专利名称：一种多电极束流聚焦调节装置与方法
技术领域：
本发明涉及一种多电极束流聚焦调节装置与方法，尤其的涉及离子注入机，属于半导体器件制造设备领域。
背景技术：
在半导体制造工艺设备离子注入机中，离子束从离子源引出后，由于离子间相互电荷力的作用机离子初始运动方向的不同，导致离子束在传输过程中会发生发散，为了使最终打在靶上的离子束流满足生产的要求，需要对离子束进行聚焦。本专利所涉及的宽带束离子束流宽度超过了 300_，为了满足这么大宽度的束流中离子运动方向的一致性及束流大小的均匀性，本专利设计了一种多电极束流聚焦调节装置，能够对宽带离子束流经过的空间电场强度分布进行调节，改变离子运动的方向，调整宽带离子束流分布的均匀性。
发明内容
本发明即是针对上述要求而提出的一种结构简单、可靠性高的多电极束流聚焦调节装置。本发明通过以下技术方案来实现:一种多电极束流聚焦调节装置与方法，包括:主控计算机(I)、光纤通信卡(2)、I/O信号控制器(3)、程控多路输出直流电源(4)、柱状电极组(5)、绝缘腔体出)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(I)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器
(3)之间通过光纤传输信号。I/O信号控制器(3)连接到程控多路输出直流电源(4)，负责给程控多路输出直流电源⑷发送电压输出命令和采集反馈电压。I/O信号控制器(3)和程控多路输出直流电源(4)之间使用电缆连接，传输信号。本发明具有如下显著优点:1.1/O信号控制器(3)到光纤通信卡(2)之间的连接使用光纤，有效的防止了离子源高压打火对信号传输的干扰。2.程控多路输出直流电源⑷的电压输出端分别连接到柱状电极组(5)的每个电极上，可以对这些个电极实施独立控制，能够有效地改变离子空间运动方向上的一致性和离子束流大小分布的均匀性。
下面结合附图和具体实施例对本发明作进一步的介绍，但不作为对本发明的限定。图1为多电极束流聚焦调节装置的原理框图；图2为电极组电极组电极间的电势差对离子运动方向影响示意图。
具体实施例方式如图1所示的一种多电极束流聚焦调节装置，包括:主控计算机(I)、光纤通信卡
(2)、1/0信号控制器(3)、程控多路输出直流电源⑷、柱状电极组(5)、绝缘腔体(6)。光纤通信卡(2)插在主控计算机(I)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤传输命令信号。I/O信号控制器(3)连接到程控多路输出直流电源(4)，负责给程控多路输出直流电源⑷发送电压输出命令和采集反馈电压。I/O信号控制器(3)和程控多路输出直流电源⑷之间使用电缆连接，传输信号。柱状电极组(5)安装固定在绝缘腔体(6)上，程控多路输出直流电源(4)的电压输出端分别连接到柱状电极组(5)的每个电极上，分别对各个电极实施独立控制。由于正离子(X)在电场中运动方向会偏向电势低的方向，改变不同电极上的电压，正离子(X)的运动方向会随之发生改变。本发明的柱状电极组(5)分为上下两排电极，每排各电极等距离分布，绝缘腔体(6)左右两边各有一个电极。当宽带离子束从绝缘腔体￠)中通过时，由于受到各个电极产生的电场的影响，其运动方向会发生偏转，分别调节各个电极所加的电压，改变绝缘腔体
(6)中空间各个位置电场的场强，从而使各个位置的离子束运动方向发生不同的改变，最终达到离子束空间运动方向上的一致性和束流大小分布的均匀性。如图2所示为电极组电极间的电势差对正离子运动方向影响示意图，由于受到正电极斥力和负电极吸引力的共同作用，正离子(7)的运动偏转方向如图中箭头所示。以上所述已对本发 明的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本发明精神的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都构成对本发明与利的侵犯，将承担相应的法律责任。
权利要求
1.本发明提供一种多电极束流聚焦调节装置与方法，包括:主控计算机(I)、光纤通信卡(2)、I/O信号控制器(3)、程控多路输出直流电源(4)、柱状电极组(5)、绝缘腔体(6)。
2.权利I中所述的光纤通信卡(2)插在主控计算机⑴的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤传输信号。
3.权利I中所述的程控多路输出直流电源(4)的电压输出端分别连接到柱状电极组(5)的每个电极上，可以对这些电极实施独立控制。
4.权利I中所述的柱状电极组(5)安装固定在绝缘腔体(6)上。
5.权利I中所述的程控I/O信号控制器(3)和多路输出直流电源⑷之间使用电缆连接，传输信号。
全文摘要
本发明公开了一种多电极束流聚焦调节装置与方法，包括主控计算机(1)、光纤通信卡(2)、I/O信号控制器(3)、程控多路输出直流电源(4)、柱状电极组(5)、绝缘腔体(6)。其特征在于光纤通信卡(2)插在主控计算机(1)的PCI插槽上，光纤通信卡(2)和I/O信号控制器(3)之间通过光纤传输信号。I/O信号控制器(3)连接到程控多路输出直流电源(4)，负责给程控多路输出直流电源(4)发送电压输出命令和采集反馈电压。
文档编号H01J37/317GK103094032SQ20111034702
公开日2013年5月8日 申请日期2011年11月7日 优先权日2011年11月7日
发明者谢均宇, 张继恒, 孙勇 申请人:北京中科信电子装备有限公司