技术特征：
技术总结
本发明提供一种抗蚀剂剥离液组合物及利用其的抗蚀剂的剥离方法，所述抗蚀剂剥离液组合物的特征在于，包含下述化学式1所表示的化合物和有机碱化合物，下述化学式1中，R为C2～C12烃基，其中，上述烃基被选自由烷氧基、羟基、羧基、氨基、磺酰基和氰基组成的组中的一种以上基团取代或非取代。上述抗蚀剂剥离液组合物即使在具有亲核性高或具有强碱的组成的情况下，也会因包含化学式1所表示的化合物而具有强防腐蚀力效果。[化学式1]。
技术研发人员：高京俊;金圣植;金正铉;李喻珍;崔汉永
受保护的技术使用者：东友精细化工有限公司
技术研发日：2017.10.11
技术公布日：2018.04.24