狭缝阀门辅助拆卸装置制造方法
【专利摘要】狭缝阀门辅助拆卸装置适于辅助拆卸狭缝阀门，狭缝阀门包括阀门主体以及阀门连接部，阀门主体连接于阀门连接部的下方。狭缝阀门辅助拆卸装置包括控制器和吊架，控制器连接于吊架，控制吊架沿吊装方向上下移动。吊架具有第一吊装端和第二吊装端，第一吊装端和第二吊装端可拆卸的固定连接于狭缝阀门的阀门主体。狭缝阀门辅助拆卸装置还包括多个承载螺栓，多个承载螺栓的长度延伸方向平行于吊架的吊装方向。多个承载螺栓可拆卸的穿设阀门主体并连接于吊架沿吊装方向向下移动后具有预定间隔距离的阀门连接部和阀门主体之间。此狭缝阀门辅助拆卸装置能够优化检修流程提高检修效率，避免损坏管路设备，减少安全隐患。
【专利说明】狭缝阀门辅助拆卸装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及狭缝阀门【技术领域】，特别涉及一种狭缝阀门辅助拆卸装置。
【背景技术】
[0002]在半导体、平板显示器、光伏/太阳能板以及其它基板处理系统中，通常将真空腔室(例如传送腔室和处理腔室)排置为群集式组合，用以传送和处理基板。图1是基板处理系统的群集式真空腔室的局部结构示意图。如图1所示，其仅绘示了群集式真空腔室的一个传送腔室203和一个处理腔室204连接处的局部结构示意图。为了确保基板处理系统的真空状态，在传送腔室203和处理腔室204之间设置有狭缝阀门(slit valve) 202ο狭缝阀门202包括阀门主体202a和阀门连接部202b。阀门主体202a通过多个螺栓205固定连接在阀门连接部202b的下方，而阀门连接部202b则固定连接在传送腔室203和处理腔室204之间。在处理腔室204工作过程中，狭缝阀门202位于传送腔室203和处理腔室204之间，作为隔绝处理腔室204和传送腔室203的门阀，与传送腔室203和处理腔室204紧密密合，保证处理腔室204的真空环境。然而，狭缝阀门202在使用过程中会出现一些需要拆卸检修的问题，例如当狭缝阀门202内部的气阀导管(图未示)发生内漏，或玻璃基板破片碎肩掉落在狭缝阀门202内部时，则需要通过狭缝阀门拆卸吊具拆卸狭缝阀门202以进行修理作业。
[0003]图2是现有狭缝阀门拆卸吊具拆卸狭缝阀门的结构示意图。如图2所示，狭缝阀门拆卸吊具200包括控制器210和吊架220，吊架220包括承载横梁222、第一吊臂224、第二吊臂226和吊装螺栓228。控制器210连接于承载横梁222，第一吊臂224和第二吊臂226顺着吊装方向A平行设置并连接于承载横梁222的两端，吊装螺栓228设置于第一吊臂224和第二吊臂226远离承载横梁222的一端。需要拆卸狭缝阀门202进行检修时，先将狭缝阀门拆卸吊具200设置在阀门连接部202b上方，并将第一吊臂224和第二吊臂226通过吊装螺栓228分别固定连接在狭缝阀门202的阀门主体202a的两端，此时由于狭缝阀门拆卸吊具200的吊载作用，即可拆卸掉阀门连接部202b与阀门主体202a之间的螺栓205。之后，控制器210控制吊架沿吊装方向A向下移动，从而实现阀门主体202a和阀门连接部202b的分离，然后人工搬运至空地进行检修。
[0004]但是，由于狭缝阀门拆卸吊具200只单纯的通过吊装螺栓228固定连接狭缝阀门202的阀门主体202a，而普通的狭缝阀门202的阀门主体202a均具有一定重量(例如为200 kg)，所以很容易造成狭缝阀门202的阀门主体202a由于自身重量而从第一吊臂224与第二吊臂226之间脱落下来，不仅容易使真空腔室外部的管路或者设备被砸坏而造成损失，而且对拆卸操作的工作人员来说也存在较大的安全隐患。此外，基板处理系统的真空腔室由于采用群集式组合排置，各真空腔室之间的间隔空间较小，拆卸下狭缝阀门202的阀门主体202a之后还需要进行搬运，空间受到一定限制，不仅导致检修不便，检修效率低下，而且同样容易损坏真空腔室外部的管路或者设备，具有安全隐患。实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于，提供了一种狭缝阀门辅助拆卸装置，能够优化检修流程，提高检修效率，避免损坏管路设备，减少安全隐患。
[0006]本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。
[0007]一种狭缝阀门辅助拆卸装置，适于辅助拆卸狭缝阀门，狭缝阀门包括阀门主体以及阀门连接部，阀门主体连接于阀门连接部的下方。狭缝阀门辅助拆卸装置包括控制器和吊架，控制器连接于吊架，控制吊架沿吊装方向上下移动。吊架具有第一吊装端和第二吊装端，第一吊装端和第二吊装端可拆卸的固定连接于狭缝阀门的阀门主体。狭缝阀门辅助拆卸装置还包括多个承载螺栓，多个承载螺栓的长度延伸方向平行于吊架的吊装方向。多个承载螺栓可拆卸的穿设阀门主体并连接于吊架沿吊装方向向下移动后具有预定间隔距离的阀门连接部和阀门主体之间。
[0008]在本实用新型的较佳实施例中，上述吊架包括承载横梁、第一吊臂和第二吊臂。承载横梁垂直于吊装方向并与控制器连接，承载横梁的两端分别连接第一吊臂和第二吊臂。第一吊装端设于第一吊臂远离承载横梁的一端，第二吊装端设于第二吊臂远离承载横梁的一端。
[0009]在本实用新型的较佳实施例中，上述第一吊臂和第二吊臂相互平行且垂直地连接于承载横梁。
[0010]在本实用新型的较佳实施例中，上述第一吊装端和第二吊装端分别设有吊装固定元件。第一吊装端的吊装固定元件连接于第一吊臂与阀门主体之间，第二吊装端的吊装固定元件连接于第二吊臂与阀门主体之间。
[0011]在本实用新型的较佳实施例中，上述各承载螺栓包括螺杆和螺母，螺杆穿设阀门主体，并包括固定端和连接端。连接端螺接于阀门连接部，固定端位于阀门主体远离阀门连接部的一侧，并通过螺母固定。
[0012]在本实用新型的较佳实施例中，上述阀门连接部设置有多个第一安装孔，阀门主体设置有多个第二安装孔，多个第一安装孔与多个第二安装孔一一对应，多个承载螺栓与多个第二安装孔一一对应，各承载螺栓的螺杆穿设对应的第二安装孔，螺杆的该连接端螺接于第一安装孔，螺杆的固定端位于第二安装孔外并配合连接螺母固定。
[0013]在本实用新型的较佳实施例中，上述多个第一安装孔分布在阀门连接部的边缘部，多个第二安装孔也对应分布在阀门主体的边缘部。
[0014]在本实用新型的较佳实施例中，上述多个第一安装孔分布在阀门连接部的四角落部，多个第二安装孔也对应分布在阀门主体的四角落部。
[0015]本实用新型的狭缝阀门辅助拆卸装置，控制器连接于吊架，并控制吊架沿吊装方向上下移动，吊架的第一吊装端和第二吊装端可拆卸的固定连接于阀门主体，多个承载螺栓穿过阀门主体并连接于吊架沿吊装方向向下移动后具有预定间隔距离的阀门连接部和阀门主体之间。因此，阀门主体可在阀门连接部下方悬挂检修，避免了将阀门主体拆卸下来后的搬运过程，优化了检修流程，提升了检修效率。而且，阀门主体的自重由承载螺栓与第一吊装端和第二吊装端共同分担，确保了因阀门主体无坠落的风险，避免了因阀门主体掉落而损坏管路设备，可能减少安全隐患。
[0016]上述说明仅是本实用新型技术方案的概述，为了能够更清楚了解本实用新型的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本实用新型的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明。
【专利附图】
【附图说明】
[0017]图1是基板处理系统的群集式真空腔室的局部结构示意图。
[0018]图2是现有狭缝阀门拆卸吊具拆卸狭缝阀门的结构示意图。
[0019]图3是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置的结构示意图。
[0020]图4是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置辅助拆卸狭缝阀门刚连接至狭缝阀门的结构示意图。
[0021]图5是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置安装承载螺栓的结构示意图。
[0022]图6是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置辅助拆卸狭缝阀门吊架向下移动后的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为更进一步阐述本实用新型为达成预定实用新型目的所采取的技术手段及功效，以下结合附图及较佳实施例，对依据本实用新型提出的狭缝阀门辅助拆卸装置的【具体实施方式】、结构、特征及其功效，详细说明如下。
[0024]有关本实用新型的前述及其它技术内容、特点及功效，在以下配合参考图式的较佳实施例的详细说明中将可清楚呈现。通过【具体实施方式】的说明，当可对本实用新型为达成预定目的所采取的技术手段及功效得以更加深入且具体的了解，然而所附图式仅是提供参考与说明之用，并非用来对本实用新型加以限制。
[0025]图3是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置的结构示意图。如图3所示，在本实施例中，狭缝阀门辅助拆卸装置100包括控制器110、吊架120和多个承载螺栓130。
[0026]具体地，控制器110连接于吊架120，通过控制器110控制吊架120沿吊装方向A上下移动。
[0027]吊架120包括承载横梁122、第一吊臂124和第二吊臂126。承载横梁122垂直于吊装方向A设置，承载横梁122的中部与控制器110连接。第一吊臂124和第二吊臂126相互平行设置，且垂直地连接于承载横梁122的两端，使第一吊臂124、承载横梁122和第二吊臂126组成倒置的U型结构。第一吊臂124远离承载横梁122的一端设有第一吊装端1242，第二吊臂126远离承载横梁122的一端设有第二吊装端1262，且第一吊装端1242和第二吊装端1262分别设有吊装固定元件128。在本实施例中，吊装固定元件128例如为螺栓，并沿着垂直于吊架120的吊装方向A设置。
[0028]多个承载螺栓130可拆卸的设置于第一吊臂124和第二吊臂126之间，且各承载螺栓130的长度延伸方向平行于吊架120的吊装方向A。承载螺栓130包括螺杆132和螺母134以及设置在螺母134上的垫片(图未示)。螺杆132包括固定端1322和连接端1324，螺杆132的固定端1322和连接端1324均设有螺纹(图未示)，且螺母134用于与固定端1322的螺纹配合连接。在本实施例中，承载螺栓130例如为16号双头螺栓。
[0029]本实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置100，适于辅助拆卸连接于阀门连接部202b下方的阀门主体202a(请参阅图1)。阀门连接部202b固定连接于传送腔室203与处理腔室204之间，阀门主体202a通过多个螺栓205连接在阀门连接部202b的下面并设置于传送腔室203与处理腔室204之间，狭缝阀门202用于连通或者断开传送腔室203与处理腔室204两个腔室。以下将结合狭缝阀门辅助拆卸装置100的使用对狭缝阀门辅助拆卸装置100的结构做进一步说明。
[0030]图4是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置辅助拆卸狭缝阀门刚连接至狭缝阀门的结构示意图。图5是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置安装承载螺栓的结构示意图。如图4和图5所示，狭缝阀门辅助拆卸装置100辅助拆卸狭缝阀门202的阀门主体202a时，吊架120的第一吊装端1242的吊装固定元件128连接于第一吊臂124与阀门主体202a之间，第二吊装端1262的吊装固定元件128连接于第二吊臂126与阀门主体202a之间。此时，阀门连接部202b和阀门主体202a之间还通过螺栓205连接。阀门连接部202b设置有多个第一安装孔2011，阀门主体202a设置有多个第二安装孔2021，且多个第一安装孔2011与多个第二安装孔2021 —一对应。多个第一安装孔2011位于阀门连接部202b的边缘部，多个第二安装孔2021也对应的位于阀门主体202a的边缘部，以不阻挡狭缝阀门202的检修为宜。优选地，本实施例中，多个第一安装孔2011位于阀门连接部202b的四角落部，多个第二安装孔2021也对应的阀门主体202a的四角部落。值得一提的是，第一安装孔2011和第二安装孔2021可以为原用于连接阀门连接部202b和阀门主体202a的螺栓205的安装孔，也可根据需要自由设置，此处并不限定。本实施例中，第一安装孔2011和第二安装孔2021是位于四角落部的原用于连接阀门连接部202b和阀门主体202a的螺栓205的安装孔。
[0031]接着，将狭缝阀门辅助拆卸装置100的承载螺栓130的螺杆132穿过第二安装孔2021，使螺杆132的连接端1324螺接于第一安装孔2011。本实施例中，是将位于阀门连接部202b的四角落部中的螺栓205拆除，并将狭缝阀门辅助拆卸装置100的承载螺栓130的螺杆132穿过第二安装孔2021，使螺杆132的连接端1324螺接于第一安装孔2011。之后，将其它的位于多个第一安装孔2011和多个第二安装孔2021中的螺栓205全部拆除。此时，由于狭缝阀门辅助拆卸装置100的第一吊臂124与阀门主体202a之间通过吊装固定元件128固定连接，第二吊臂126与阀门主体202a之间也通过吊装固定元件128固定连接，以及阀门连接部202b和阀门主体202a之间通过螺栓130连接，狭缝阀门辅助拆卸装置100对阀门主体202a具有较好的吊载支撑作用。
[0032]图6是本实用新型一实施例的狭缝阀门辅助拆卸装置辅助拆卸狭缝阀门吊架沿吊装方向向下移动后的结构示意图。如图6所示，控制器210控制吊架沿吊装方向A向下移动，由于连接传送腔室203和处理腔室204的阀门连接部202b是固定不动的，在控制器210控制吊架沿吊装方向A向下移动的过程中，阀门主体202a也沿吊装方向A向下移动并沿螺杆132滑动远离阀门连接部202b，从而使得阀门连接部202b与阀门主体202a分离并具有预定间隔距离，预定间隔距离的设定根据检修需要自由设定，此处并不限定。此时，螺杆132的连接端1324仍螺接于第一安装孔2011，螺杆132的固定端1322则位于第二安装孔2021外并配合连接螺母134，使阀门主体202a抵靠于垫片和螺母134。如此一来，在吊架120沿吊装方向A向下移动后，多个承载螺栓130穿设阀门主体202a的第二安装孔2021，仍连接于具有预定间隔距离的阀门连接部202b和阀门主体202a之间。狭缝阀门辅助拆卸装置100的第一吊臂124与阀门主体202a之间通过吊装固定元件128固定连接，第二吊臂126与阀门主体202a之间也通过吊装固定元件128固定连接，以及具有预定间隔距离的阀门连接部202b和阀门主体202a之间通过螺栓130连接，不仅对阀门主体202a具有较好的吊载支撑作用，而且在阀门主体202a上方具有较大的空间，因此，阀门主体202a可进行悬挂检修，不需要将阀门主体202a进一步拆卸搬运，优化了检修流程，提升了检修效率。而且，阀门主体202a的自身重量由承载螺栓130与吊装元件128共同分担，确保了阀门主体202a无坠落的风险，减少了安全隐患。同时，也避免了因阀门主体202a掉落而损坏管路设备的可能。
[0033]以上结合附图详细描了本实用新型的优选实施方式，但是本实用新型并不限于上述实施方式中的具体细节，在本实用新型的技术构思范围内，可以对本实用新型的技术方案进行多种简单变型，这些简单变型均属于本实用新型的保护范围。在上述【具体实施方式】中所描述的各个具体技术特征，在不矛盾的情况下，可以通过任何合适的方式进行组合。为了避免不必要的重复，本实用新型对各种可能的组合方式不再另行说明。
【权利要求】
1.一种狭缝阀门辅助拆卸装置，适于辅助拆卸狭缝阀门，该狭缝阀门包括阀门主体以及阀门连接部，该阀门主体连接于该阀门连接部的下方，该狭缝阀门辅助拆卸装置包括控制器和吊架，该控制器连接于该吊架，控制该吊架沿吊装方向上下移动，该吊架具有第一吊装端和第二吊装端，该第一吊装端和该第二吊装端可拆卸的固定连接于该狭缝阀门的该阀门主体，其特征在于，该狭缝阀门辅助拆卸装置还包括多个承载螺栓，该多个承载螺栓的长度延伸方向平行于该吊架的该吊装方向，该多个承载螺栓可拆卸的穿设该阀门主体并连接于该吊架沿该吊装方向向下移动后具有预定间隔距离的该阀门连接部和该阀门主体之间。
2.如权利要求1所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该吊架包括承载横梁、第一吊臂和第二吊臂，该承载横梁垂直于该吊装方向并与该控制器连接，该承载横梁的两端分别连接该第一吊臂和该第二吊臂，该第一吊装端设于该第一吊臂远离该承载横梁的一端，该第二吊装端设于该第二吊臂远离该承载横梁的一端。
3.如权利要求2所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该第一吊臂和该第二吊臂相互平行且垂直地连接于该承载横梁。
4.如权利要求3所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该第一吊装端和该第二吊装端分别设有吊装固定元件，该第一吊装端的该吊装固定元件连接于该第一吊臂与该阀门主体之间，该第二吊装端的该吊装固定元件连接于该第二吊臂与该阀门主体之间。
5.如权利要求1所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，各该承载螺栓包括螺杆和螺母，该螺杆穿设该阀门主体，并包括固定端和连接端，该连接端螺接于该阀门连接部，该固定端位于该阀门主体远离该阀门连接部的一侧，并通过该螺母固定。
6.如权利要求5所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该阀门连接部设置有多个第一安装孔，该阀门主体设置有多个第二安装孔，该多个第一安装孔与该多个第二安装孔一一对应，该多个承载螺栓与该多个第二安装孔一一对应，各该承载螺栓的该螺杆穿设对应的该第二安装孔，该螺杆的该连接端连接于该第一安装孔，该螺杆的该固定端位于该第二安装孔外并配合连接该螺母固定。
7.如权利要求6所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该多个第一安装孔分布在该阀门连接部的边缘部，该多个第二安装孔也对应分布在该阀门主体的边缘部。
8.如权利要求6所述的狭缝阀门辅助拆卸装置，其特征在于，该多个第一安装孔分布在该阀门连接部的四角落部，该多个第二安装孔也对应分布在该阀门主体的四角落部。
【文档编号】B23P19/00GK204248344SQ201420707065
【公开日】2015年4月8日 申请日期:2014年11月21日 优先权日:2014年11月21日
【发明者】朱维情, 谢驹龙 申请人:昆山龙腾光电有限公司