)42a，该抽吸凹部(槽)42a对形成于多孔圆筒部件41的周面的无数微细孔(抽吸孔)41a施加负压。经由负压源43和控制器(调节器)44，对抽吸凹部42a施加负压。在对抽吸凹部42a供给了负压的状态下对多孔圆筒部件41进行旋转驱动时，在形成有抽吸凹部42a的抽吸区间α (图5)中，从多孔圆筒部件41的微细孔41a抽吸空气，结果工件W被吸附保持于多孔圆筒部件41的周面并旋转。
[0038]确定抽吸凹部42a的抽吸区间α、以及导辊13和导辊14的位置，使得在从轴向观察多孔圆筒部件41时，在多孔圆筒部件41的最高位置(最上位置)和最低位置(最下位置)之间，工件W被多孔圆筒部件41抽吸并旋转。确定导辊13的位置，使得工件W从与多孔圆筒部件41的径向垂直的最下方的水平的切线(切平面)方向进入多孔圆筒部件41 (在下方的水平切线(切平面)方向与径向的交点(相交线)处开始抽吸保持)，确定导辊14的位置，使得将工件W向与多孔圆筒部件41的径向垂直的最上方的水平的切线(切平面)方向排出(在上方的水平切线(切平面)方向与径向的交点(相交线)处结束抽吸保持)。即，抽吸凹部42a的抽吸区间α被设定在跨越开始将工件吸附到多孔圆筒部件41的位置、和工件W从多孔圆筒部件41脱离的位置的大致半周之间(大致180 °)。另外，工件W至少在抽吸区间α的两端部、即抽吸开始位置和抽吸开放位置处被多孔圆筒部件41抽吸保持即可。
[0039]如图2示意性所示，在曝光辊40的多孔圆筒部件41的外周形成有线性刻度45，在曝光辊40的外侧固定位置配设有线性传感器46，该线性传感器46读取该线性刻度45来检测多孔圆筒部件41的绝对旋转位置。
[0040]悬浮抽吸引导单元60位于曝光辊40 (多孔圆筒部件41)的出口(下游)侧，通过气体的吹出和抽吸，以非接触的方式将长条工件W支撑为平面状，其工作原理自身是众所周知的。
[0041]图7、图8示意性示出悬浮抽吸引导单元60，悬浮抽吸引导单元60具有导板61和空气回路主体62。导板61具有在其平板状的引导面61a上开口的无数贯通孔(吹出孔)61b和贯通孔(抽吸孔)61c。空气回路主体62呈梳齿状，并具有其梳齿彼此错开地进行组合的空气供给槽62a和空气抽吸槽62b，空气供给槽62a与正压源64连接，空气抽吸槽62b与负压源63连接。贯通孔61b以与空气供给槽62a连通的方式呈矩阵状，贯通孔61c以与空气抽吸槽62b连通的方式呈矩阵状，并且空气供给槽62a和空气抽吸槽62b被设置为使得吹出空气的贯通孔61b的列和抽吸空气的贯通孔61c的列分别与工件W的行进方向平行。原本，吹出空气的贯通孔和抽吸空气的贯通孔无需必须是列状，能够是绕中心的吹出孔(抽吸孔)配置多个抽吸孔(吹出孔)的方式等。
[0042]该悬浮抽吸引导单元60经由正压源64向空气供给槽62a供给加压空气并从贯通孔61b吹出，同时经由负压源63向空气抽吸槽62b施加负压并从贯通孔61c抽吸空气，由此能够提高在引导面61a上通过的工件W的平面精度。
[0043]具体而言，以上的悬浮抽吸引导单元60能够使用PISC0有限公司制造的AFU1 (精密悬浮型)。
[0044]一对曝光单元30实质上为相同结构，一个曝光单元30A (第1曝光单元30)设置在工件W从多孔圆筒部件41远离的位置附近，另一个曝光单元30B (第2曝光单元30)位于悬浮抽吸引导单元60上。
[0045]图3示出曝光单元30(30A和30B)的具体例。曝光单元30具有光源部20，光源部20由具有相同的内部结构的两个光源部20a和光源部20b构成。由于光源部20a和光源部20b为相同结构，所以，以光源部20a为代表进行说明。
[0046]光源部20a由UV灯21、第1全反射镜22、聚光透镜23、第2全反射镜24、复眼透镜25、光圈(未图示)构成。光源部20a具有UV灯21，从UV灯21射出从365nm到440nm的各种波长共存的紫外光。
[0047]从UV灯21射出的紫外光通过椭圆反射镜26向天空方向照射，通过第1全反射镜22将朝向改变为水平方向，通过聚光透镜23会聚，并通过第2全反射镜24将朝向改变为地面方向(工件W的方向)。改变了朝向的紫外光成为经过复眼透镜25和光圈而被分支为四个光束。光束进一步经由8个第1投影透镜33和8个反射镜34，入射到8个DMD (DigitalMicro-mirror Device:数字微镜设备)元件(光调制元件阵列)36而成为进行了控制的光束。该进行了控制的光束穿过第2投影透镜组37，从而被调整要投影的曝光描绘的倍率，并被照射到工件W。也就是说，作为描绘装置的直接曝光装置100按照预先收纳有期望的曝光像的描绘数据，控制光源部20a和光源部20b的紫外光。
[0048]曝光单元30A的曝光区如下确定。如上所述，工件W在从多孔圆筒部件41脱离后，在悬浮抽吸引导单元60上移动，在多孔圆筒部件41的最上部沿水平切线方向移动(从多孔圆筒部件41脱离的工件W通过悬浮抽吸引导单元60，将脱离角度调整为水平)。曝光单元30A的曝光区AE (图2、图3、图6)严格来说不是单纯的矩形，但是，这里简单地通过矩形表现，该矩形将与工件W的输送方向垂直的方向(工件W的宽度方向)作为长度方向。而且，如图6所示，对于该曝光范围Y，在以多孔圆筒部件41的轴心41X与切线方向的交点(相交线)S为基准时，将下游侧(导辊14侧)的曝光范围Y2设定为比相交线S的上游侧(多孔圆筒部件41的圆筒面侧)的曝光范围Y1大(Y1〈Y2)。
[0049]在悬浮抽吸引导单元60上，对工件W进行曝光的曝光单元30Β针对通过悬浮抽吸引导单元60而提高(维持)了平面性的工件W，在曝光区ΑΕ (图2、图3、图6)中进行曝光。该曝光单元30Β的曝光范围Υ可以与曝光单元30Α的曝光范围Υ相同，也可以不同。与曝光单元30Α的曝光区同样，曝光单元30Β的曝光区ΑΕ (图2、图3、图6)严格来说不是单纯的矩形，但是，这里简单地通过矩形表现，该矩形将与工件W的输送方向垂直的方向(工件W的宽度方向)作为长度方向。曝光单元30Α和30Β对工件W进行曝光的曝光区ΑΕ位于同一平面。
[0050]图9示意性地示出两个曝光区ΑΕ中的曝光单元30Α和30Β的曝光状态。在图9中，由双点划线表示的圆C为曝光单元30Α和30Β的图3所示的一个第1投影透镜33和反射镜34所占据的光学系统的大小，其中存在利用粗线的矩形描绘出的DMD (DigitalMicro-mirror Device:数字微镜设备)元件36的实际曝光区R。在图示例中，在一个曝光区AE内存在四个实际曝光区R，将包含这四个实际曝光区R的与工件W的输送方向垂直的方向的矩形区设为AE。另外，曝光光束在图3中，分支为八个光学系统，而在图9的例子中，分支为四个光学系统。
[0051]在该实施方式中，具备一对在工件W的宽度方向隔开的对准相机50。该对准相机50对预先形成在工件W上的对准标记MA(图4)进行拍摄从而确定(修正)曝光单元30A和30B的描绘坐标系。对准相机50用于在工件W相对于曝光辊40(多孔圆筒部件41)的吸附开始位置处拍摄对准标记MA，吸附开始位置等同于拍摄位置。而且，对准相机50和曝光单元30A隔着曝光辊40相对配置，并且彼此的光轴隔着曝光辊40，位于相反的一侧的大致铅垂位置。这里的相对是指对准相机50的拍摄方向和曝光单元30A的曝光光射出方向彼此面对，但是，这时各自的光轴无需必须处于同一轴线上，也可以在基板输送方向上偏移。对准相机50和曝光单元30A优选配置成其中至少一个的光轴严格朝向铅垂方向。通过这样配置对准相机50和曝光单元30A，能够将对准相机50和曝光单元30A的光学系统保持为最稳定的状态，能够获得最优的光学性能。
[0052]图4示出工件W上的单位图案区域AP和对准标记MA、对准相机50以及曝光单元30A和30B的两个曝光区AE之间的位置关系。在图示例子中，相对于一个单位图案区域AP (进行一次对准和描绘的范围)，形成有4个(2个X 2列)对准标记MA，对准相机50能够进行位置调整，使得在相机视野50a的中心处拍摄到对准标记MA。
[0053]另外，对准标记MA的个数和配置根据要描绘的图案适当进行设定，对准相机50的个数和配置当然也可以与此相应地被确定。
[0054]上述结构的该直接曝光装置100如下进行动作。供给卷轴10、曝光辊40、卷绕卷轴11通过伺服系统被准确地进行同步旋转控制，供给卷轴10所卷绕的工件W经过导辊12、
13、曝光辊40、悬浮抽吸引导单元60、导辊14，被卷绕到卷绕卷轴11。通过线性刻度45、线性传感器46准确地检测曝光辊40的多孔圆筒部件41的旋转位置。
[0055]当在该工件W的输送移动中，经由负压源43和控制器(调节器)44对抽吸凹部42a施加负压时，工件W在抽吸区间α处被吸附在多孔圆筒部件41的周面上。S卩，从多孔圆筒部件41的最下方的吸附开始位置到最上方的脱离位置之间，工件W被保持在多孔圆筒部件41的周面上并在圆筒面上移动。吸附开始位置同时是对准相机50拍摄对准标记ΜΑ的位置。工件W的吸附优选以在拍摄位置处必定开始的方式，从比拍摄位置