种底板210的另一侧面加装有光源部200，使得通过光轴孔211从LED灯220照射的光线入射到积分透
300 ο
[0058]如果底板210的一侧面如此形成凹陷的曲面，那么当光源部200加装于底板210的另一侧面时，各个光源部200的光轴朝向既定地点，从而进一步提高对从LED灯220分别产生的光线的集中度。
[0059]另一方面，在底板210的另一侧面加装的光源部200包括产生用于使被处理基板P的感光物质Pl曝光的曝光用光的多个LED灯220和镜筒230、集光透镜240的构成。根据图2至图4对此进行说明。
[0060]图2是显示本发明一实施例的LED光源曝光装置中加装于底板的光源部的立体图，图3是从前面观察本发明一实施例的LED光源曝光装置中底板的视图，图4是图3的A-A线的剖面图。
[0061]如果参照附图进行说明，LED灯220 —般以在LED基板上贴装LED芯片的形态形成，也可以以在一个LED基板上贴装多个LED芯片222的形态构成，但在本发明中，是以在一个LED基板上贴装一个LED芯片的形态构成，以使LED灯220可以个别地运转。另外，LED灯220可以使用能够产生紫外线区域的光的UV LED灯220。这种LED灯220配置于加装有集光透镜240的镜筒230的另一侧，加装于底板210的另一侧面，使得镜筒230的一侧与在底板210上形成的光轴孔211具有相同的轴线。此时，在LED灯220的前方配置有集光透镜240，使得从LED灯220照射的光线可以集光到积分透镜300，集光透镜240加装于镜筒230。
[0062]S卩，LED灯220不同于以往技术的放电灯，在其特性上，产生的光具有相对朝向既定方向的直线性，因而在底板210上形成的每个光轴孔211，均配置有加装有集光透镜240的镜筒230，以便从多个LED灯220分别发出的光入射到积分透镜300。如果如此在底板210与LED灯220之间形成镜筒230，那么与从LED灯220产生的光线无关在镜筒230外部产生的光线被镜筒切断，LED灯220照射的光线通过加装于镜筒230的集光透镜240而高效地集中到积分透镜300。这种镜筒230具有中空管形状，在其内周面上可以配置有将LED灯220产生的光线反射到集光透镜240的反射板(图中未示出)。这种镜筒230不仅是圆筒形状，还可以以诸如中空的四棱或三棱柱的多棱柱形态构成。
[0063]另一方面，光源部200的LED灯220照射的光线如前面说明所示入射到积分透镜300，积分透镜300可以由透镜按多个行与列配置的多眼透镜(Fly eye lens)构成，这种透镜执行使光分布更良好的作用。
[0064]另外，平行光反射镜400构成为使通过积分透镜300的光转换为平行光并向站台100反射，既可以如图1所示由一个球面镜构成，也可以与其不同，由多个球面镜及平面镜等构成，其构成可以根据使用者的需要而多样地变更。
[0065]另一方面，光源部200如前面说明所示，加装于具有凹陷曲面的底板210的另一侧面，光源部200稳定地固定于底板210，光源部200和底板210被光轴调整器250支撑，以便根据需要，光源部200的光轴可以准确入射到积分透镜300。根据图5对此进行说明。
[0066]图5是图4的B部放大图。如果参照附图进行说明，光轴调整器250对在底板210的另一侧面加装的各个光源部200进行固定，根据旋转操作而进行调节，使得光源部200的光轴倾斜，光源部200的各个LED灯220照射的光线冷却地照射到积分透镜300。
[0067]这种光轴调整器250包括:贯通杆251，其贯通底板210和镜筒230，向底板210的一侧面形成有旋转把手251a ;支撑架252，其与贯通杆251具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑镜筒230的另一侧面的头部252a ;以及弹性构件253，其插入贯通杆251，向底板210与镜筒230之间提供弹性反弹力。因此，随着旋转把手251a被使用者旋转，贯通杆251与支撑架252借助于螺纹结合而进行直线移动，使底板210与镜筒230之间接近或远离。
[0068]这种光轴调整器250以在底板210上形成的光轴孔211为中心排列成圆形，从而当需要变更光轴时，在以光轴孔211为中心排列成圆形的光轴调整器250中，旋转操作位于要调节光轴的地点的光轴调整器250的旋转把手251a，于是，相应的贯通杆251与支撑架252的长度在变短或变长的同时，使光源部200的光轴倾斜，获得需要的角度。
[0069]如此以底板210的光轴孔211为中心排列成圆形的光轴调整器250如图2及图3所示，既可以以光轴孔211为中心具有均等间隔地排列4个，但根据情况，也可以是3个光轴调整器250具有均等间隔地以光轴孔211为中心排列成圆形。
[0070]另一方面，在底板210的另一侧面与镜筒的一侧面，形成有放置弹性构件253的安置槽253a。如果如此在底板210的另一侧面和镜筒230的一侧面形成安置槽253a，那么当弹性构件253压缩或膨胀时，受到安置槽253a引导而可以顺利地运转。另外，与镜筒230的另一侧面接触的支撑架252的头部252a形成为具有球形形态，在与这种头部252a接触的镜筒230的另一侧面，形成有与头部252a符合的凹陷部231a。
[0071]支撑架252的头部252a具有球形形态并位于在镜筒230的另一侧面形成的凹陷部231a后，即使镜筒230随着贯通杆251与支撑架252长度的接近与远离而倾斜，支撑架252的头部252a也能够保持与凹陷部231a表面稳定贴紧的状态，稳定地支撑光源部200。
[0072]就如上所述的本发明包括光轴调整器的LED光源曝光装置而言，底板210与光源部200的镜筒230被光轴调整器250支撑，可以根据需要而操作光轴调整器250的旋转把手251a，调节使得光源部200的光轴倾斜，使得LED灯220照射的光线能够准确地入射到积分透镜300，从而使LED光源曝光装置的性能提高。
[0073]另一方面，本发明并非限定于前面说明的实施例，可以在不超出本发明要旨的范围内进行修改及变形实施，即使施加这种修改及变形，也应视为属于本发明的技术思想。例如，还可以使光轴调整器的操作不依赖于作业者，而是借助于驱动马达而操作。根据图6对此进行说明。
[0074]图6是显示本发明的LED光源曝光装置中的光轴调整器另一实施例的放大图。如图所示，光轴调整器250与进行旋转控制的驱动马达260连接，构成为随着驱动马达260的运转而使得旋转把手251a或支撑架252旋转。如上所述，如果驱动马达260与旋转把手251a或支撑架252连接，随着驱动马达260的运转，旋转把手251a或支撑架252旋转，可以调节相应地点的底板210与镜筒230间的距离，可以调节光源部200的光轴。在图6中，虽然图示了驱动马达260与支撑架252的头部252a连接，但根据情况，使得贯通杆251的旋转把手251a与驱动马达260连接，从而随着驱动马达260的运转，贯通杆251旋转，支撑架252朝向贯通杆251直线移动，使光源部200的光轴不依赖于手动操作，可以控制驱动马达，便利地调节。
[0075]图7是概略地显示本发明另一实施例的LED光源曝光装置构成的概念图。
[0076]如果参照附图进行说明，本发明的具备冷气供应单元的LED光源曝光装置包括:站台100，其用于放置涂布有感光物质Pl的被处理基板P ;底板210，其形成为一侧