一种IC设备薄壁环状零件的加工工艺的制作方法

本发明属于机械制造业技术领域。具体是是一种ic设备薄壁环状零件的加工工艺。

背景技术：

随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于ic装备的需求量也日益增加。该零部件在cmp设备中起到稳定气膜压力的作用，现有薄壁环状零件的加工很难保证精度。

技术实现要素：

本发明的目的提供一种ic设备薄壁环状零件的加工工艺。

为了实现上述目的，本发明采用的技术方案是：

一种ic设备薄壁环状零件的加工工艺，环状零件材料为316钢，其钢环的上下面的平面度0.2；零件中粗糙度要求为0.4；内圈尺寸要求为±0.5，环的高度为0.12；包括如下加工步骤：

第一步、装夹夹持深度保证在20mm左右，保证装夹强度，伸出88mm；找正外圈跳动为0.1，车床粗加工零件的内径，外圆；内径及外径各留2mm余量；一颗料可加工5颗零件的长度，粗加工端面；

第二步、加热至350-400℃，保温2-2.5h；随炉冷却至120℃，后采用空冷方式；

第三步、精加工端面，外圆及内孔，然后以外端面为z轴0点位进行定位，补正加工内孔到位；采用切断刀对工件进行切断保证零件厚度尺寸及粗糙度；

第四步：采用热熔胶进行固定，保证底面0.05塞尺不入且内圈跳动＜0.05，后粗加工外圆r角留0.5mm余量，精加工外圆r角到位。

本发明的有益效果是：

1.粗加工时留有余量为精加工留有合理余量。

2.粗加工后安排有合理热处理工序，保证精加工后，及转运过程中变形。

3.卧车精加工时将外圆及内孔加工到位。

4.立车采用热熔胶将零件进行固定，精加工r角。

5.加工过程中保证粗糙度要求，避免抛光对零件尺寸造成影响。

附图说明

图1为薄壁零件粗加工装夹示意图。

图2为热处理过程时间与温度的示意图。

图3为薄壁零件卧车床精加工装夹示意图。

图4为薄壁零件立车床精加工装夹示意图。

具体实施方式

结合附图1-4标记对本发明进行详细说明。

本发明的一种ic设备薄壁环状零件的加工工艺，薄壁环状零件结构对薄板焊接，尺寸精度等有严格的要求，是非常典型的一种焊接类异形件。

第一步：装夹，装夹夹持深度保证在20mm左右，保证装夹强度，伸出88mm,保证后续加工工艺性。并找正外圈跳动为0.1。车床粗加工零件的内径，外圆。内径及外径各留2mm余量。一颗料可加工5颗零件的长度，粗加工端面。

第二步：热处理工艺，热至350-400℃，保温2-2.5h；随炉冷却至120℃，后采用空冷方式。

第三步：精加工端面，外圆及内孔。后以外端面为z0进行定位。补正加工内孔到位。采用切断刀对工件进行切断保证零件厚度尺寸为图示6要求尺寸。

第四步：装夹找正，采用热熔胶进行固定。保证底面0.05塞尺不入且内圈跳动＜0.05。后粗加工外圆r角留0.5余量，精加工外圆r角到位。

本工艺方法也是针对薄壁类的件如何控制变形，对加工过程进行阐述，目的是让此类零件加工能够少走弯路，更快达到加工要求的一种工艺思路。

技术特征：

1.一种ic设备薄壁环状零件的加工工艺，环状零件材料为316钢，其钢环的上下面的平面度0.2；零件中粗糙度要求为0.4；内圈尺寸要求为±0.5，环的高度为0.12；其特征在于，包括如下加工步骤：

第一步、装夹夹持深度保证在20mm左右，保证装夹强度，伸出88mm；找正外圈跳动为0.1，车床粗加工零件的内径，外圆；内径及外径各留2mm余量；一颗料可加工5颗零件的长度，粗加工端面；

第二步、加热至350-400℃，保温2-2.5h；随炉冷却至120℃，后采用空冷方式；

第三步、精加工端面，外圆及内孔，然后以外端面为z轴0点位进行定位，补正加工内孔到位；采用切断刀对工件进行切断保证零件厚度尺寸及粗糙度；

第四步：采用热熔胶进行固定，保证底面0.05塞尺不入且内圈跳动＜0.05，后粗加工外圆r角留0.5mm余量，精加工外圆r角到位。

技术总结
本发明工艺为一种IC设备薄壁环状零件的加工工艺。第一步：车床粗加工零件的内径，外圆。内径及外径各留2mm余量。一颗料可加工5颗零件的长度，粗加工端面。第二步：热处理。第三步：精加工端面，外圆及内孔。采用切断刀对工件进行切断。第四步：采用热熔胶进行固定。精加工外圆R角到位。本发明粗加工时留有余量为精加工留有合理余量。加工过程中保证粗糙度要求，避免抛光对零件尺寸造成影响。立车采用热熔胶将零件进行固定，精加工R角。

技术研发人员：郭月娥
受保护的技术使用者：沈阳富创精密设备股份有限公司
技术研发日：2020.10.27
技术公布日：2021.03.30