r>[0054]多个模式可以包括第一模式、第二模式以及第三模式中的至少一个。第一模式是，例如基于检测单元60对拍摄区域2a中形成的多个标志2b当中的、除了异常标志以外的其他标志2b的检测结果、进行对准的模式。第二模式是，例如通过使用针对在具有异常标志的拍摄区域2a之前、经历压印处理的拍摄区域中形成的其他标志的检测结果、代替针对异常标志的检测结果，来进行对准的模式。第二模式中的其他标志可以形成于在具有异常标志的拍摄区域2a之前经历压印处理的拍摄区域中，并且布置在与异常标志在拍摄区域中的位置相同的位置处。第三模式是，例如通过使用针对在形成有具有异常标志的拍摄区域2a的基板2之前、经历了压印处理的基板上形成的其他标志的检测结果、代替针对异常标志的检测结果，来进行对准的模式。第三模式中的其他标志可以形成于在形成有具有异常标志的拍摄区域2a的基板2之前经历了压印处理的基板上，并且布置在与异常标志在基板上的位置相同的位置处。
[0055]如上所述，根据第二实施例的压印装置根据从多个模式中选择的模式，控制针对具有异常标志的拍摄区域2a的对准。因此，能够根据用户的意图进行在确定了异常标志的情况下在模具上的图案区域la和拍摄区域2a之间的对准。
[0056]<物品的制造方法的实施例>
[0057]根据本发明的实施例的物品的制造方法适用于制造诸如微型器件(例如，半导体器件)或具有微结构的元件等的物品。根据实施例的物品的制造方法包括:通过使用压印装置在涂布到基板的树脂上形成图案的步骤(对基板进行压印处理的步骤)，以及处理在前述步骤中形成有图案的基板的步骤。此外，该制造方法包括其他众所周知的步骤(例如，氧化、沉积、气相沉积、掺杂、平坦化、蚀刻、抗蚀剂去除、切割、接合和封装)。根据实施例的物品的制造方法在性能、质量、生产率以及物品的制造成本的至少一个方面上优于传统方法。
[0058]虽然已经参照示例性实施例描述了本发明，但是应当理解，本发明并不局限于公开的示例性实施例。所附权利要求的范围应当适合最广泛的解释，以使其涵盖所有这些改动、等同结构和功能。
【主权项】
1.一种压印装置，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括: 检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个标志的各个以及对所述模具设置的多个标志的各个；以及 控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准， 其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将对所述拍摄区域设置的所述多个标志当中的、检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。2.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元基于对所述拍摄区域设置的所述多个标志当中的、除了所述异常标志以外的标志的检测结果，来进行所述对准。3.根据权利要求1所述的压印装置，其中， 在所述基板上形成多个拍摄区域，所述多个拍摄区域包括具有所述异常标志的第一拍摄区域以及在所述第一拍摄区域之前经历了压印处理的第二拍摄区域，并且 所述控制单元通过使用对所述第二拍摄区域设置的、并且被布置在与所述异常标志在拍摄区域中的位置相同的位置处的标志的检测结果、代替针对所述异常标志的检测结果，来进行所述第一拍摄区域中的所述对准。4.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元通过使用针对如下的标志的检测结果，代替针对所述异常标志的检测结果，来进行具有所述异常标志的拍摄区域中的所述对准，所述标志是对在形成有具有所述异常标志的拍摄区域的基板之前经历了压印处理的基板设置的、并且被布置与所述异常标志在基板上的位置相同的位置处。5.根据权利要求1所述的压印装置，其中， 在确定了所述异常标志的情况下，所述控制单元根据从多个模式中选择的模式，对具有所述异常标志的拍摄区域进行所述对准，并且 所述多个模式包括第一模式、第二模式以及第三模式中的至少一者，在所述第一模式中，基于针对除了所述异常标志以外的标志的检测结果来控制所述对准，在所述第二模式中，通过使用对在具有所述异常标志的拍摄区域之前经历了压印处理的拍摄区域设置的标志的检测结果、代替针对所述异常标志的检测结果来控制所述对准，在所述第三模式中，通过使用对在形成有具有所述异常标志的拍摄区域的基板之前经历了所述压印处理的基板设置的标志的检测结果、代替针对所述异常标志的检测结果来控制所述对准。6.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述信息包括当在所述基板上形成标志时产生的所述拍摄区域的变形量、在所述基板的温度改变时所述拍摄区域的变形量、以及由于保持所述基板而导致的所述拍摄区域的变形量中的至少一者。7.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元获得对所述拍摄区域设置的各个标志的预测值。8.根据权利要求1所述的压印装置，其中，所述控制单元对多个基板使用共同的预测值。9.一种物品的制造方法，该制造方法包括以下步骤: 使用压印装置在基板上形成图案； 处理形成有图案的所述基板以制造所述物品； 其中，所述压印装置通过使用模具来使供给到所述基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括: 检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的多个标志的各个以及对所述模具设置的多个标志的各个；以及 控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准， 其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将对所述拍摄区域设置的所述多个标志当中的、检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。10.一种压印方法，其通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，该压印方法包括以下步骤: 检测对所述拍摄区域设置的多个标志的各个以及对所述模具设置的多个标志的各个；以及 通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息，获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值； 将对所述拍摄区域设置的所述多个标志当中的、所述检测步骤中的检测结果与所述获得步骤中获得的预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志；以及 控制所述模具和所述基板之间的对准，而不使用针对所述确定步骤中确定的所述异常标志的检测结果。
【专利摘要】本发明提供一种压印装置、压印方法及物品的制造方法。该压印装置通过使用模具来使供给到基板的拍摄区域上的压印材料成型，所述压印装置包括：检测单元，其被构造为检测对所述拍摄区域设置的各个标志以及对所述模具设置的各个标志；以及控制单元，其被构造为基于所述检测单元的检测结果进行所述模具与所述基板之间的对准，其中，所述控制单元通过使用关于所述拍摄区域的变形的信息来获得对所述拍摄区域设置的标志的位置的预测值，将检测结果与预测值之差未落入容许范围的标志确定为异常标志，并且进行所述对准，而不使用针对所述异常标志的检测结果。
【IPC分类】G03F7/00
【公开号】CN105301893
【申请号】CN201510289204
【发明人】诸星洋
【申请人】佳能株式会社
【公开日】2016年2月3日
【申请日】2015年5月29日
【公告号】US20150343679