专利名称：一种新型的材料镀膜方法及装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及气相沉积的方法和装置，尤其涉及有机材料气相沉积的方法和实现这种方法的热源装置。
背景技术：
气相沉积技术是在真空墙体内利用物理或化学的方法在基质材料表面沉积一层几个微米或更薄的镀层材料。
化学气相沉积是半导体技术中一种常用的薄膜生长技术，这种技术使用化学的方法来沉积薄膜。
有机发光显示，又称为有机发光二极管(Organic Light EmittingDiode，OLED)，具有主动发光、高亮度、高对比度、超薄、低成本、低功耗、无视角限制以及工作温度范围宽等诸多优点，被认为是是一种面向未来的极具潜力的平板显示技术。随着技术的不断成熟和完善，OLED已开始发展至产业阶段并已经有许多产品面世。然而随着市场竞争的加剧，降低成本将是众商家获得利益和击败竞争对手的重要手段。
OLED器件由基板、阳极、有机材料层(空穴注入层、空穴传输层、发光层、电子传输层、电子注入层)、阴极构成，有机材料在处于薄膜状态才能表现出有机半导体的特性，所以在有机电致发光器件制作的过程中，必须将有机材料镀膜沉积在基板上，为了达到上述目的，目前在OLED制造工艺中普遍采用电阻热源直接加热有机材料的方法。这种方法是从底部加热有机材料，所以底部材料的温度往往高于顶部材料形成纵向上温度的不均匀。如果材料放置太多，首先熔化但是受阻于顶部材料不能蒸起并形成底部中空，从而使有机材料不能接触热源而停止蒸发。如果材料放置过少，就需要增加添料的次数，从而增加了产品的制备时间，降低了产率，间接地增加了产品的成本。如果装料不均匀还会发生崩溅现象，材料的利用率低。也有一种改良技术，在加热舟中放置金属球，以达到传热均匀的目的。
本发明提出了一种新型的蒸镀热源的加热方法和装置，它属于非接触辐射加热方式，其中的热源由卤素灯替代，并利用凹面镜把光聚焦在待蒸的材料上，我们把这种加热的热源命名为辐射蒸发热源。材料放在透明的条形玻璃或石英容器内。待蒸的材料表面首先得到加热，到达气化温度气化，下层的材料曝露出来，在光照下开始蒸发。应用这种方法可以节省材料，由于从材料的顶部进行加热，所以可以多装料从而可以缩短生产时间，同时还可以避免电阻加热方式中电阻丝挥发物带来的污染。同时本发明提出的气相沉积装置可以制作出条形的加热源和等长的容器，这样可以制造出适合于平板显示为升级大基板需要的长加热源。
发明内容
本发明的目的在于提供一种新型的有机蒸镀热源的加热方法和装置，该方法可以节省镀膜材料和生产时间，从而降低制作成本，而且可以制作长条形的加热源。
为实现上述目的，本发明提出的蒸镀热源的具体结构为将一支卤素灯管置于一面凹面镜的一个焦点上，把光聚焦并投射在放在另一个焦点上的玻璃或石英条形容器中有机镀膜材料上。也可以将两只一支卤素灯和聚焦机构分别置于玻璃或石英条形容器，使其光线聚焦在玻璃或石英条形容器中有机镀膜材料上。在卤素灯和聚焦机构上设置传感器用来测量和监控有机材料的用量，以便于通过传感器相连的计算机来控制联动装置来调整卤素灯和聚焦机构焦点，也可以采用调节玻璃或石英条形容器的高度，也可以在容器内设置调节材料高度的装置，提高加热速度和监视材料的消耗。
有机材料盛在一支水平放置透明容器(玻璃或石英管)中，在玻璃或石英管的顶部沿水平方向上开一个狭长槽，用于限制蒸发束流方向，并在长槽的上方设置导流板，以限制有机材料的流向。该透明容器(玻璃或石英管)的横截面可以是方形或2个侧面是平行的，这样可以使容器内的材料在纵向分布均匀，使材料蒸发速率均匀。
本发明中所采用的热源可以是卤素灯也可以是其它光辐射源。
本发明中的加热源可以是线状光源也可以是点光源。
本发明中盛有机材料的容器可以是石英玻璃、无碱玻璃也可以是其它透明耐热材料。
本发明中的热源可以在真空室内也可以在真空室外，通过透明的窗子照射到真空室内的透明容器的有机材料上。
图1是采用新型辐射热源的真空装置简图1.真空钟罩；2.抽真空系统；3.凹面镜；4.辐射光源；5.带导流板的透明容器；6.基板；7.蒸发样品；8.蒸发束流图2是采用外置新型辐射热源的真空装置简图9.外置的凹面镜；10.外置的辐射光源；11.开有透明窗口的真空钟罩。
具体实施例方式
结合附图描述如下实施例1在真空钟罩1内，在抽真空系统2的作用下，使整个真空钟罩1内处于高真空状态，辐射光源4在凹面镜3的聚焦作用下，辐射热源透过透明容器5照射在透明容器内的有机材料上，加热有机材料，有机材料表面受热，达到气化温度，使有机分子从有机材料表面脱离到真空中，从狭缝中穿过，沿着导流板上升到基板上冷凝并附着，形成有机材料薄膜。
实施例2在开有透明窗口的真空钟罩11内，在抽真空系统2的作用下，使整个真空钟罩11内处于高真空状态，辐射光源10在凹面镜9的聚焦作用下，辐射热源透过透明窗口和透明容器5照射在透明容器内的有机材料上，加热有机材料，有机材料表面受热，达到气化温度，使有机分子从有机材料表面脱离到真空中，从狭缝中穿过，沿着导流板上升到基板上冷凝并附着，形成有机材料薄膜。
权利要求
1.一种新型的有机材料气相沉积的加热方法，其特征在于，用辐射非接触式加热代替电阻接触式加热方式；把辐射源置于一面凹面镜的一个焦点上，把光聚焦并投射在放在另一个焦点上的有机材料上，有机材料盛在可透过辐射波长的容器中，在容器上方设有一开口用于有机材料蒸出并通过导流板限制蒸发束流的角度。
2.一种新型的有机材料气相沉积的装置，由真空钟罩、抽真空系统、凹面镜、辐射光源、带导流板的透明容器、固定基板装置构成，由辐射光源作为加热源，通过辐射光源加热使透明容器中有机材料气化脱离材料表面，达到气相沉积的目的。
3.如权利要求2所述的装置，其特征在于，作为热源的辐射光源可以设置在真空室内也可以设置在真空室外。
4.如权利要求2所述的带导流板的透明容器，其特征在于，可以是点状容器，也可以是线性的容器。
5.如权利要求2所述的辐射光源，其特征在于，与权利要求4所述的透明容器的形状匹配的形状，可以点光源或线状光源；辐射光源可以是红外辐射源，也可以是其它波段的辐射源，如微波。
6.如权利要求2所述的凹面镜，其特征在于，凹面镜的涂层材料因辐射源的不同而不同，其形状与辐射光源相匹配，可以为点光源的凹面镜，也可以线状光源的线性凹面镜。
全文摘要
本发明涉及气相沉积的方法和装置，尤其涉及有机材料气相沉积的方法和实现这种方法的热源装置，其中用辐射非接触式加热方式替代电阻接触式加热方式；把辐射热源置于一面凹面镜的一个焦点上，把光聚焦并投射在放在另一个焦点上的有机样品上。有机材料盛在可透过辐射波长的容器中，在容器上方开有一开口可使有机材料蒸出并限制蒸发束流角度，这样可以提高材料利用率和生产效率。
文档编号C23C14/28GK1854331SQ20051002536
公开日2006年11月1日 申请日期2005年4月25日 优先权日2005年4月25日
发明者孙润光 申请人:孙润光