面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211 ;光源部200，其包括加装于底板210并产生用于对感光物质Pl进行曝光的光的多个LED灯220 ;积分透镜300，其配置为使从光源部200产生的光透过；平行光反射镜400，其使通过积分透镜300的光转换成平行光，朝放置在站台100的被处理基板P反射；冷气供应单元500，其为了使因光源部200的LED灯220运转而产生热冷却，向安装在LED灯220后方的散热针260和散热扇270吹入冷气。
[0077]如果进一步说明，站台100以平板形形成，以便放置用于曝光工序的被处理基板P，放置在站台100上的被处理基板P以上面涂布有感光物质Pl的形态构成。另外，底板210形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔211。在这种底板210的另一侧面加装有光源部200，使得通过光轴孔211从LED灯220照射的光线入射到积分透镜300。如果底板210的一侧面如此形成凹陷的曲面，那么当光源部200加装于底板210的另一侧面时，各个光源部200的光轴朝向既定地点，因而使得进一步提高对从LED灯220分别产生的光线的集中度。
[0078]另一方面，在底板210的另一侧面加装的光源部200包括产生用于使被处理基板P的感光物质Pl曝光的曝光用光的多个LED灯220和镜筒230、集光透镜240的构成，为了使因LED灯运转而产生热冷却，向镜筒后方安装有散热针和散热扇及冷气供应单元。根据图8至图10对此进行说明。
[0079]图8是摘取本发明另一实施例的LED光源曝光装置中光源部和涡流管的立体图，图9是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的立体图，图10是显示本发明另一实施例借助于涡流管对光源部冷却的侧剖面图。
[0080]如果参照附图进行说明，LED灯220 —般以在LED基板P上贴装LED芯片的形态形成，也可以以在一个LED基板P上贴装多个LED芯片222的形态构成，但在本发明中，是以在一个LED基板P上贴装一个LED芯片的形态构成，以使LED灯220可以个别地运转。另夕卜，LED灯220可以使用能够产生紫外线区域的光的UV LED灯220。这种LED灯220配置于加装了集光透镜240的镜筒230的另一侧，加装于底板210的另一侧面，使得镜筒230的一侧与在底板210上形成的光轴孔211具有相同的轴线。此时，在LED灯220的前方配置有集光透镜240，使得从LED灯220照射的光线可以集光到积分透镜300，集光透镜240加装于镜筒230。S卩，LED灯220不同于以往技术的放电灯，在其特性上，产生的光具有相对朝向既定方向的直线性，因而在底板210上形成的每个光轴孔211，均配置有加装了集光透镜240的镜筒230，以便从多个LED灯220分别发出的光入射到积分透镜300。如果如此在底板210与LED灯220之间形成镜筒230，那么与从LED灯220产生的光线无关的在镜筒230外部产生的光线被镜筒切断，LED灯220照射的光线通过加装于镜筒230的集光透镜240而高效地集中到积分透镜300。
[0081]这种镜筒230具有中空管形状，在其内周面上可以配置有将LED灯220产生的光线反射到集光透镜240的反射板(图中未示出)。这种镜筒230不仅是圆筒形状，还可以以诸如中空的四棱或三棱柱的多棱柱形态构成。
[0082]另一方面，光源部200的LED灯220照射的光线如前面说明所示入射到积分透镜300，积分透镜300可以由透镜按多个行与列配置的多眼透镜(Fly eye lens)构成，这种透镜执行使光分布更良好的作用。
[0083]另外，平行光反射镜400构成为使通过积分透镜300的光转换为平行光并向站台100反射，既可以如图7所示由一个球面镜构成，也可以与其不同，由多个球面镜及平面镜等构成，其构成可以根据使用者的需要而多样地变更。
[0084]另一方面，接受传递因LED灯220的运转而产生的热的热管255向镜筒230后方延长，以便使因在镜筒230的另一侧面安装的LED灯220的运转而产生的热能够迅速冷却。
[0085]另外，在热管255上形成有散热针260，使从LED灯220传递到热管255的热释放到空气中，在散热针260的一侧安装有散热扇270，使得散热针260与空气能够顺利接触。
[0086]因此，随着LED灯220的运转而产生的热通过LED基板P传递到热管255，移送到散热针265，释放到大气中，当如此通过散热针265释放热时，启动散热扇270，使得进行了热交换的空气远离散热针265而使冷空气送风到散热针265。
[0087]特别是本发明的LED光源曝光装置配备有冷气供应单元500，当借助于散热针265和散热扇270使LED灯220冷却时，向散热针265和散热扇270吹入比滞留于内设了站台100、光源部200、积分透镜300、平行光反射镜400的外壳10中的空气温度低的冷气，使LED灯220迅速冷却。
[0088]这种冷气供应单元500包括向散热针265和散热扇270喷射冷气的涡流管510与向涡流管510提供压缩空气的压缩空气供应源520。如果进一步说明，涡流管510以如下结构构成，形成有向散热针265和散热扇270喷射冷气的冷气排出口 511，形成向冷气排出口511的对面排出热气的热气排出口 512，在冷气排出口 511与热气排出口 512之间形成有涡流旋转室513。
[0089]另外，压缩空气供应源520用于把内设有光源部200的外壳10外部的空气压缩成既定压力并供应给涡流管510，这种压缩空气供应源520由包括对空气进行压缩的压缩机主体和存储压缩空气的罐的空气压缩机(aircompressors)构成，当需要冷却LED灯220时，把压缩空气供应给涡流管510。
[0090]因此，压缩空气供应到涡流管510后，压缩空气首先流入涡流旋转室513，进行超高速旋转。如此超高速旋转的压缩空气向涡流管510的热气排出口 512端流动期间，一部分通过热气排出口 512排出，其余者经过涡流旋转室513实现热交换，把温度比通过热气排出口 512排出的空气低的冷气，通过冷气排出口 511向散热针265和散热扇270喷射，使散热针265和散热扇270冷却。
[0091]此时，在排出冷气的冷气排出口 511，可以配备有使冷气向散热针265和散热扇270均匀扩散、喷射的扩散器(图中未示出)，如此通过扩散器喷射的冷气，其一部分通过散热扇270向散热针265迅速移动，在与散热针265接触的同时实现热交换，其余向散热针265的外侧周围移动，形成气帘，切断外壳10内部滞留的热气与散热针265接触，使因LED灯220的运转而产生的热迅速冷却，不仅使LED灯220的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提尚。
[0092]另一方面，如上所述使光源部200的散热针265和散热扇270冷却的涡流管510如图5所示，安装为使涡流管510的热气排出口 512引出到外壳10外部，在涡流管510的涡流旋转室513中进行了热交换的热气排出到外壳10的外部，不产生诸如使外壳10内部温度上升的不良影响，使得能够更迅速地执行LED灯220的冷却。
[0093]具有如上所述构成的本发明的LED光源曝光装置借助于热管255和散热针265及散热扇270冷却因LED灯220的运转而产生的热，此时，借助于涡流管510喷射的冷气，散热针265和散热扇270被更迅速地冷却，使LED灯220的冷却效率提高，不仅使LED灯220的预期寿命增加，而且使LED光源曝光装置的性能提高