直接曝光装置的制造方法
【技术领域】
[0001]本发明涉及所谓的卷对卷方式的直接曝光装置，在从供给卷轴送出并被卷绕卷轴卷绕的长条状工件的输送中，对其正反的一个面描绘图案。
【背景技术】
[0002]通常，作为用于移动电话和移动设备等的电子电路基板(印刷电路基板)的基底材料，例如使用将厚度为0.1mm以下且长度为500mm以上(例如，100m)的长条状工件(感光性长条膜(在正反的至少一个面上涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜))形成为卷状的工件。此外，近年来，不使用转印掩模地将描绘光直接照射到基板而描绘出图案的直接曝光装置在市场中涌现出，对长条状工件也采用这种曝光方式的要求日益强烈。
[0003]作为这种卷对卷方式的直接曝光装置，为了进行连续的长条状工件的输送和曝光，公知有如下的直接曝光装置:利用位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的平板状的输送机(曝光输送机)，保持长条状工件，并在该输送机上进行曝光(专利文献1)。
[0004]此外，还公知有如下的直接曝光装置:对在位于供给卷轴与卷绕卷轴之间的辊(曝光辊)的圆筒面上行进的长条状工件进行曝光(专利文献2)。
[0005]【专利文献1】日本特开2006-098720号公报
[0006]【专利文献2】日本特开2014-035412号公报
[0007]如果对在平面状的输送机上进行曝光的方式与在圆筒状的辊上进行曝光的方式进行比较，输送机方式在使工件的整个被曝光区域为平面状的方面比较优异，但是，由于流水线长度增长，曝光装置容易大型化，并且在曝光位置处局部进行观察的情况下的面精度较差。与此相对，由于辊方式能够缩短流水线长度，所以能够实现曝光装置的小型化，并且在面精度(面的平滑性)和工件进给精度的方面优异。另一方面，辊方式由于在圆筒面(曲面)上进行曝光，所以存在曝光图像的焦点对准区窄，细线的描绘较困难的问题。如果增大曝光辊直径，则该问题得到缓解，但牺牲了小型化。
[0008]此外，从工件的进给精度的观点来看，在输送机方式中，由于输送带的曲折或伸缩等影响，进给精度有可能降低。另一方面，对于辊方式，虽然在将工件吸附到辊上的吸附区中能够获得较高的进给精度，但如上所述，由于吸附区不是平面(为圆筒面)，所以存在曝光图像的焦点对准区窄的问题。
【发明内容】
[0009]本发明的第一目的在于获得一种直接曝光装置，在曝光辊方式的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。
[0010]此外，本发明的第二目的在于获得一种直接曝光装置，在吸附工件地进行移动的辊方式的直接曝光装置中，能够灵活运用吸附输送工件的圆筒部件的高进给精度，保持工件的平面性来提高曝光图像的精度，并使描绘图案的线条变细。
[0011]本发明是一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有:圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。
[0012]优选为在上述前后一定范围内，从脱离位置到输送方向下游侧的范围比从脱离位置到输送方向上游侧的范围宽。
[0013]本发明的直接曝光装置还优选为，拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准相机配置在隔着上述圆筒部件而与上述曝光构件相对的位置处。
[0014]还优选为，曝光构件的光轴和对准相机的光轴朝向铅垂方向。
[0015]上述圆筒部件优选至少在上述曝光构件的曝光位置和上述对准相机的拍摄位置处，将上述长条状工件保持在其周面上。
[0016]本发明还优选为，具有:圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；平面引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置的下游侧，在长条状工件不与引导面接触的状态下将该长条状工件支撑为平面状；以及第2曝光构件，其在上述平面引导构件上，对上述长条状工件描绘图案。
[0017]上述第2曝光构件的曝光区在其一个方式中，能够跨越上述长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置和平面引导构件上的位置。
[0018]上述第1曝光构件的曝光区和第2曝光构件的曝光区实际上位于大致同一平面上。
[0019]具体而言，上述引导构件例如能够由具有气体吹出构件和气体抽吸构件的悬浮抽吸引导构件构成。
[0020]根据本发明，是一种使用曝光辊对长条状工件连续曝光的直接曝光装置，同时，在包含圆筒状部件的脱离位置的输送方向的前后一定范围内描绘图案，所以切线(切平面)方向的平面区包含在曝光区中，能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊型的直接曝光装置宽。其结果是，能够实现要曝光的图案的细线条化。
[0021]此外，本发明进一步在圆筒部件的下游侧配置在长条状工件不与引导面接触的状态下将该长条状工件支撑为平面状的引导构件，使曝光构件的针对长条状工件的曝光区的至少一部分位于引导构件上，由此能够利用圆筒部件的高进给精度和引导构件对工件的平面性保持，提高曝光图像的精度，并使描绘图案的线条变细，其中，该圆筒部件在供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转。
【附图说明】
[0022]图1是示出本发明的直接曝光装置的整体结构的侧视图。
[0023]图2是其立体图。
[0024]图3是示出曝光单元的一例的立体图。
[0025]图4是说明长条状工件上的单位图案区域(对准标记)、对准相机以及曝光单元之间的间隔例的展开图。
[0026]图5是示出曝光辊的详细情况的轴垂直剖视图。
[0027]图6是示出相对于长条状工件的曝光区的一例的图。
[0028]图7是悬浮抽吸单元单体的立体图。
[0029]图8是其分解立体图。
[0030]图9是示出曝光区中的基于光调制元件阵列的曝光状态的示意图。
[0031]图10是本发明的直接曝光装置的另一实施方式，是示出从图1的结构中去除下游侧的曝光单元和悬浮抽吸引导单元后的实施方式的、与图1对应的侧视图。
[0032]图11是图10的实施方式的与图2对应的立体图。
[0033]标号说明
[0034]100:直接曝光装置；10:供给卷轴；11:卷绕卷轴；12、13、14:导辊(切线方向引导单元)；30A(30):曝光单元(曝光构件、第1曝光单元)；30B(30):曝光单元(曝光构件、第2曝光单元)；36:DMD元件(光调制元件阵列)；40:曝光辊；41:多孔圆筒部件；41a:微细孔；42:中心固定体;42a:抽吸凹部；43:负压源；44:控制器；45:线性刻度；46:线性传感器；50:对准相机(摄像构件)；60:悬浮抽吸引导单元(平面引导构件)；61:导板；61a:引导面；61b:贯通孔(气体吹出构件)；61c:贯通孔(气体吸入构件)；62:空气回路主体；62a:空气供给槽；62b:空气抽吸槽；63:负压源；64:正压源；MA:对准标记；W:长条状工件；α:抽吸区间。
【具体实施方式】
[0035]图1、图2是示出本发明的直接曝光装置100的一个实施方式的整体图。在直接曝光装置100中，曝光辊40位于送出被卷绕的长条状工件(以下，简称作“工件”)W的供给卷轴10与对工件W进行卷绕的卷绕卷轴11之间，在该曝光辊40的上方具有沿工件W的输送方向隔开的一对曝光单元(曝光构件、曝光描绘部)30A和30B，在其下方具有对准相机50。工件W由在正反的至少一个面上涂覆感光体而成的合成树脂制柔软膜构成，工件W在由供给卷轴10送出后，经过导辊12、13到达曝光辊40，进而经过导辊(切线方向引导单元)14后被卷绕卷轴11卷绕。在曝光辊40与导辊14之间设置有位于工件W的下表面的悬浮抽吸引导单元(平面引导构件)60。
[0036]—对曝光单元30A、30B中的下游侧的曝光单元30B配置在悬浮抽吸引导单元60上。虽然该结构有利于利用曝光辊40(圆筒部件)的高进给精度、和悬浮抽吸引导单元60 (平面引导构件)对工件W的平面性保持，提高曝光图像的精度，使描绘图案的线条变细，但是，与以下特征无直接关系:使曝光辊40 (圆筒部件)的切线(切平面)方向的平面区包含在上游侧的曝光单元30A的曝光区中，从而能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊型的直接曝光装置宽。也就是说，能够省略下游侧的曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60。关于该点，之后将使用附图进行叙述。
[0037]如图2、图5所示，曝光辊40具有:以轴心41X为中心，由未图示的驱动源进行旋转驱动的多孔圆筒部件41 ;以及位于该多孔圆筒部件41内的中心固定体42，在中心固定体42的周面的一部分，形成有抽吸凹部(槽