间形成高度差。

2.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板,其特征在于:所述黑色矩阵(2)上位于副间隙粒子(6)位置处分别设有第一沉孔(4)。

3.根据权利要求1所述的彩色滤光片基板,其特征在于:所述色阻层(3)上位于副间隙粒子(6)位置处分别设有第一沉孔(4)。

4.根据权利要求3所述的彩色滤光片基板,其特征在于:所述黑色矩阵(2)上位于副间隙粒子(6)处还设有第三沉孔(9)。

5.根据权利要求3所述的彩色滤光片基板,其特征在于:所述色阻层(3)的高度高于黑色矩阵(2)的高度,相邻两个颜色相同并且位于同一列中的色阻层(3)彼此相连形成长条形。

6.根据权利要求1至5任意一项所述的彩色滤光片基板,其特征在于:在透明电极层(5)的纵横方向上均为每八个副间隙粒子(6)设置一个主间隙粒子(7)。

7.一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于:包括如下步骤:

提供一基板(1);

在基板(1)上形成黑色矩阵(2);

在黑色矩阵(2)上位于副间隙粒子(6)处形成第一沉孔(4);

在黑色矩阵(2)上形成色阻层(3);

采用掩模版通过黄光制程将第一沉孔(4)中的色阻层(3)去除;

在色阻层(3)以及第一沉孔(4)上形成透明电极层(5),所述透明电极层(5)上位于第一沉孔(4)上形成第二沉孔(8);

在第二沉孔(8)中形成副间隙粒子(6)以及在透明电极层(5)上形成主间隙粒子(7),使副间隙粒子(6)与主间隙粒子(7)之间形成高度差。

8.一种彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于:包括如下步骤:

提供一基板(1);

在基板(1)上依次形成黑色矩阵(2)以及色阻层(3);

在色阻层(3)上位于副间隙粒子(6)处形成第一沉孔(4);

在色阻层(3)以及第一沉孔(4)上形成透明电极层(5),所述透明电极层(5)上位于第一沉孔(4)上形成第二沉孔(8);

在第二沉孔(8)中形成副间隙粒子(6)以及在透明电极层(5)上形成主间隙粒子(7),使副间隙粒子(6)与主间隙粒子(7)之间形成高度差。

9.根据权利要求8所述的彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于:在黑色矩阵(2)上位于副间隙粒子(6)处还形成有第三沉孔(9)。

10.根据权利要求7-9任意一项所述的彩色滤光片基板的制作方法,其特征在于:所述第二沉孔(8)的孔径为10-15um,深度为0.4-0.6um。

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