专利名称：等离子显示面板及其制造方法
技术领域：
本发明涉及显示装置等中使用的交流面放电型等离子显示面板及其制造方法。
背景技术：
以等离子显示面板(以下，简称为“面板”。)为代表的交流面放电型面板在相对 配置的前面板与背面板之间形成有多个放电单元。前面板具有玻璃制的前面基板、由一对 扫描电极和维持电极构成的显示电极对、覆盖所述显示电极对的电介质层及保护层。背面 板具有玻璃制的背面基板、数据电极、覆盖该数据电极的电介质层、隔壁、荧光体层。并且， 以使显示电极对与数据电极形成立体交叉的方式使前面板与背面板相对配置并进行密封， 在内部的放电空间内封入有放电气体。在此，在显示电极对与数据电极的相对的部分形成 有放电单元。在如此构成的面板的各放电单元内产生气体放电，使红、绿、蓝各色的荧光体 受激发光而进行彩色显示。扫描电极及维持电极例如在宽幅的条纹状的透明电极上层叠窄幅的条纹状的总 线电极而形成。透明电极是将使用例如溅射法等在前面基板上形成的铟锡氧化物(ITO)薄 膜通过照相平版印刷法等印刻图形成条纹状而形成。而且总线电极是在透明电极上将银 (Ag)浆糊印刷成条纹状并进行烧成而形成(例如，参照专利文献1)。然而，为了通过溅射 法等形成铟锡氧化物(ITO)薄膜，需要真空装置或曝光机等设备。因此，存在生产设备变为 大型，并且生产性低，成本高的问题。为了解决所述课题，公开有涂敷分散液并进行烧成而形成透明电极的方法，该分 散液包含从铟(In)、锡(Sn)、锑(Sb)、铝(Al)及锌(Zn)选择的金属的微粒子(例如，参照 专利文献2)。然而，烧成包含金属的微粒子的分散液而形成的透明电极与通过溅射法形成的铟 锡氧化物(ITO)薄膜相比，存在机械强度弱，容易剥离，容易损伤等缺点。因此，单纯置换为 铟锡氧化物(ITO)薄膜时，存在成品率大幅下降的课题。专利文献1 日本特开2000-156168号公报专利文献2 日本特开2005-183054号公报
发明内容
本发明是一种等离子显示面板，在前面基板上形成有具有第一总线电极和第一 透明电极的扫描电极；具有第二总线电极和第二透明电极的维持电极，所述等离子显示面 板的特征在于，具备设置在前面基板上的第一总线电极及第二总线电极；设置在前面基 板上，至少覆盖第一总线电极的一部分的第一透明电极；设置在前面基板上，至少覆盖第二 总线电极的一部分的第二透明电极。根据此种结构，能够提供一种不使成品率下降而具有低成本的透明电极的面板。
图1是示出本发明的实施方式中的面板的结构的分解立体图。图2A是示出该面板的显示电极对的详细情况的从前面板侧观察的主视图。图2B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。图3A是用于说明该面板的前面板的制造方法的图。图3B是用于说明该面板的前面板的制造方法的图。图3C是用于说明该面板的前面板的制造方法的图。图3D是用于说明该面板的前面板的制造方法的图。图3E是用于说明该面板的前面板的制造方法的图。图4A是用于说明该面板的背面板的制造方法的图。图4B是用于说明该面板的背面板的制造方法的图。图4C是用于说明该面板的背面板的制造方法的图。图4D是用于说明该面板的背面板的制造方法的图。图4E是用于说明该面板的背面板的制造方法的图。图5A是示出本发明的实施方式2中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板 侧观察的主视图。图5B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。图6A是示出本发明的实施方式3中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板 侧观察的主视图。图6B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。图7A是示出本发明的实施方式4中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板 侧观察的主视图。图7B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。标号说明10 面板20、50、80、90 前面板21、51、81、91 前面基板22、52、82、92 扫描电极22a、92a(第一)总线电极22b,52b,82b,92b (第一)透明电极22bx、23bx 湿层22c,23c黑色层22cx,23cx (黑色层的)前驱体22d、2导电层22dx,23dx (导电层的)前驱体23、53、83、93 维持电极23a、93a(第二)总线电极23b、53b、83b、93b (第二)透明电极24、54、84、94 显示电极对
25黑条纹25x(黑条纹的)前驱体26电介质层27保护层30背面板31背面基板32数据电极32x(数据电极的)前驱体33基底电介质层34隔壁35荧光体层99放电间隙
具体实施例方式以下，参照
本发明的实施方式。(实施方式1)图1是示出本发明的实施方式1中的面板的结构的分解立体图。就面板10而言， 将前面板20与背面板30相对配置并通过使用密封构件(未图示)密封周边部而构成，且 在内部形成有多个放电单元。前面板20具有玻璃制的前面基板21、由扫描电极22和维持电极23构成的显示 电极对24、黑条纹25、电介质层26、保护层27。在前面基板21上相互平行地形成有多组由 一对扫描电极22和维持电极23构成的显示电极对24。并且在相邻的显示电极对24之间 形成有黑条纹25。图1示出了以反复为扫描电极22、维持电极23、黑条纹25、扫描电极22、 维持电极23、黑条纹25的方式形成显示电极对24和黑条纹25的图。然而显示电极对24 和黑条纹25也可以以反复为扫描电极22、维持电极23、黑条纹25、维持电极23、扫描电极 22、黑条纹25、扫描电极22、维持电极23、黑条纹25、维持电极23、扫描电极22、黑条纹25 的方式形成。 并且，以覆盖显示电极对24及黑条纹25的方式形成有电介质层26，且在电介质层 26上形成有保护层27。背面板30具有玻璃制的背面基板31、数据电极32、基底电介质层33、隔壁34、荧 光体层35。背面基板31上相互平行地形成有多个数据电极32。并且以覆盖数据电极32 的方式形成有基底电介质层33，而且其上方形成有井字状的隔壁34，在基底电介质层33的 表面和隔壁34的侧面上形成有红、绿、蓝各色的荧光体层35。图2A是示出本发明的实施方式1中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板 侧观察的主视图。图2B是示出本发明的实施方式1中的面板的显示电极对的详细情况的 前面板的剖面图。
扫描电极22具有不透明的第一总线电极22a和透明的第一透明电极22b。第一总 线电极22a包括黑色层22c和导电层22d。维持电极23具有第二总线电极23a和第二透 明电极23b。第二总线电极23a包括黑色层23c和导电层23d。以下，将第一总线电极22a及第二总线电极23a分别简称为“总线电极22a”及“总线电极23a”。而且将第一透明电极 22b及第二透明电极23b分别简称为“透明电极22b”及“透明电极23b”。 黑色层22c、23c为了在从显示面侧观察面板10时使总线电极22a、23a显示为黑 色而设置，将以例如氧化钌(RuO2)为主要成分的黑色的材料在前面基板21上形成为窄幅 的条纹状。并且导电层22d、23d为了提高总线电极22a、23a的导电性而设置，是在黑色层 22c,23c上印刷含银浆糊并进行烧成而形成。黑条纹25为了在从显示面侧观察面板10时使显示面显示为黑色而设置，使用以 例如氧化钌(RuO2)为主要成分的黑色的材料形成在前面基板21上。透明电极22b、23b为了在放电空间产生强电场，产生放电，并且向面板10的外部 取出由荧光体层35产生的光而设置。并且，透明电极22b以覆盖总线电极22a的至少一部 分的方式，而且透明电极23b以覆盖总线电极23a的至少一部分的方式，分别地将包含金属 的微粒子或金属氧化物的微粒子的分散液涂敷成宽幅的条纹状，并在氧化性气氛中进行烧 成而形成。接下来，说明面板10的制造方法。图3A、图3B、图3C、图3D、图3E是用于说明本 发明的实施方式1中的面板的前面板的制造方法的图。制造前面板20时，首先对玻璃制的前面基板21进行碱清洗。之后，使用以氧化钌 (RuO2)或黑色颜料为主要成分、且含有玻璃粉等无机成分和有机成分的黑色层用浆糊，在 前面基板21上形成黑色层22c、23c的前驱体22cx、23cx、及黑条纹25的前驱体25x。在本发明中，所谓“前驱体”表示涂敷黑色层用浆糊等结构构件用浆糊，除去含有 的有机成分，但是在无机成分未熔融的状态之前进行热处理。所述前驱体22CX、23CX、25X能够使用网板印刷法、照相平版印刷法等公知技术形 成。之后，如图3A所示，使用含银(Ag)的导电层用浆糊，在前驱体22cx、23cx上形成导电 层 22d、23d 的前驱体 22dx、23dx。接下来，如图3B所示，烧成形成有前驱体22cx、23cx、25x、22dx、23dx的前面基板21， 形成总线电极22a、23a、黑条纹25。此时的烧成的峰值温度优选550°C 600°C，在本实施方 式中为580°C。而且总线电极22a、23a的厚度优选Ιμπι 6μπι，在本实施方式中为4μπι。接下来，形成透明电极22b、23b。为了形成透明电极22b、23b，首先，作成分散液， 该分散液包含平均粒径为5nm IOOnm的、铟(In)、锡(Sn)、锑(Sb)、铝(Al)及锌(Zn)中 至少一个金属微粒子、或所述至少一个金属氧化物的微粒子、或上述微粒子的混合物。在本 实施方式中，使平均粒径为IOnm的铟(In)和锡(Sn)的合金微粒子以12重量％的浓度与 分散剂一起分散在有机溶剂中，作成分散液。此外，作为有机溶剂，虽然使用了十氢化萘， 但是除此之外也可以使用例如甲苯、二甲苯、苯、十四烷之类的无极性溶剂、芳香族烃类、己 烷、庚烷、辛烷、壬烷、癸烷、十一烷、十二烷、十三烷、十四烷、十五烷、十六烷、十八烷、十九 烷、廿烷、三甲基戊烷等的长链烷烃、环己烷、环庚烷、环辛烷等环状烷烃等。 接下来，如图3C所示，使用喷墨涂敷装置，将分散液涂敷成覆盖总线电极22a的至 少一部分的宽幅的条纹状而形成湿层22bx。同样地，将分散液涂敷成覆盖总线电极23a的 至少一部分的宽幅的条纹状而形成湿层23bx。在本实施方式中，使用具有多孔的微细喷嘴 的喷墨涂敷装置，形成湿层22bx、23bx。此时，湿层22bx以覆盖总线电极22a的方式涂敷， 湿层23bx以覆盖总线电极23a的方式涂敷。
之后，如图3D所示，对形成有湿层22bx、23bx的前面基板21进行干燥，在氧化性 气氛中以400°C 600V进行烧成，形成由厚度80nm IOOOnm的透明导电膜构成的透明 电极22b、23b。在本实施方式中，将形成有湿层22bx、23bx的前面基板21在1 X10_3Pa的 减压下以230°C的温度条件保持IOmin进行干燥。并且在大气中以500°C的温度条件烧制 60min，形成由厚度约300nm的铟锡氧化物(ITO)膜构成的透明电极22b、23b。如此形成总线电极22a、23a后，通过以覆盖总线电极22a、23a的至少一部分的方 式形成透明电极23a、23b，能够在总线电极的形成时，减少透明电极剥离或损伤的可能性。 由此，能够使用包含金属的微粒子或金属氧化物的微粒子的分散液形成透明电极。接下来，在形成有扫描电极22、维持电极23及黑条纹25的前面基板21上通过印 刷法等公知技术形成电介质层的前驱体。然后烧成电介质层的前驱体，形成厚度20μπι 50 μ m的电介质层26。在本实施方式中，作成了包含电介质玻璃的电介质浆糊，该电介质玻璃由氧化硼 (B2O3) 34. 6重量％、氧化硅(SiO2) 1.4重量％、氧化锌(ZnO) 27. 6重量％、氧化钡(BaO) 3. 3 重量％、氧化铋(Bi2O3) 25重量％、氧化铝(Al2O3)L 1重量％、氧化钼(MoO3) 4. 0重量％、氧 化钨(103)3.0重量％构成。如此作成的电介质玻璃的软化点约为570°C。接下来，在形成 有扫描电极22、维持电极23及黑条纹25的前面基板21上通过金属涂料法涂敷电介质浆糊 而形成电介质层的前驱体。然后在约590°C下烧成电介质层的前驱体而形成电介质层26。 此时的电介质层26的厚度约为40 μ m。此外，作为电介质浆糊，除上述以外，也可以从例如氧化硼(B2O3)、氧化硅(SiO2)、 氧化锌(ZnO)、氧化铋(Bi2O3)、氧化铝(Al2O3)、氧化钼(MoO3)、氧化钨(WO3)、氧化铈(CeO)、 或碱土类金属氧化物、碱金属氧化物等中使用包含几个软化点520°C 590°C的电介质玻 璃的电介质浆糊。然后，如图3E所示，在电介质层26上通过真空蒸镀法等公知技术形成以氧化镁 (MgO)为主要成分的保护层27。另外，在本实施方式中，使用铟(In)和锡(Sn)的合金微粒子形成由铟锡氧化物 (ITO)膜构成的透明电极22b、23b。除上述以外，也可以使用例如锡(Sn)的微粒子形成由 氧化锡(SnO2)膜构成的透明电极。而且，还可以使用锌(Zn)的微粒子形成由氧化锌(ZnO) 膜构成的透明电极。另外，在本实施方式中，烧成黑色层22c、23c及导电层22d、23d的前驱体22cx、 23cx、22dx、23dx后，形成并烧成透明电极22b、23b的湿层22bx、23bx。然而，例如也可以在 黑色层22c、23c及导电层22d、23d的前驱体22cx、23cx、22dx、23dx上进一步形成透明电极 22b、23b的湿层22bx、23bx，之后，同时烧成所述前驱体22cx、23cx、22dx、23dx及湿层22bx、 23bx而形成扫描电极22、维持电极23。接下来说明背面板30的制造方法。图4A、图4B、图4C、图4D、图4E是用于说明本 发明的实施方式1中的面板的背面板的制造方法的图。首先，如图4A所示，使用网板印刷法、照相平版印刷法等公知技术，在背面基板31上将以银为主要成分的导电层用浆糊以恒定间隔涂敷成条纹状，形成数据电极32的前驱 体 32χ0接下来，如图4B所示，对形成有前驱体32x的背面基板31进行烧成，形成数据电极32。数据电极32的厚度为例如2 μ m 10 μ m。接下来，如图4C所示，在形成有数据电极32的背面基板31上涂敷电介质浆糊，之后进行烧成而形成基底电介质层33。基底电介质层33的厚度例如约为5 μ m 15 μ m。接下来，如图4D所示，在形成有基底电介质层33的背面基板31上涂敷了感光性的电介质浆糊后，进行干燥而形成隔壁34的前驱体。之后，使用照相平版印刷法等公知技 术形成隔壁34。隔壁34的高度为例如100 μ m 150 μ m。然后，如图4E所示，在隔壁34的壁面及电介质层33的表面涂敷包含红色荧光体、 绿色荧光体、蓝色荧光体的任一种的荧光体墨水。之后进行干燥、烧成而形成荧光体层35。分别地，作为红色荧光体，能够使用例如(Y，Gd) BO3:Eu、(Y, V) PO4:Eu等，作为绿色 荧光体，能够使用例如Zn2SiO4 = Mru (Y,Gd)BO3:Tb, (Y,Gd)Al3(BO3)4:Tb等，作为蓝色荧光体， 能够使用例如 BaMgAlltlO17:Eu、Sr3MgSi2O8 = Eu 等。并且，以使显示电极对24与数据电极32形成为立体交叉的方式将上述的前面板 20和背面板30相对配置，在形成有放电单元的图像显示区域的外侧的位置使用低熔点玻 璃进行密封。此后，在内部的放电空间内封入有含氙的放电气体，完成面板10。在本实施方式中，透明电极22b以覆盖总线电极22a的至少一部分的方式，透明电 极23b以覆盖总线电极23a的至少一部分的方式，分别地将包含铟(In)、锡(Sn)等金属微 粒子的分散液涂敷成宽幅的条纹状，在氧化性气氛中进行烧成而形成。然后，在接下来的工 序中，以覆盖透明电极22b、23b的方式用金属涂料法形成电介质层26。因此，即使透明电极 22b、23b的机械性强度低，损伤或剥离的可能性也非常小。另外，在本实施方式中，涂敷使平均粒径为IOnm的铟(In)和锡(Sn)的合金微粒 子以12重量％分散的分散液后，在500°C的高温下烧成的透明电极22b、23b的阻抗低，透過 率高，且与前面基板21或总线电极22a、23a的密接性也良好。作为其理由，考虑为例如通 过烧成使铟(In)变化为氧化铟(In2O3)时，微粒子膨胀，因此粒子间的密接性或与基板的密
接性进一步提高。另外，在本实施方式中，使用平均粒径为5nm IOOnm的金属的微粒子形成透明电 极22b、23b。这是因为在平均粒径小于5nm时，微粒子与电介质玻璃容易产生反应，而且， 在含银(Ag)的总线电极22a、23a的阶梯部容易产生龟裂。而且，是因为在平均粒径超过 IOOnm时，喷墨涂敷装置的微细喷嘴容易产生眼堵塞。而且当平均粒径过大时，粒子间的接 触面积减少，薄层电阻变大。另外，在本实施方式中，将包含金属的微粒子的分散液通过喷墨法涂敷成条纹状。 如此，通过使用喷墨法，能够不浪费分散液，且尺寸精度高地印刻图形。此外，通过对透明电极的形状想办法，能够进一步抑制如下所述的分散液的使用量。(实施方式2)图5A是示出本发明的实施方式2中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板 侧观察的主视图。图5B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。实施 方式2中的面板与实施方式1中的面板10的不同点在于，构成前面板50的前面基板51上 形成的透明电极52b、53b的形状。关于与实施方式1相同的构成要素，附加相同的标号，省 略详细说明。
扫描电极52包括总线电极22a和透明电极52b。同样地，维持电极53包括总线电极23a和透明电极53b。而且显示电极对54包括扫描电极52和维持电极53。透明电极52b以覆盖总线电极22a的至少一部分的方式，而且透明电极53b以覆盖总线电极23a的至少一部分的方式，分别涂敷包含铟(In)、锡(Sn)等金属的微粒子或金 属氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性气氛中进行烧成而形成。如图5A所示，实施方式 2的透明电极52b、53b形成为梯子状的形状。并且与放电单元分别对应地形成有梯子状的 横木部分。如此，通过将透明电极52b、53b形成为梯子状的形状，能够进一步抑制分散液的 使用量。(实施方式3)图6A是示出本发明的实施方式3中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板侧观察的主视图。图6B是示出该面板的显示电极对的详细情况的前面板的剖面图。在构成前面板80的前面基板81上形成的扫描电极82包括总线电极22a和透明电极82b。同样地，维持电极83包括总线电极23a和透明电极83b。而且显示电极对84包 括扫描电极82和维持电极83。透明电极82b以覆盖总线电极22a的至少一部分的方式，而且透明电极83b以覆盖总线电极23a的至少一部分的方式，分别涂敷包含铟(In)、锡(Sn)等金属的微粒子或金 属氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性气氛中进行烧成而形成。如图6A所示，实施方式 3的透明电极82b、83b形成为栉齿状的形状。并且与放电单元分别对应地形成有栉齿状的 栉的部分。如此，通过将透明电极82b、83b形成为栉齿状的形状，能够进一步抑制分散液的 使用量。(实施方式4)图7A是示出本发明的实施方式4中的面板的显示电极对的详细情况的从前面板侧观察的主视图。图7B是示出本发明的实施方式4中的面板的显示电极对的详细情况的 前面板的剖面图。在构成前面板90的前面基板91上形成的扫描电极92包括总线电极92a 和透明电极92b。同样地，维持电极93包括总线电极93a和透明电极93b。而且显示电极 对94包括扫描电极92和维持电极93。透明电极92b以覆盖总线电极92a的至少一部分的方式，而且透明电极93b以覆盖总线电极93a的至少一部分的方式，分别涂敷包含铟(In)、锡(Sn)等金属的微粒子或金 属氧化物的微粒子的分散液，并在氧化性气氛中进行烧成而形成。如图7A所示，实施方式 4的透明电极92b、93b形成为栉齿状的形状。并且与放电单元分别对应地形成有栉齿状的 栉的部分。如此，在实施方式4中，通过将透明电极92b、93b也形成为栉齿状的形状，与实 施方式3相同地，能够抑制分散液的使用量。实施方式4中的面板与实施方式3中的面板的不同点在于，通过总线电极92a、93a 形成放电单元内部的扫描电极92与维持电极93相对的部分，S卩，形成放电间隙99的部分。通常，放电间隙99的距离对其放电单元的放电特性影响大。因此，放电间隙99的距离的波动大时，每个放电单元的放电特性的波动也大，存在显示画面产生不均的担心。然 而，根据实施方式4，由于使用尺寸精度高的照相平版印刷法形成总线电极92a、93a，因此 能够缩小放电间隙99的距离的波动，也能够抑制每个放电单元的放电特性的波动。而且，如上所述，透明电极92b以覆盖总线电极92a的至少一部分的方式形成，透明电极93b以覆盖总线电极93a的至少一部分的方式形成。因此，透明电极92b、93b优选具 有总线电极92a、93a的宽度的一半以上且小于总线电极92a、93a的宽度的重叠宽度。艮口， 总线电极92a、93a的宽度W相对于透明电极92b、93b与总线电极92a、93a的重叠宽度D，优 选满足1/2W彡D < W。若以完全覆盖总线电极92a、93a的方式形成透明电极92b、93b，则在烧成总线电 极92a、93a时，存在总线电极材料的银粒子的烧结不充分的可能性。因此，重叠宽度D优选 小于总线电极92a、93a的宽度W。其中，重叠宽度D小于总线电极92a、93a的宽度W的一 半时，总线电极92a、93a与透明电极92b、93b的接触电阻大，其结果，扫描电极92、维持电 极93的电阻值过大，从而存在图像显示品质下降的担心。因此，重叠宽度D设定为小于总 线电极92a、93a的宽度W的一半的情况不优选。此外，在本实施方式中，如图7A所示，虽然使用透明电极材料形成了栉齿形状的栉的部分，但是本发明并不局限于此，也可以使用例如总线电极材料形成栉齿形状的栉的 部分。另外，在实施方式1 4中使用的具体的各数值只不过是列举的一个例子，优选按照面板的规格等，设定为最合适的值。产业上的可利用性根据本发明，能够不使成品率下降而实现具有低成本的透明电极的面板，从而作为面板及其制造方法有用，该透明电极烧成包含金属的微粒子或金属氧化物的微粒子的分 散液而形成。
权利要求
一种等离子显示面板，其在前面基板上形成有具有第一总线电极和第一透明电极的扫描电极；具有第二总线电极和第二透明电极的维持电极，所述等离子显示面板的特征在于，具备设置在所述前面基板上的所述第一总线电极及所述第二总线电极；设置在所述前面基板上，至少覆盖所述第一总线电极的一部分的所述第一透明电极；设置在所述前面基板上，至少覆盖所述第二总线电极的一部分的所述第二透明电极。
2.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于，所述第一透明电极及所述第二透明电极分别使用包含金属的微粒子或金属氧化物的 微粒子的分散液形成。
3.根据权利要求2所述的等离子显示面板，其特征在于，所述微粒子包含铟及锡。
4.根据权利要求1所述的等离子显示面板，其特征在于，所述第一透明电极及所述第二透明电极的至少一个为栉齿状或梯子状的形状。
5.一种等离子显示面板的制造方法，所述等离子显示面板在前面基板上形成有具有 第一总线电极和第一透明电极的扫描电极；具有第二总线电极和第二透明电极的维持电 极，所述等离子显示面板的制造方法的特征在于，具备在所述前面基板上形成所述第一总线电极及所述第二总线电极的步骤；以覆盖所述第一总线电极或其前驱体的至少一部分的方式形成所述第一透明电极，并 以覆盖所述第二总线电极或其前驱体的至少一部分的方式形成所述第二透明电极的步骤。
6.根据权利要求5所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于，所述第一透明电极及所述第二透明电极分别通过涂敷包含金属的微粒子或金属氧化 物的微粒子的分散液形成。
7.根据权利要求6所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于，通过喷墨法涂敷所述分散液。
8.根据权利要求5所述的等离子显示面板的制造方法，其特征在于，还具备在形成所述第一透明电极和所述第二透明电极的步骤后，形成电介质层的步骤。
全文摘要
本发明提供一种不使成品率下降而实现具有低成本的透明电极的等离子显示面板。为此，具备设置在前面基板上的第一总线电极及第二总线电极；设置在前面基板上，并至少覆盖第一总线电极的一部分的第一透明电极；设置在前面基板上，并至少覆盖第二总线电极的一部分的第二透明电极。
文档编号H01J11/12GK101802957SQ20098010035
公开日2010年8月11日 申请日期2009年6月29日 优先权日2008年6月30日
发明者村社智宏, 浜田良太, 瓜生英一, 石仓靖久 申请人:松下电器产业株式会社