感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法及触控面板的制造方法
【技术领域】
[0001 ] 本发明涉及感光性树脂组合物、使用其的感光性元件、抗蚀图形的形成方法及触 控面板的制造方法。
【背景技术】
[0002] 在半导体集成电路、液晶显示元件、印刷配线板等电子部件的制造中，作为形成 导体的微细图形的方法，提出了使用含有酚醛清漆型酚醛树脂和1，2-醌二叠氮化合物的 正型感光性树脂组合物的方案（例如，参照日本特开2007-316577号公报或国际公开第 2007/026475 号）。
[0003] 近年，由于智能手机、平板终端等便携式设备的普及，触控面板的需求提高。触控 面板中，在传感器部位、引出配线部位等形成有数ym宽的微细导体图形。在该图形形成 中，也使用正型感光性树脂组合物。
[0004] 就正型感光性树脂组合物而言，由于照射了光的部分（曝光部）能够用碱性水溶 液溶解而除去，未照射光的部分（未曝光部）不能用碱性水溶液溶解而除去，因此能够形成 图形。因此，研宄了通过反复进行对由正型感光性树脂组合物形成的感光层的曝光处理及 显影处理、以及对导体的蚀刻处理来形成多层导体图形。
[0005] 为了形成多层导体图形，提出了使用含有特定酚醛树脂的正型感光性树脂组合物 的方案（例如，参照日本特开2012-252095号公报）。
【发明内容】
[0006] 另一方面，在触控面板用途的导体图形的形成中，伴随图形的微细化、稀有金属替 代金属的使用、传感器部位的小型化、触控面板的低成本化、触控面板的生产率提高等，使 用了多种多样的导体。进一步地，该导体的表面处理方法也多种多样。因此，对于用于形成 图形的正型感光性树脂组合物，要求与各种导体表面的密合性优异。
[0007] 然而，由以往的正型感光性树脂组合物形成的感光层并不能说充分满足了对具有 各种导体的基板的密合性，在形成了抗蚀图形的情况下有时会产生缺口等不良。以往的正 型感光性树脂组合物难以形成能够在维持上述密合性的同时兼顾反复显影时未曝光部的 耐显影液性和曝光部的显影性的感光层。
[0008] 本发明的目的是提供正型感光性树脂组合物及使用其的感光性元件，该正型感光 性树脂组合物能够形成与具有各种导体的基板的密合性优异、同时即使在反复进行使用了 碱性水溶液的显影的情况下曝光部的显影性及未曝光部的耐显影液性也足够优异的感光 层。
[0009] 本发明提供一种正型感光性树脂组合物，其含有（A)成分：具有不饱和烃基的改 性酚醛树脂、（B)成分：间-对甲酚树脂、（C)成分：邻甲酚树脂、（D)成分：利用光产生酸的 化合物及（E)成分：具有多元酸骨架或多元酸酐骨架的硅烷化合物，相对于（A)成分、（B) 成分、（C)成分及（D)成分的总量100质量份，（E)成分的含量小于10质量份。
[0010] 上述（A)成分的重均分子量优选为1000~15000。此外，上述（B)成分的重均分 子量优选为800~50000。进一步地，上述（C)成分的重均分子量优选为800~5000。 [0011] 相对于㈧成分、⑶成分、（C)成分及⑶成分的总量100质量份，上述（C)成分 的含量优选为20~60质量份。
[0012] 上述（A)成分所具有的不饱和烃基的碳数优选为4~100。
[0013] 此外，上述正型感光性树脂组合物还可以进一步含有（F)成分：氟系表面活性剂。 进一步地，上述正型感光性树脂组合物还可以进一步含有（G)成分：密合性赋予剂。
[0014] 本发明还提供一种感光性元件，其具备支撑体和设于该支撑体上的由上述本发明 的正型感光性树脂组合物形成的感光层。
[0015] 本发明还提供一种抗蚀图形的形成方法，其具备：使用上述正型感光性树脂组合 物或感光性元件，在基板上形成感光层的工序；对感光层的规定部分照射活性光线，形成曝 光部的工序；和去除曝光部，形成包含未曝光部的感光层的图形的工序。
[0016] 上述抗蚀图形的形成方法还可以进一步具备：对包含未曝光部的感光层的规定部 分照射活性光线，形成曝光部的工序；和去除曝光部，形成包含未曝光部的感光层的图形的 工序。
[0017] 本发明还提供一种触控面板的制造方法，其具备对通过上述方法形成了抗蚀图形 的基板进行蚀刻处理的工序。
[0018] 根据本发明，能够提供正型感光性树脂组合物及使用其的感光性元件，该正型感 光性树脂组合物能够形成与具有各种导体的基板的密合性优异、同时即使在反复进行使用 了碱性水溶液的显影的情况下曝光部的显影性及未曝光部的耐显影液性也足够优异的感 光层。
【附图说明】
[0019] 图1是表示本发明的感光性元件的一个实施方式的示意截面图。
[0020] 图2是表示使用负型感光性树脂组合物的触控面板的制造方法的示意截面图。
[0021] 图3是表示使用正型感光性树脂组合物的触控面板的制造方法的一个形式的示 意截面图。
[0022] 图4是表示利用本发明而得到的触控面板的一个形式的俯视图。
[0023] 附图标记说明
[0024] 2支撑体；
[0025] 4感光层；
[0026] 6保护层；
[0027] 10感光性元件；
[0028] 22支撑基材；
[0029] 24透明导电层；
[0030] 26金属层；
[0031] 28感光层；
[0032] 29抗蚀图形；
[0033] 30感光层；
[0034] 31抗蚀图形；
[0035] 40感光层；
[0036] 40a、40b 抗蚀图形；
[0037] 52透明电极（X电极）；
[0038] 54透明电极（Y电极）；
[0039] 56、57引出配线；
[0040] 100触控面板。
【具体实施方式】
[0041] 以下，根据需要一边参照附图一边对本发明的实施方式进行详细说明。予以说明 的是，在附图中，对相同要素赋予相同符号，省略重复说明。此外，就上下左右等位置关系而 言，除非特别指明，否则设为基于附图所示位置关系的位置关系。进一步地，附图的尺寸比 率不限于图示的比率。
[0042] 予以说明的是，在本说明书中，关于"层"一词，在以平面图进行观察时，除了在整 面上形成的形状的结构之外，还包含在部分上形成的形状的结构。在本说明书中，关于"工 序" 一词，不仅包括独立的工序，即使是不能与其他工序明确区别的情况，如果能够实现该 工序的预期目的，则也包含于本用语中。在本说明书中，使用"~"所表示的数值范围表示 包含"~"前后所记载的数值分别作为最小值及最大值的范围。
[0043] 本实施方式的正型感光性树脂组合物的特征是：含有作为（A)成分的具有不饱和 烃基的改性酚醛树脂、作为（B)成分的间-对甲酚树脂、作为（C)成分的邻甲酚树脂、作为 (D)成分的利用光产生酸的化合物、和作为（E)成分的具有多元酸骨架或多元酸酐骨架的 硅烷化合物，相对于（A)成分、（B)成分、（C)成分及（D)成分的总量100质量份，（E)成分 的含量小于10质量份。
[0044] 以下，对构成正型感光性树脂组合物的各成分进行详细说明。
[0045] 〈⑷成分〉
[0046] (A)成分是具有不饱和烃基的改性酚醛树脂。通过使用具有不饱和烃基的改性酚 醛树脂作为（A)成分，形成感光层时的可挠性提高。
[0047] 酚醛树脂优选为酚醛清漆型酚醛树脂，所述酚醛清漆型酚醛树脂是包含邻甲酚、 或间甲酚及对甲酚作为主成分的酚衍生物与醛类的缩聚产物。缩聚例如在酸等催化剂存在 下进行。具有不饱和烃基的改性酚醛树脂可以是酚衍生物与具有不饱和烃基的化合物（以 下称为"含不饱和烃基化合物"。）的反应产物（以下称为"不饱和烃基改性酚衍生物"。）、 与醛