Mems光阀及其制作方法、显示装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及显示领域，尤其涉及一种MEMS光阀及其制作方法、显示装置。
【背景技术】
[0002]目前，微机电开关(MEMS:Micro-Electro_Mechanical Systems)技术作为未来显示的一个发展方向，其在功耗方面相对LCD有着不可比拟的优势，在利用MEMS技术实现的显示装置中，其利用MEMS光阀替换液晶层，通过MEMS光阀控制背光源发出的光的透光率，从而实现图像的显示。
[0003]图1是现有技术中的一种MEMS光阀的结构示意图，其包括固定在衬底100’上的固定光栅200’以及与固定光栅200’相对设置的可动光栅300’，其显示原理是:通过控制可动光栅300’移动，使其与位于其下方的固定光栅200’形成有相对位移，进而使得透过固定光栅200’的光线可以有选择性地透过可动光栅300’，进而实现光阀在亮态与暗态之间的转换，其中，在上述的MEMS光阀结构，为防止可动光栅的脱落，如图1所示，通常需要在可动光栅300’上开设缺孔310’，并通过该缺孔310’将可动光栅300’套设在衬底100’上的柱状结构110’上，从而将可动光栅设置在衬底上，但采用上述的设置方式使可动光栅仍存在较大的脱落风险。
【发明内容】
[0004](一 )要解决的技术问题
[0005]本发明要解决的技术问题是如何解决现有的MEMS光阀中可动光栅存在较大的脱落风险的问题。
[0006]( 二 )技术方案
[0007]为解决上述技术问题，本发明的技术方案提供了一种MEMS光阀，包括衬底、设置在所述衬底表面上的固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上，所述柱状结构的表面上还设置有连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。
[0008]进一步地，所述可动光栅上还形成有保护层，且所述连接层与所述保护层为同一层结构。
[0009]进一步地，所述连接层的材料为树脂、二氧化娃或氮化娃。
[0010]进一步地，所述柱状结构为透明材料。
[0011]进一步地，所述透明材料为氮化娃、碳化娃或二氧化娃。
[0012]为解决上述技术问题，本发明还提供了一种显示装置，包括上述的MEMS光阀。
[0013]为解决上述技术问题，本发明还提供了一种MEMS光阀的制作方法，包括:
[0014]在衬底上形成固定光栅以及与所述固定光栅相对的可动光栅，所述可动光栅通过所述可动光栅上的缺孔套设在所述衬底表面上的柱状结构上；
[0015]在所述柱状结构的表面上形成连接层，且所述连接层还设置在所述可动光栅的表面上以将所述可动光栅与所述柱状结构固定连接。
[0016]进一步地，还包括在所述可动光栅上形成保护层，其中，所述连接层与所述保护层为相同材料且在一次构图工艺中形成。
[0017]进一步地，所述连接层的材料为树脂、二氧化娃或氮化娃。
[0018]进一步地，所述柱状结构为透明材料。
[0019](三)有益效果
[0020]本发明提供的MEMS光阀，通过在用于套设可动光栅的柱状结构的表面上设置连接层，并使连接层还设置在可动光栅的表面上，从而将可动光栅与柱状结构固定连接，进而降低了可动光栅脱落的风险。
【附图说明】
[0021]图1是现有技术中的一种MEMS光阀的结构示意图；
[0022]图2是本发明实施方式提供的一种MEMS光阀的结构示意图；
[0023]图3是本发明实施方式提供的一种显示装置的示意图；
[0024]图4?图7是本发明实施方式提供的一种制作MEMS光阀的示意图。
【具体实施方式】
[0025]下面结合附图和实施例，对本发明的【具体实施方式】作进一步详细描述。以下实施例用于说明本发明，但不用来限制本发明的范围。
[0026]图2是本发明实施方式提供的一种MEMS光阀的示意图，该MEMS光阀包括衬底100、设置在所述衬底100表面上的固定光栅200以及与所述固定光栅200相对的可动光栅300，所述可动光栅300通过所述可动光栅上的缺孔310套设在所述衬底100表面上的柱状结构110上，所述柱状结构110的表面上还设置有连接层400，且所述连接层400还设置在所述可动光栅300的表面上以将所述可动光栅300与所述柱状结构110固定连接。
[0027]本发明实施方式提供的MEMS光阀，通过在用于套设可动光栅的柱状结构的表面上设置连接层，并使连接层还设置在可动光栅的表面上，从而将可动光栅与柱状结构固定连接，进而降低了可动光栅脱落的风险。
[0028]优选地，对于上述实施方式中的MEMS光阀，可使连接层400将可动光栅300完全覆盖，从而可以使连接层还能作为可动光栅的保护层，其中，所述连接层的材料可以为树月旨，例如，可以选取退火后硬度及抗划伤效果较好的树脂，如亚克力树脂，硅基树脂等，或者还可选取其他透明绝缘材料，如二氧化硅(Si02)或氮化硅(SiNx)等；
[0029]其中，柱状结构110可以为透明材料，例如，该透明材料可以为氮化硅、碳化硅或二氧化硅。
[0030]此外，在上述的可动光栅中，固定支点处(即缺孔310)与该可动光栅的光栅部分之间为弹性连接，从而能够保证其上的光栅部分能够水平移动，例如，可以将可动光栅中的缺孔与光栅部分之间设置为环形结构，使光栅部分与固定支点间具有一定的可伸缩空间，使其光栅部分在静电力的作用下能够水平移动。
[0031]此外，本发明实施方式还提供了一种显示装置，包括上述的MEMS光阀。
[0032]具体地，参见图3，该显示装置包括衬底，设置在衬底上的多条数据线(….SLn、SLn+K SLn+2、SLn+3、SLn+4….)，多条栅线(….GLn、GLn+K GLn+2、GLn+3、GLn+4….)以及由该多条数据线与该多条栅线交叉定义的呈阵列排布的若干个亚像素单元，其中，每一个亚像素单