一种强局域、低损耗的杂化表面等离子体波导的制作方法

文档序号:15977884发布日期:2018-11-16 23:59阅读:来源:国知局

技术特征:

技术总结
本发明涉及一种强局域、低损耗的杂化表面等离子体波导,从上到下依次由高折射率介质覆盖层、低折射率介质覆盖层、金属条层和衬底组成,所述金属条层为两块,所述低折射率介质覆盖层为T形,所述低折射率介质覆盖层包括第一低折射率介质覆盖层和第二低折射率介质覆盖层,所述第二低折射率介质覆盖层的两侧分别与所述金属条层贴合,所述第一低折射率介质覆盖层上方与所述高折射率介质覆盖层贴合,所述金属条层、所述第二低折射率介质覆盖层下方与所述衬底贴合。本发明的设计思想避免了传统的光场能量高度局域在金属中而引起的欧姆能量损耗。

技术研发人员:吕柳;胡素素;曾玮琪;徐健
受保护的技术使用者:江苏大学
技术研发日:2018.05.17
技术公布日:2018.11.16
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