剥离液更换系统的制作方法_2

文档序号:8903381阅读:来源:国知局
型实施例提供了一种剥离容器O的应用场景图,剥离液I位于剥离容器O中,在剥离基板(图1中未示出)上的光刻胶时,需要将涂覆有光刻胶的基板置于装有剥离液I的剥离容器O中,在剥离液I的作用下,基板上的光刻胶与剥离液I发生化学反应,并溶于剥离液1,使得光刻胶从基板上脱落,完成光刻胶从基板上的剥离。
[0056]本实用新型实施例提供了一种剥离液更换系统00,如图2所示,该剥离液更换系统00可以包括:获取模块001、检测模块002和更换模块003,检测模块002与更换模块003相连接。
[0057]该获取模块001用于获取剥离容器中的剥离液。检测模块002用于检测剥离液的质量是否符合预设标准。更换模块003用于在剥离液的质量不符合预设标准时,更换剥离容器中的剥离液。
[0058]综上所述,由于本实用新型实施例提供的剥离液更换系统中,通过检测模块检测剥离容器中剥离液的质量,更换模块进行剥离容器中剥离液的更换,若剥离液的质量符合预设标准,则不进行更换剥离液,若剥离液的质量不符合预设标准,则对剥离容器中的剥离液进行更换。避免了在该剥离液的质量符合标准的情况下,对剥离液进行更换造成的剥离液的浪费,和在剥离液的质量不符合标准的情况下,不更换剥离液造成的剥离液的剥离效果降低的问题,提高了剥离液的使用效率。
[0059]如图3所示,该获取模块001可以包括:导出单元0011和检测槽0012,该导出单元0011用于将剥离容器中的剥离液导出至检测槽0012中。检测槽0012用于盛导出单元0011导出的剥离液。示例的,该导出单元0011可以为马达,当马达转动时可以将剥离容器中的剥离液驱动至检测槽0012中,该检测槽0012的材质可以为透明材质,该检测槽0012的两端可以分别连接剥离容器。
[0060]具体的,剥离液的质量可以包括:剥离液的洁净度。由于在剥离光刻胶的过程中,光刻胶溶于剥离液,使得剥离液中夹杂着光刻胶,剥离液的洁净度小于剥离光刻胶之前剥离液的洁净度,即剥离液中夹杂有较多的杂质,当剥离液的洁净度变小之后,在使用剥离液再一次剥离基板上的光刻胶时,剥离液的剥离效果较差。当剥离液的质量包括剥离液的洁净度时,检测模块002可以用于:检测剥离液的洁净度是否符合洁净度标准,若剥离液的洁净度不符合洁净度标准,则确定剥离液的质量不符合预设标准。
[0061]该剥离液的质量还可以包括:剥离液的粘度。由于在剥离光刻胶的过程中,若剥离液的粘度不符合粘度标准,则使用剥离液对基板上的光刻胶进行剥离时,剥离效果较差。当剥离液的质量包括剥离液的粘度时,检测模块002还可以用于:检测剥离液的粘度是否符合粘度标准,若剥离液的粘度不符合粘度标准,且剥离液的洁净度不符合洁净度标准,则确定剥离液的质量不符合预设标准。
[0062]综上所述,由于本实用新型实施例提供的剥离液更换系统中,通过检测模块检测剥离容器中剥离液的质量,更换模块进行剥离容器中剥离液的更换,若剥离液的质量符合预设标准,则不进行更换剥离液,若剥离液的质量不符合预设标准,则对剥离容器中的剥离液进行更换。避免了在该剥离液的质量符合标准的情况下,对剥离液进行更换造成的剥离液的浪费,和在剥离液的质量不符合标准的情况下,不更换剥离液造成的剥离液的剥离效果降低的问题,提高了剥离液的使用效率。
[0063]如图4所示,本实用新型实施例提供了另一种剥离液更换系统00,该剥离液更换系统00可以包括:获取模块001、检测模块002和更换模块003,检测模块002与更换模块003相连接。该获取模块001可以包括:导出单元0011和检测槽0012。该检测模块002可以包括:第一控制器0021、光信号发送仪0022和光信号接收仪0023,光信号发送仪0022和光信号接收仪0023可以分别设置在检测槽0012的两侧,第一控制器0021分别与光信号发送仪0022和光信号接收仪0023相连接。检测槽0012的材质可以为透明材质,该检测槽0012的两端a和b可以分别连接剥离容器。该第一控制器0021可以为可编程逻辑控制器(英文 -Programmable Logic Controller ;简称:PLC)。
[0064]光信号发送仪0022用于生成光信号,并将光信号经过检测槽0012发送至光信号接收仪0023。光信号接收仪0023用于接收光信号发送仪0022发送的光信号。由于光信号发送仪0022在将光信号发送至该光信号接收仪0023的过程中,光信号会经过检测槽0012,剥离液位于该检测槽0012内,光信号在经过该检测槽0012时,检测槽0012内的剥离液对该光信号进行了阻挡,使得光信号发送仪0022发送的光信号的强度大于或等于该光信号接收仪0023接收到的光信号的强度。示例的,若该光信号发送仪0022生成的光信号的强度为100%,在光信号经过该检测槽0012发送至该光信号接收仪0023时,该光信号接收仪0023接收到的光信号的强度可以为50%。
[0065]第一控制器0021用于获取光信号发送仪0022发送的光信号的强度与光信号接收仪0023接收到的光信号的强度。第一控制器0021还用于根据光信号发送仪0022发送的光信号的强度与光信号接收仪0023接收到的光信号的强度,计算光信号的强度差。该第一控制器0021内设置有预设强度差,当检测槽0012中的剥离液的质量符合预设标准时,第一控制器0021根据获取的光信号发送仪0022发送的光信号的强度与光信号接收仪0023接收到的光信号的强度计算出的光信号的强度差等于预设强度差。在确定光信号的强度差之后,第一控制器0021还用于比较光信号的强度差与预设强度差的大小,示例的,可以将第一控制器0021计算得到的光信号的强度差与预设强度差做差,若光信号的强度差与预设强度差的差值大于零,则判断光信号的强度差大于预设强度差;若光信号的强度差与预设强度差的差值小于零,则判断光信号的强度差小于预设强度差;若光信号的强度差与预设强度差的差值等于零,则判断光信号的强度差等于预设强度差。
[0066]在比较光信号的强度差与预设强度差的大小之后,该第一控制器0021还可以用于根据强度差比较结果判断剥离液的洁净度是否符合洁净度标准。具体的,在光信号的强度差大于预设强度差时,第一控制器0021具体可以用于判断剥离液的洁净度不符合洁净度标准。此时,更换模块003具体可以用于计算光信号的强度差与预设强度差的差值,并根据光信号的强度差与预设强度差的差值更换剥离容器中的剥离液。
[0067]综上所述,由于本实用新型实施例提供的剥离液更换系统中,通过检测模块检测剥离容器中剥离液的质量,更换模块进行剥离容器中剥离液的更换,若剥离液的质量符合预设标准,则不进行更换剥离液,若剥离液的质量不符合预设标准,则对剥离容器中的剥离液进行更换。避免了在该剥离液的质量符合标准的情况下,对剥离液进行更换造成的剥离液的浪费,和在剥离液的质量不符合标准的情况下,不更换剥离液造成的剥离液的剥离效果降低的问题,提高了剥离液的使用效率。
[0068]如图5所示,本实用新型实施例提供了又一种剥离液更换系统00,该剥离液更换系统00可以包括:获取模块001、检测模块002、更换模块003和报警模块004,检测模块002与更换模块003相连接,该报警模块004与该检测模块002相连接。
[0069]该获取模块001可以包括:导出单元0011和检测槽0012,该检测槽0012的两端a和b可以分别连接剥离容器。该检测模块002可以包括:第一控制器0021、光信号发送仪0022和光信号接收仪0023,光信号发送仪0022和光信号接收仪0023可以分别设置在检测槽0012的两侧,第一控制器0021分别与光信号发送仪0022和光信号接收仪0023相连接。该检测模块002还可以包括:第二控制器0024、第一传感器0025和第二传感器0026,第一传感器0025设置在检测槽0012外侧的第一位置A对应处,第二传感器0026设置在检测槽0012外侧的第二位置B对应处,第二控制器0024分别与第一传感器0025和第二传感器0026连接。该第二控制器0024可以为可编程逻辑控制器。
[0070]需要说明的是,该第一控制器0021、光信号发送仪0022和光信号接收仪0023检测剥离液的洁净度是否符合洁净度标准的具体过程,可以参考上一实施例中第一控制器0021、光信号发送仪0022和光信号接收仪0023检测剥离液的洁净度是否符合洁净度标准的具体过程,本实用新型实施例在此不做赘述。
[0071 ] 该第二控制器0024用于获取剥离液从检测槽0012的第一位置A流动至第二位置B的流动时间。具体的,剥离液可以在检测槽0012中沿第一位置A到第二位置B的方向流动,当剥离液出现在检测槽0012的第一位置A时,该第一传感器0025能够生成第一传感信息,当剥离液出现在检测槽0012
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