。
[0094]另一方面，本发明并非限定于前面说明的实施例，可以在不超出本发明要旨的范围内进行修改及变形实施，即使施加这种修改及变形，也应视为属于本发明的技术思想。例如，在光源部200配置有温度感知传感器290及冷却控制部280，冷气供应单元500可以根据LED灯220的温度而运转。根据图12对此进行说明。
[0095]图12是本发明又一实施例具备冷气供应单元的LED光源曝光装置的概略图。如果参照附图进行说明，在光源部200配置有测量LED灯220温度的温度感知传感器290和根据温度感知传感器290测量的温度而控制冷气供应单元500运转的冷却控制部280，使得冷气供应单元500能够根据LED灯220的温度而运转。
[0096]温度感知传感器290与LED灯220接近安装，感知LED灯220运转导致的温度变化，向冷却控制部280发送电信号。温度感知传感器290如此感知的LED灯220的温度在冷却控制部280进行处理，当LED灯220的温度高于设置的温度时，使冷气供应单元500的压缩空气供应源520运转，通过涡流管510向散热针265和散热扇270喷射冷气而使之冷却。
[0097]与此相反，当LED灯220的温度低于设置的温度时，冷却控制部280使压缩空气供应源520的运转中止，防止因冷气供应单元500过度运转导致的电能损失，使冷气供应单元500的预期寿命增加。
[0098]另一方面，本发明的LED光源曝光装置可以形成为一个涡流管510向多个散热针265和散热扇270供应冷气。根据图13对此进行说明。
[0099]图13是显示本发明又一实施例的LED光源曝光装置的平剖面图。如果参照附图进行说明，从压缩空气供应源520接受提供压缩空气并喷射冷气的涡流管510如图8及图11所示，既可以每个散热针265和散热扇270个别地安装，以便使各个LED灯220冷却，但根据情况，多个散热针265和散热扇270也可以借助于一个涡流管510喷射的冷气而冷却。
[0100]为此，在涡流管510的冷气排出口 511，安装有向多个散热针265和散热扇270分歧并喷射涡流管510的冷气的分歧管530，一个涡流管510提供的冷气被分歧管530引导而向多个散热针265和散热扇270喷射。如果如此在涡流管510安装分歧管530，使一个涡流管510向多个散热针265和散热扇270供应冷气，那么，能够减小压缩空气供应源520的负载，减小耗电量，使能源效率最大化。
【主权项】
1.一种LED光源曝光装置，其特征在于，包括: 站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板； 底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔； 光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯； 积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过； 平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及 光轴调整器，其对加装于所述底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。2.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光源部包括: 镜筒，其加装于所述底板的另一侧面，在后方安装有LED灯； 集光透镜，其加装于所述镜筒的内部，使LED灯的光集光到所述积分透镜。3.根据权利要求1所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光轴调整器包括: 贯通杆，其贯通所述底板和镜筒，向底板的一侧面形成有旋转把手； 支撑架，其与所述贯通杆具有相同轴线，以螺纹结合，向所述镜筒的后方凸出，形成有支撑镜筒另一侧面的头部；以及 弹性构件，其插入所述贯通杆，向所述底板与镜筒之间提供弹性反弹力。4.根据权利要求3所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 在所述底板的另一侧面和所述镜筒的一侧面形成有放置所述弹性构件的安置槽。5.根据权利要求3所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 与所述镜筒另一侧面接触的支撑架的头部具有球形形态。6.根据权利要求3所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光轴调整器以在所述底板上形成的光轴孔为中心，呈圆形排列。7.根据权利要求3所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光轴调整器与旋转控制的驱动马达连接，随着所述驱动马达的运转，旋转把手或支撑架进行旋转。8.一种LED光源曝光装置，其特征在于， 站台，其用于放置涂布有感光物质的被处理基板； 底板，其形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔； 光源部，其包括加装于所述底板并产生用于对所述感光物质进行曝光的光的多个LED灯； 积分透镜，其配置为使从所述光源部产生的光透过； 平行光反射镜，其使通过所述积分透镜的光转换成平行光，朝放置在所述站台的被处理基板反射；以及 冷气供应单元，其为了使因所述光源部的LED灯运转而产生的热冷却，向安装在LED灯后方的散热针和散热扇吹入冷气。9.根据权利要求8所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光源部包括: 镜筒，其加装于所述底板的另一侧面，在后方安装有贴装了 LED灯的LED基板； 集光透镜，其加装于所述镜筒的内部，使LED灯的光集光到所述积分透镜； 热管，其以与所述LED基板接触的状态向镜筒后方延长，接受传递因LED灯的运转而产生的热； 散热针及散热扇，其与所述热管连接，对热管接受传递的热进行散热。10.根据权利要求8所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述冷气供应单元包括: 涡流管，其形成有向所述散热针和散热扇喷射冷气的冷气排出口，形成有向所述冷气排出口的对面排出热气的热气排出口，在所述冷气排出口与热气排出口之间形成有涡流旋转室； 压缩空气供应源，其向所述涡流管的涡流旋转室供应压缩空气。11.根据权利要求10所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述涡流管的热气排出口引出到内设有所述站台、光源部、积分透镜、平行光反射镜的外壳的外部。12.根据权利要求10所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述涡流管的冷气排出口具备使冷气向所述散热针和冷却扇扩散喷射的扩散器。13.根据权利要求8所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述光源部包括: 温度感知传感器，其测量所述LED灯的温度；以及 冷却控制部，其根据所述温度感知传感器测量的温度，控制所述冷气供应单元的运转。14.根据权利要求10所述的LED光源曝光装置，其特征在于， 所述涡流管的冷气排出口具备向所述多个散热针和散热扇喷射冷气的分歧管。
【专利摘要】本发明公开一种LED光源曝光装置，包括：站台，用于放置涂布有感光物质的被处理基板；底板，形成为一侧面构成凹陷的曲面，形成有光轴孔；光源部，包括加装于底板并产生用于对感光物质进行曝光的光的多个LED灯；积分透镜，配置为使从光源部产生的光透过；平行光反射镜，使通过积分透镜的光转换成平行光，朝放置在站台的被处理基板反射；以及光轴调整器，对加装于底板另一侧面的各个光源部进行固定，根据旋转操作进行调节，使得光源部的光轴倾斜。因此，底板和光源部的镜筒被光轴调整器支撑，可以根据需要来操作光轴调整器的旋转把手，使光源部的光轴倾斜，使LED灯照射的光线准确地入射到积分透镜，从而使LED光源曝光装置的性能提高。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN105045041
【申请号】CN201510173259
【发明人】金基洙
【申请人】株式会社菲尔光学
【公开日】2015年11月11日
【申请日】2015年4月14日