稍微靠上游侧(供给侧)的位置起开始。
[0056]此外，在工件W的输送移动中，经由正压源64向悬浮抽吸引导单元60的空气供给槽62a供给加压空气并从导板61的贯通孔61b吹出，同时经由负压源63向空气抽吸槽62b施加负压并从贯通孔61c抽吸空气。通过该空气的吹出抽吸，在引导面61a上通过的工件W的平面精度提高。
[0057]而且，当工件W行进，且通过对准相机50拍摄一个单位图案区域AP的4个(2个X2列)对准标记MA时，确定该单位图案区域AP的坐标系。当一个单位图案区域AP的对准标记MA的拍摄结束时，连续开始下一个单位图案区域AP的对准标记MA的拍摄，确定新的坐标系。
[0058]当单位图案区域AP的四个对准标记MA的拍摄结束时，对准测量部计算测量出的单位图案区域AP和所设计的单位图案区域AP的位置以及尺度误差(对准)。曝光控制部根据上述误差，对描绘数据进行坐标转换，生成曝光单元30A和30B的校正描绘数据。
[0059]当单位图案区域AP的前端到达曝光单元30A时，曝光控制部按照校正描绘数据，对曝光单元30A的DMD元件36进行调制，向工件W上照射图案光，在工件W的感光剂层上形成图案。接着，当单位图案区域AP的规定位置到达曝光单元30B时，同样，曝光控制部按照校正描绘数据，对曝光单元30B的DMD元件36进行调制，向工件W上照射图案光，在工件W的感光剂层上形成图案。通过已知的多重曝光方法进行该图案形成。
[0060]只要工件W在曝光单元30A的曝光位置处不从多孔圆筒部件41脱离(而被保持)，就能在曝光位置、或者比曝光位置稍微靠上游侧(供给侧)的位置处解除工件W向多孔圆筒部件41的吸附。
[0061]在以上针对工件W的曝光动作中，被多孔圆筒部件41吸附并移动的工件W能够较高保持其进给精度，并能够通过线性刻度45和线性传感器46准确地检测其位置。而且，由于在以高进给精度送出的工件W从多孔圆筒部件41脱离的位置附近执行利用曝光单元30A的曝光，所以能够实现高描绘精度。此外，由于能够对以高进给精度送出并通过悬浮抽吸引导单元60维持高平面性的工件W进行利用曝光单元30B的曝光，所以，同样能够实现高描绘精度。
[0062]除此以外，在图示实施方式的曝光单元30A进行的曝光中能够获得下述优点。被多孔圆筒部件41抽吸的工件W呈曲面，但是，如上所述，多孔圆筒部件41上在面精度(面的平滑性)和工件进给精度的方面优异。因此，在曝光区AE中包含面精度和进给精度优异的多孔圆筒部件41上的曝光区(范围Y1)。另一方面，虽然在比相交线S靠下游侧的曝光区(范围Y2)中，假设工件W为平面，但是，实际上由于从多孔圆筒部件41脱离，所以随着从多孔圆筒部件41远离，平面精度误差(曝光单元30A的理想焦点面与曝光区AE的偏差)处于扩大的趋势。所以，使曝光区AE跨越相交线S的上游侧和下游侧。此外，将相交线S的下游侧的曝光范围Y2设定为比从上游侧的曝光范围Y1大，由此能够防止实际的焦点深度(从光学系统的焦点深度中除去曝光区AE的工件W的平面精度误差而得到)变浅，实现描绘图案的细线条化。即，通过使下游侧的平面上的曝光范围Y2比曲面上的曝光范围Y1大，能够容易地在曝光单元30A的焦点深度内描绘图案。具体而言，优选将下游侧的范围设定为70%以上，更优选设定为80%以上。具体而言，在曝光范围Y为10mm时，上游侧的范围为Y1 = 2?3_，下游侧的范围为Y2 = 8?7_。
[0063]在曝光单元30A和30B进行曝光动作的期间，并行地执行下一个单位图案区域AP的对准标记摄像步骤和数据校正步骤。所以，当单位图案区域AP的曝光结束时，曝光单元30能够连续开始下一个单位图案区域AP的曝光。
[0064]为了并行地进行对准标记摄像步骤和数据校正步骤，如图4所示，考虑到单位图案区域AP的大小，使曝光单元30A、30B和对准相机50以单位图案区域AP的四个对准标记MA处于两者之间的方式(以两者之间的距离比单位图案区域AP长的方式)，隔开了其位置。本实施方式的曝光单元30A和对准相机50隔着曝光辊40位于上下，所以即使将曝光辊40小型化，也能够确保其距离。此外，曝光单元30A和对准相机50隔着曝光辊40沿铅垂方向并列配置，所以能够最高效地利用辊，并能够提高工件W的位置对准精度和生产率。
[0065]在以上实施方式中，将第1曝光单元30A设置在工件从多孔圆筒部件41脱离的位置附近，将第2曝光单元30B设置在配置于多孔圆筒部件41的下游的悬浮抽吸引导单元60上。与此相对，图5是使单一的曝光单元30的曝光区AE跨越工件从多孔圆筒部件41脱离的位置和悬浮抽吸引导单元60上的位置的实施方式。这样，能够通过使曝光单元30对工件W进行曝光的曝光区的至少一部分位于悬浮抽吸引导单元60上，确保了曝光区的平面性，并且能够通过使用曝光辊的高工件进给精度，实现高描绘精度。
[0066]并且，如上所述，能够省略以上实施方式中的一对曝光单元30A、30B中的下游侧的曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60。图10、图11示出在图1、图2中省略了曝光单元30B和悬浮抽吸引导单元60的实施方式。在该实施方式中，导辊14构成工件W的切线方向引导单元。即，工件W在从多孔圆筒部件41脱离后，随着导辊14，在多孔圆筒部件41的最上部沿水平切线(切平面)方向移动(从多孔圆筒部件41脱离的工件W通过导辊(引导单元)14将脱离角度调整为水平)。而且，根据该实施方式，能够使曝光辊40 (圆筒部件)的切线(切平面)方向的平面区包含在上游侧的曝光单元30A的曝光区中，并能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊型的直接曝光装置宽。该特征为第1实施方式也具有的特征。另外，在图10、图11的实施方式中，在图3、图4、图6和图9中描绘了一对的曝光区AE仅为基于曝光单元30A的一个曝光区AE。
[0067]根据该图10、图11的实施方式，能够抑制曝光辊40的直径，同时高精度地进行工件W的对准和描绘位置的校正，并且能够使曝光图像的焦点对准区比以往的曝光辊型的直接曝光装置宽。其结果是，可获得比以往的直接曝光装置节省空间且能够进行高精度的处理的曝光装置。
【主权项】
1.一种直接曝光装置，其使用了光调制元件阵列，将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件，所述直接曝光装置的特征在于，具有: 圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转； 切线方向引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及 第1曝光构件，其至少在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。2.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中， 在上述前后一定范围内，从脱离位置到输送方向下游侧的范围比从脱离位置到输送方向上游侧的范围宽。3.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中， 拍摄形成于上述长条状工件的对准标记的对准相机配置在隔着上述圆筒部件而与上述曝光构件相对的位置处。4.根据权利要求3所述的直接曝光装置，其中， 上述第1曝光构件的光轴和对准相机的光轴朝向铅垂方向。5.根据权利要求3所述的直接曝光装置，其中， 上述圆筒部件至少在上述第1曝光构件的曝光位置和上述对准相机的拍摄位置处，将上述长条状工件保持在其周面上。6.根据权利要求1所述的直接曝光装置，其中， 所述直接曝光装置还具有:平面引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置的下游侧，在长条状工件不与引导面接触的状态下将该长条状工件支撑为平面状；以及第2曝光构件，其在上述平面引导构件上，对上述长条状工件进行曝光。7.根据权利要求6所述的直接曝光装置，其中， 上述第2曝光构件的曝光区跨越上述长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置和平面引导构件上的位置。8.根据权利要求6所述的直接曝光装置，其中， 上述第1曝光构件的曝光区和第2曝光构件的曝光区存在于大致同一平面上。9.根据权利要求6所述的直接曝光装置，其中， 上述平面引导构件是具有气体吹出构件和气体抽吸构件的悬浮抽吸引导构件。
【专利摘要】直接曝光装置，在将图案曝光于从供给卷轴送出并被卷绕到卷绕卷轴上的长条状工件的直接曝光装置中，能够在抑制曝光辊直径增大的同时，扩大曝光图像的焦点对准区，并使描绘图案的线条变细。该直接曝光装置具有：圆筒部件，其在上述供给卷轴与卷绕卷轴之间，在其周面的一定范围内保持长条状工件的同时进行旋转；引导构件，其在长条状工件从上述圆筒部件脱离的脱离位置处，沿与上述圆筒部件的轴垂直截面中的径向垂直的切线方向引导长条状工件；以及曝光构件，其在包含上述脱离位置的输送方向的前后一定范围内，对从上述圆筒部件脱离并沿上述切线方向延伸的长条状工件描绘图案。
【IPC分类】G03F7/20
【公开号】CN105467773
【申请号】CN201510617271
【发明人】桥本典夫, 森田亮
【申请人】株式会社Orc制作所
【公开日】2016年4月6日
【申请日】2015年9月24日