专利名称:基板传送方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种基板的传送方法以及装置，更详细而言，涉及对小型液晶面板等的基板进行清洗时，可以确实进行清洗并传送此基板的方法以及装置。
背景技术：
先前，在制造液晶面板的过程中，将2块玻璃基板贴合之后切割成预定尺寸，在切割成预定尺寸后的玻璃基板(以下称为液晶玻璃基板)两面粘上偏光板(polarizing plate)，以此获得液晶面板。然而，在将玻璃基板切割成预定尺寸的步骤中，会产生称为碎玻璃(cullet)的玻璃屑，并附着在液晶玻璃基板的表面上。若在这种状态下将偏光板粘在液晶玻璃基板上，则碎玻璃将作为异物存在于液晶玻璃基板和偏光板之间而引发问题。所以，需要在玻璃基板的切割步骤之后，利用碎玻璃清洗机的薄片状研磨构件等，对液晶玻璃基板表面进行研磨清扫以除去碎玻璃。接着，经过对液晶玻璃基板进行清洗水的水洗以及干燥的步骤，在完全除去液晶玻璃基板表面的碎玻璃之后，再进行偏光板的粘贴步骤。
在此，关于所述各步骤中的液晶玻璃基板的传送方法，众所周知有传送辊(transfer roller)方式，即，跨架并支撑多个传送辊且使之两端旋转自如，将液晶玻璃基板放置在这些传送辊上进行传送。
所述水洗以及干燥步骤中，在辊式的传送辊上传送液晶玻璃基板，且利用喷嘴(jet nozzle)从上下部喷射清洗水，以清洗液晶玻璃基板的两个表面。接着，由气刀(air knife)喷射高压气体，吹去附着在液晶玻璃基板表面的水分，以干燥液晶玻璃基板的表面。
但是，因为由气刀喷射气体，所以存在因其压力而使液晶玻璃基板曲折行进的问题，而众所周知的是，在气刀的正前方设置将液晶玻璃基板按压在传送辊上的基板排列用喷嘴(例如，专利文献1)。
另外，众所周知还有如下方法当进行超声波清洗时，为了防止由于超声波清洗而使传送辊上的液晶玻璃基板振动破损，对向于传送辊设置宽平皮带(flat belt)以覆盖整个液晶玻璃基板，通过平皮带和传送辊夹持并传送液晶玻璃基板(例如专利文献2)。
日本专利特开2003-112134号公报[专利文献2]日本专利特开2001-9396号公报近来，便携式设备发展起来，使得移动电话等所使用的液晶面板等0.5～6英寸的小型基板大量生产，所以用来制造它们的制造装置也必须小型化。
但是，当将所述专利文献1以及专利文献2中的传送辊方式应用于小型基板制造装置的传送机构时，必须使相邻传送辊之间的距离(间距，pitch)窄于大型基板的传送装置，否则将会导致小型基板从间隙之间落下。
为了使上述多个传送辊的间距变窄，必需缩小传送辊轴的直径，因而存在传送辊轴的强度降低而发生弯曲的问题。另外，考虑到该强度降低的情况，必需对传送辊轴的两侧加以支撑，故而存在维护性也相当差的问题。
另外，若使传送辊的间距变窄则所需传送辊的根数也要增加，所以存在传送装置的成本会增加的问题，并且由于传送辊之间的间隔变窄，所以存在清洗水或气体难以到达，使得对基板的清洗及干燥效果变差的问题。
另外，专利文献2的传送构造中，由于平皮带的整个面支撑着上侧，所以存在清洗水仅能到达基板的单面，而无法同时清洗基板的两面的问题。
发明内容本发明为了解决所述问题，提供一种基板传送方法及其装置，在传送基板时即使小型基板也不会落下，传送装置的成本不会增加，对基板的清洗及干燥效果不会变差，且装置维护性得到提升。并且当清洗时即使提高清洗水压、气压也不会导致基板曲折行进或落下等。
为解决所述课题，本发明的第1发明提出一种基板传送方法，其特征在于在基板传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊，在各支撑辊与相邻支撑辊之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带(transport round belt)，并在由传送路径上下的传送圆皮带夹持基板的状态下使支撑辊旋转，从而沿着传送路径传送基板。
另外，本发明的第2发明提出一种基板传送装置，其特征在于包括多个支撑辊，设置在基板的传送路径的上下，且轴心和传送路径正交；多条循环状的传送圆皮带，与传送路径平行而跨架在各支撑辊与相邻支撑辊之间；以及，驱动装置，使所述支撑辊旋转；该基板的传送装置是在利用跨架在上下支撑辊上的传送圆皮带夹持处于传送路径上的基板的状态下，通过支撑辊的旋转使基板沿着传送路径传送。
另外，本发明的第3发明是如本发明第2发明所述的基板传送装置，其特征在于采用的结构是面向传送路径位于中间位置的各支撑辊上，交替配置着一侧跨架在相邻支撑辊之间的传送圆皮带、和另一侧跨架在相邻支撑辊之间的传送圆皮带。
另外，本发明第4发明是如本发明第2发明或第3发明任何一项所述的基板传送装置，其特征在于采用的结构是位于传送路径下方的支撑辊的一个端部是由下部支撑架而进行轴支撑；位于传送路径上方的支撑辊的一个端部是由上部支撑架而进行轴支撑；且下部支撑架和上部支撑架在上下方向上以活动自如的方式而相互接近分离。
根据所述本发明第1发明以及本发明第2发明所述，通过将传送圆皮带跨架在多个支撑辊之间，使基板始终由传送圆皮带支撑，因而即使基板变小，也无需如传统传送辊方式那样缩小支撑辊的间距，则不会因增加支撑辊的根数而增加成本。并且，由于能够保持宽大的辊间间隔，所以可以容易地对清洗喷嘴等进行设置，而使得对基板的清洗及干燥效果也得到提升。
另外，因无需使支撑辊变细，故可以保持辊轴的强度，也能够单侧对支撑辊加以轴支撑，而使维护性也得到提升。
另外，由于在借由传送圆皮带夹持基板的上下面的状态下，不会因清洗等时的压力而引发基板的曲折行进、横向偏移或落下等，可以进行稳定传送。所以，可以进一步加强清洗时的水压及干燥时的气压，因此对基板的清洗及干燥效果可得到提升。
另外，由于传送圆皮带的横截面为圆形，所以传送时不会损伤基板，基板和传送圆皮带的接触也大致成线接触状态，因此清洗时的水或干燥时的气体将充分到达整个基板。
并且，即使基板的尺寸发生改变，只要是宽度在支撑辊尺寸范围以内的基板，就可以直接使用该传送装置，不会如传统传送辊方式时那样需要改变传送辊的间距，所以变更基板时的操作成本也会降低。
其次，根据本发明第3发明所述，在面向传送路径位于中间位置的各支撑辊上，交替配置着向一侧延伸的传送圆皮带、和向另一侧延伸的传送圆皮带。所以，在各支撑辊位置上，利用两条沿着传送路径的前后传送圆皮带，可以稳定地进行基板的交接，伴随着夹持基板的传送圆皮带的变换而并不会发生基板的横向偏移或曲折行进。并且，由于接触基板的传送圆皮带的位置在通过支撑辊时会发生改变，所以若在该支撑辊的前后配置2个清洗喷嘴或气刀，则水或气体将会遍及整个基板，可以使对基板的清洗或干燥效果进一步提升。
其次，根据本发明第4发明所述，传送路径上下的各支撑辊各自的一个端部由下部支撑架和上部支撑架进行轴支撑，且所述上下支撑架在上下方向上以活动自如的方式而接近分离，所以易于从各支撑辊并未受到轴支撑的另一端部入手进行维护。并且，可使上下支撑架分离开，从而维护性进一步得到提升。
图1是表示使用了本发明基板传送装置的液晶面板的偏光板粘贴装置整体结构的平面图。
图2是应用了本发明基板传送装置的清洗装置纵剖后的正视图。
图3是应用了本发明基板传送装置的清洗装置纵剖后的平面图。
图4(a)、(b)是使用了本发明基板传送装置的清洗装置的右侧视图。
图5是表示本发明的动作的一部分放大说明图。
图6是表示使用本发明基板传送装置时的清洗状态的说明图。
A基板 18升降汽缸B偏光板 19支撑辊轴C液晶面板 20支撑辊1碎玻璃清洗机 21传送圆皮带2薄片清洗机 22清洗机构3清洗装置 23清洗喷嘴4水洗区域 24气刀5干燥区域 25导入孔6偏光板粘贴装置 26排出孔7偏光板收纳部 8离型片剥离装置9偏光板供给位置 10偏光板粘贴机11机座 12机壳13支撑架 14下部支撑架15导轴 16导件17上部支撑架具体实施方式
图1是表示包含本发明基板的传送装置的液晶玻璃基板的偏光板粘贴装置整体的平面图。
液晶玻璃基板(以下简称为基板A)在未图示的前一步骤中被切割成预定尺寸，并送进碎玻璃清洗机1中，以除去切割时附着在基板A表面的玻璃屑(碎玻璃)。在薄片清洗机2中，通过研磨薄片等将附着在基板A表面的碎玻璃剥落且进行清洗后，经由清洗装置3中的水洗区域4以及干燥区域5，将基板A表面的碎玻璃完全除去。之后将基板A传送到偏光板粘贴装置6中，在基板A的两面贴上偏光板B，从而制成液晶面板C。
如图所示，偏光板粘贴装置6分隔成右侧的前段和左侧的后段，前段以及后段分别邻接偏光板收纳部7，此偏光板收纳部7收纳偏光板B并且向基板A供给偏光板B。于偏光板收纳部7内设置离型片剥离装置8，离型片剥离装置8用于剥离覆盖偏光板B粘贴面的离型片(未图示)。另外，在基板A的传送路径上，在前段以及后段分别设置偏光板供给位置9以及偏光板粘贴机10，其中，在偏光板供给位置9处使偏光板B重叠于基板A上，而偏光板粘贴机10是通过未图示的粘贴辊的推压等，以将偏光板B粘贴在基板A上。并在前段和后段之间，利用未图示的适当装置以将基板A的背面翻转过来，由此在经由前段以及后段的偏光板粘贴机10后的基板A的两面上粘贴偏光板B，从而制成液晶面板C。其后，转送到图示左侧的下一步骤中。
图2至图4(a)、(b)表示使用了本发明传送装置的清洗装置3。密闭状的机壳12设在机座11上，在机壳12的后方外侧竖直设在机座11上的支撑架13，其向前的延长部进入机壳12的内部。在机壳12内的前端固定支撑着下部支撑架14，下部支撑架14为板状且主面成为朝向前方的垂直面。
在下部支撑架14的后方两侧，相对于下部支撑架14固定配置延伸于上下方向的导轴15，嵌合在该导轴15上的导件16相对导轴15上下活动自如，在该导件16的前方设置着板状且主面为垂直面的上部支撑架17。所述上部支撑架17的主面和下部支撑架14的主面为相同平面，通过设在与下部支撑架14之间的升降汽缸18的作用，上部支撑架17相对于为固定状态的下部支撑架14而升降活动自如。
在下部支撑架14以及上部支撑架17的前面，突出设置多根相对于所述下部支撑架14以及上部支撑架17为转动自如的支撑辊轴19(参照图6)，在上述这些各支撑辊轴19的前方，延伸设置和该支撑辊轴19同轴的支撑辊20。
如图2所示，上述多根支撑辊20的配置情况是，在下部支撑架14的上端除左右两端以外大致呈等间隔排列配置，且还配置在下部支撑架14的上端相邻支撑辊20之间的下方。另外，在上部支撑架17上除一部分以外，设置在夹持传送路径和下部支撑架14侧的支撑辊20群组对称的位置上。
虽未图示，在上述多根支撑辊20的表面，呈等间隔设置多个围绕支撑辊20周围的槽，在上述多个槽上嵌入横截面为圆形的橡胶制循环状(endless)的传送用的皮带(以下称为传送圆皮带21)，所述传送圆皮带21分别跨过多根(2根或3根)支撑辊20而跨架在所述支撑辊20上。
如图2所示，跨架在3根支撑辊20上的传送圆皮带21呈三角形状，三角形的一边接触基板A的传送路径，且与传送路径平行。该部分的传送路径上下的传送圆皮带21的间隔能够夹持基板A。
另外，面向传送路径的各支撑辊20中除两端以外的中间支撑辊20上，交替配置着一侧跨架在相邻支撑辊20之间的传送圆皮带21、和另一侧跨架在相邻支撑辊20之间的传送圆皮带21。
如图3所示，该实施例中，向一侧引出6条传送圆皮带21，并且在所述6条传送圆皮带21的间隙中向另一侧引出5条传送圆皮带21，且6条一组的传送圆皮带21群组(图2中的二点虚线)和5条一组的传送圆皮带21群组(图2中的实线)沿着传送路径交替设置。
另外，如图4(a)所示，在夹持基板A的传送路径的上下，上下传送圆皮带21为对称配置。
另外，由所述多个支撑辊20和传送圆皮带21所进行的基板A的传送动作如下通过未图示的马达等适当驱动装置，按照图5所示的箭头方向旋转驱动传送路径上下各自的支撑辊20群组中的1根、或一部分支撑辊20，则通过传送圆皮带21使所有的支撑辊20按照箭头方向旋转，从而使传送圆皮带21向着基板A的箭头方向进行传送动作。
由所述支撑辊20和传送圆皮带21形成的基板的传送路径上，在水洗区域4中，且在跨架3根支撑辊20而呈三角形状的传送圆皮带21的内侧空间内，设置2组在传送路径上下成对的清洗机构22。
清洗机构22是在水平方向上排列设置多个与基板的传送方向垂直的清洗喷嘴23，并如图5所示那样向在传送路径上移动的基板A的整个面喷射清洗水。
干燥区域5中，在跨架3条支撑辊20而呈三角形状的传送圆皮带21的内侧空间内，设置3组在传送路径上下成对的气刀24，并向在传送路径上移动的基板A的整个面喷出干燥用的气体。另外，也可以在干燥区域5中适当设置排出所产生的水蒸气的排出孔等。
机壳12上设有导入孔25和排出孔26，导入孔25成为将碎玻璃清洗机1送来的基板A向清洗装置3导入的路径，而排出孔26用于将清洗完毕的液晶玻璃基板A向偏光板粘贴装置6传送。
使用了本发明一实施例的基板传送装置的清洗装置3为如上所述结构，从导入孔25导入的基板A的下面由最右侧的传送圆皮带21支持，而使基板A则沿着左侧箭头方向导入。在水洗区域4内，上侧传送圆皮带21由中途开始一起夹持基板A的上下面，之后利用上下清洗喷嘴23向上下面喷出高压清洗水，通过支撑辊20后再由另一组传送圆皮带21群组夹持，之后利用上下清洗喷嘴23进一步向上下面喷出高压清洗水，因此传送圆皮带21和基板A接触的位置发生改变，并进行2次清洗，从而整个基板A全部得到清洗。
其次，在干燥区域5内，变换夹持基板A的传送圆皮带21群组过程中，3次利用气刀24喷出高压气体，使整个基板A全部干燥。其后，基板A的下面由最左侧的传送圆皮带21支持，使基板A向则左侧箭头方向送出，并从排出孔26送出清洗装置3，而进入下一步骤。
当改变基板A的厚度时，通过升降汽缸18的作用，使下部支撑架14和上部支撑架17的间隔改变，由此调整上下传送圆皮带21的间隔。当进行传送装置的保养检查时，通过升降汽缸18的作用使上部支撑架17上升，若达到图2中二点虚线或图4(b)所示的状态，则维修将变得容易，从而使维护性得以提升。
另外，本发明的传送方法以及装置并不限定于所述实施例，可以在本发明的范围内，对支撑辊的数量或配置以及传送圆皮带的跨架形状等，进行适当变更后实施。
另外，本实施例中，将上下传送圆皮带21配置为相对基板A呈上下对称的形式，但也可以配置成上下相互错开，此时，可以降低施加到基板A上的负荷。
另外，本发明中，使用横截面为圆形以作为传送圆皮带的形状，但并不是限定横截面为圆形，只要是和基板的接触为大致线接触的形状，就可以优选使用(例如横截面形状为椭圆、菱形、三角形等)。
进而，本发明的传送装置如上文所说明，最适合应用于清洗装置内的基板的传送，但并不限定于上述多种用途，也可以应用于普通的传送。另外，作为被传送的基板，也可以应用于液晶面板用的液晶玻璃基板以外的各种基板类，形状也不限定于矩形，例如，也可以适用于照相机的取景器等小型光学部件。
权利要求
1.一种基板传送方法，其特征在于在基板的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊，在各支撑辊与相邻支撑辊之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带，并在由传送路径上下的传送圆皮带夹持基板的状态下使支撑辊旋转，从而沿着传送路径传送基板。
2.一种基板传送装置，其特征在于包括多根支撑辊，设置在基板的传送路径的上下，且轴心和传送路径正交；多条循环状的传送圆皮带，与传送路径平行而跨架在各支撑辊与相邻支撑辊之间；以及驱动装置，使所述支撑辊旋转；该基板传送装置是在借由跨架在上下支撑辊上的传送圆皮带夹持位于传送路径的基板的状态下，使支撑辊旋转，从而沿着传送路径传送基板。
3.如权利要求
2所述的基板传送装置，其特征在于面向传送路径位于中间位置的各支撑辊上，交替配置着一侧跨架在相邻支撑辊之间的传送圆皮带、和另一侧跨架在相邻支撑辊之间的传送圆皮带。
4.如权利要求
2或3任一项所述的基板传送装置，其特征在于位于传送路径下方的支撑辊的一个端部是由下部支撑架而进行轴支撑；位于传送路径上方的支撑辊的一个端部由上部支撑架而进行轴支撑；且下部支撑架和上部支撑架在上下方向上以活动自如的方式而相互接近分离。
专利摘要
本发明提供一种基板传送方法，在传送基板时即便是小型基板也不会落下，且传送装置的成本不会增加。另外，对基板的清洗及干燥效果不会变差，装置维护性得以提升，并且对基板进行清洗时，即使提高清洗水压、气压也不会导致基板曲折行进或落下等。在基板(A)的传送路径的上下配置多根轴心和传送路径正交的支撑辊(20)，在各支撑辊(20)与相邻支撑辊(20)之间跨架多条与传送路径平行的循环状的传送圆皮带(21)，并在由传送路径上下的传送圆皮带(21)、(21)夹持基板A的状态下使支撑辊(20)旋转，从而沿着传送路径传送基板(A)。
文档编号B05B1/04GK1996116SQ200610170010
公开日2007年7月11日 申请日期2006年12月22日
发明者妙见治彦, 小西善久, 堀口茂春 申请人:株式会社高鸟导出引文BiBTeX, EndNote, RefMan