技术特征：
技术总结
本发明提出一种显影装置以及显影方法。该显影装置包括第一旋转基台以及第一喷淋机构；第一旋转基台设于显影区，所述第一旋转基台的第一承载平面能够旋转且为倾斜设置，所述第一承载平面用于承载待显影的玻璃基板；第一喷淋机构的喷淋面与所述第一承载平面正对，所述第一喷淋机构用于向所述玻璃基板喷淋显影液。使用本发明的显影装置及显影方法能够避免下侧边的显影液被稀释导致的光刻图形的线宽不均匀的问题，提高精细度。
技术研发人员：吴春晖;余世荣;蒋盛超;安予生;喻琨
受保护的技术使用者：京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司
技术研发日：2017.06.12
技术公布日：2017.08.18