专利名称：钢板制造装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及钢板制造装置，详细地说，涉及可对冷轧钢板及热浸镀钢板进 行切换制造的冷轧钢板及热浸镀钢板的兼用制造装置。
背景技术：
近年来，建有许多大型的高级钢板用的热浸镀钢板制造装置，随之，提出
了利用该装置制造冷轧钢板来代替废弃或闲置旧式装置的方案。
例如，专利文献l一5揭示了如下一种方案，设有如图6所示的线路切换 炉壳单元104,该线路切换炉壳单元104是使将从退火炉101出来的钢板102 送到热浸镀槽103来制造热浸镀钢板102a的热浸镀线路Rl与将从退火炉101 出来的钢板102不通过热浸镀槽103来制造冷轧钢板102b的冷轧线路R2交叉， 在该交叉部进行线路切换。线路切换炉壳单元104如图7所示，将垂直炉壳104a 和水平炉壳104b结合成一体，利用滑动台车设成可沿水平方向往复移动。在 切换成热浸镀线路R1的场合，如图6(a)所示，将垂直炉壳104a与热浸镀线路 Rl连接，在切换成冷轧线路R2的场合，如图6(b)所示，将水平炉壳104b与 冷轧线路R2连接。此外，如图8所示，在线路切换炉壳单元104和热浸镀槽 103之间的热浸镀线路R1上，设有将合金化炉105a、锌花不显装置105b及急 冷装置105c结合成一体的、可沿水平方向移动的热浸镀钢板用炉壳单元105， 根据制造的钢板种类可进行切换。
专利文献l:日本特开2003 — 27199号公报
专利文献2:日本特开2003 — 251410号公报
专利文献3:日本特开2003 — 253412号公报
专利文献4:日本特开2004 — 27340号公报
专利文献5:日本特开2004—176109号公报
但是，在由所述专利文献提出的钢板制造装置中，如图6所示，线路切换 炉壳单元104是与热浸镀钢板用炉壳单元105分开设置的，故需要线路切换炉壳单元104专用的支承构架和轨道、驱动装置、定位装置、位置检测器等装置， 还存在着构架复杂的问题。
在制造合金化镀层钢板的装置中，在从热浸镀槽立起的热浸镀线路上设有 将热浸镀后的合金的镀层合金化的合金化炉、和以一定时间将合金保持某一温 度的保持区。在该装置中，在制造冷轧钢板的场合，不需要合金化炉，也不需 要保持区，但在制造冷轧钢板时，必须实施将退火炉出来的钢板逐渐冷却或进 行冷却的措施，因此，有冷轧线路复杂和成本高的问题。
发明内容
因此，本发明的目的是提供一种用简单的结构可对热浸镀线路和冷轧线路 进行切换的冷轧钢板及热浸镀钢板的兼用制造装置。
另一目的是提供一种通过将热浸镀线路的保持区兼用为冷轧线路的慢冷 或冷却区而使冷轧线路的结构简单的冷轧钢板及热浸镀钢板的兼用制造装置。
为实现上述目的，第1发明是一种钢板制造装置，可对热浸镀线路和冷轧 线路进行切换，所述热浸镀线路是将从退火炉送出的钢板导入热浸镀槽来制造 热浸镀钢板，所述冷轧线路是将从退火炉送出的钢板不导入热浸镀槽而在旁路 中制造冷轧钢板，其特征在于，
在从热浸镀槽立起的热浸镀线路上，设置有可沿水平方向移动的炉壳单 元，该炉壳单元是将沿垂直方向延伸的至少由合金化炉构成的热浸镀线路用炉 壳和沿垂直方向延伸的冷轧线路用炉壳并设而形成的，
在热浸镀线路上，使所述炉壳单元向一方向移动，使所述热浸镀线路用炉 壳与所述热浸镀线路一致，
当切换成冷轧线路时，使所述炉壳单元向另一方向移动，在所述冷轧线路 用炉壳的下端连接将所述热浸镀槽旁通的冷轧线路，在上端连接后续的冷轧线 路。
第2发明是，在所述炉壳单元的冷轧线路用炉壳上具有对从退火炉送出的 钢板进行冷却的冷却装置。
第3发明是一种钢板制造装置，可对热浸镀线路和冷轧线路进行切换，所 述热浸镀线路是将从退火炉送出的钢板导入热浸镀槽来制造热浸镀钢板，所述 冷轧线路是将从退火炉送出的钢板不导入热浸镀槽而在旁路中制造冷轧钢板， 在从所述热浸镀槽立起的热浸镀线路上设置合金化炉和保持区，其特征在于，
在热浸镀线路上使用所述合金化炉和保持区，
当切换成冷轧线路时，将所述热浸镀槽旁通的冷轧线路连接在所述保持区 的上游，将后续的冷轧线路连接在所述保持区的下游，将所述保持区兼用为所述冷轧线路的慢冷区或冷却区。
第4发明是，可沿水平方向移动地设置有炉壳单元，所述炉壳单元是将由
所述合金化炉构成的热浸镀线路用炉壳和冷轧线路用炉壳并设而形成的，
在热浸镀线路上，使所述炉壳单元向一方向移动，并使由所述合金化炉构 成的热浸镀线路用炉壳与所述热浸镀线路一致，使用所述合金化炉和保持区， 当切换成冷轧线路时，使所述炉壳单元向另一方向移动，将所述热浸镀槽 旁通的冷轧线路连接在所述冷轧线路用炉壳的下端，将所述保持区连接在上 端，并将所述保持区兼用为所述冷轧线路的慢冷区或冷却区。
采用第1发明，冷轧线路用炉壳由于与至少由合金化炉构成的热浸镀线路 用炉壳结合成一体，故通过与热浸镀线路上的合金化炉的选择相同的移动装置 可向冷轧线路切换，结构是简单的。另外，移动装置的构架也可使用已有的热 浸镀生产线，可价廉地提供冷轧钢板及热浸镀钢板的兼用制造装置。
釆用第2发明，不必在冷轧线路的其它部位另外设置冷却装置，进一步使 结构变得简单。 _
采用第3发明，由于热浸镀线路的保持区兼用为冷轧线路的慢冷区或冷却 区，故结构是简单的，在冷轧线路的其它部位不必另外设置慢冷区或冷却区， 可价廉地提供冷轧钢板及热浸镀钢板的兼用制造装置。
采用第4发明，利用与热浸镀线路上的合金化炉、锌花不显装置及急冷装 置的选择相同的移动装置，可向冷轧线路切换，结构是简单的。另外，移动装 置的构架也可使用已有的热浸镀生产线，可价廉地提供冷轧钢板及热浸镀钢板 的兼用制造装置。
图1是表示本发明第1实施形态的钢板制造装置的热浸镀线路(a)和冷轧线 路(b)的主视图。
图2是图1的切换炉壳单元的立体图。
图3是表示本发明第2实施形态的钢板制造装置的热浸镀线路(a)和冷轧线 路(b)的主视图。
图4是表示本发明第2实施形态的变形例的钢板制造装置的热浸镀线路(a) 和冷轧线路(b)的主视图。
图5是图4的切换炉壳单元的立体图。
图6是表示以往的钢板制造装置的热浸镀线路(a)和冷轧线路(b)的主视图。
图7是图6的线路切换炉壳单元的立体图。
图8是图6的热浸镀钢板用炉壳单元的立体图。
具体实施例方式
下面根据
本发明的实施形态。 (第1实施形态)
图1表示本发明第1实施形态的钢板制造装置1A。
该钢板制造装置1A，在退火炉2的下游侧设置有制造热浸镀钢板3a的热 浸镀线路Rl和不进行热浸镀而制造冷轧钢板3b的冷轧线路R2。
热浸镀线路R1如图I(a)所示，它是一条利用导向滚轮5从退火炉2的送 出部4斜向下降，通过第1出口 6及长嘴7进入热浸镀槽8，利用设在热浸镀 槽8内的罐轮9而向上方立起，通过切换炉壳单元10的热浸镀线路用炉壳11， 再进入倒U字形的上部炉壳12，利用导向滚轮13、 14下降进入水冷槽15中， 利用设在该水冷槽15内的罐轮16而向上方立起，通过断水装置17并利用导 向滚轮18成为水平的线路。
冷轧线路R2如图l(b)所示，它是一条从退火炉2的送出部4的第2出口 19直线进入切换炉壳单元10的冷轧线路用炉壳20，利用导向滚轮21在该冷 轧线路用炉壳20内上升，再利用导向滚轮22成为水平，从冷轧线路用炉壳20 出来，通过冷轧线路用固定炉壳23而进入上部炉壳12的下降部，利用导向滚 轮24下降并进入水冷槽15，以后与热浸镀线路R1相同，利用设在水冷槽15 内的罐轮16而向上方立起，通过断水装置17并利用导向滚轮18成为水平的 线路。另外，也可不从退火炉2的送出部4的第2出口 19直接进入，而是一 旦向上方露出后水平进入切换炉壳单元10的冷轧线路用炉壳20。
所述切换炉壳单元10如图2所示，它是将垂直方向延伸的热浸镀线路用 炉壳11和垂直方向延伸的冷轧线路用炉壳20并设而形成的，被支承在支承构 架25上，并可在1对轨道26上沿水平方向往复移动。冷轧线路用炉壳20包 括垂直部20a;从垂直部20a的下端向水平方向弯曲的下部水平部20b;从垂 直部20a的上端向与下部水平部20b相反的水平方向弯曲的上部水平部20c。 在垂直部20a上设置对通过其内部的冷轧钢板3b进行冷却的冷却装置27。作 为冷却装置27，最好是用风扇使由气体冷却器冷却的气体强制循环的方式。上 下的各水平部20b、 20c和垂直部20a之间如图l(b)所示分别配设导向滚轮21 、 22。如图2所示，热浸镀线路用炉壳11是将合金化炉lla、锌花不显装置llb 及急冷装置llc并设而形成的。
在退火炉2的送出部4上设置对朝向长嘴7的出口进行开闭的门28。因 可由热浸镀槽8进行密封，故该门28不是绝对必要的。但是，若有门28，则 在制造冷轧钢板时可对热浸镀槽8进行维修保养。另外，在冷轧线路用固定炉壳23与上部炉壳12合并的部分设置有对热浸镀线路Rl进行开闭的门29。
在切换炉壳单元10的冷轧线路用炉壳20的下部水平部20b与退火炉2的 送出部4的第2出口 19之间安装有将它们气密连接的连接单元30。同样，在 冷轧线路用炉壳20的上部水平部20c与冷轧线路用固定炉壳23之间安装有将 它们气密连接的连接单元31。这些连接单元30、 31的连接方法可采用螺栓、 夹子、气缸等任意的方法。
现说明由前述结构构成的钢板制造装置的动作，首先，在热浸镀线路Rl 中，如图l(a)所示，使切换炉壳单元10水平方向移动，根据钢板的种类在热浸 镀线路用炉壳11中选择合金化炉lla、锌花不显装置llb、急冷装置llc任一 种并使其与热浸镀线路Ri —致。另外，将退火炉2的送出部4的第1出口 6 的门28打开，将上部炉壳12的门29打开。被退火炉2退火的钢板3在镀锌 的场合以约460。C、在镀铝的场合以约670°C、在铝55%、锌45%镀层的场合 以约600°C的温度状态借助导向滚轮5并通过长嘴7而浸渍在热浸镀槽8的热 浸镀液中，在这里实施锌或铝等的热浸镀。热浸镀后的热浸镀钢板3a利用热浸 镀槽8内的罐轮9而立起，通过热浸镀线路用炉壳ll的合金化炉lla、锌花不 显装置llb、急冷装置llc中选择的炉壳进行处理。在选择合金化炉Ua时， 热浸镀后的钢板3a被加热到约520 约550°C，镀层被合金化。在选择锌花不 显装置llb时，热浸镀后的钢板3a被吹附有锌粉或药液剂，镀层表面的花纹縮 小。急冷装置llc主要用于铝系的镀层。在选择该急冷装置llc时，热浸镀后 的钢板3a以约lrC/秒以上的速度、在镀铝的场合被急冷到约450。C、在铝55。/。、 锌45W的镀层的场合被急冷到约370。C，花纹被縮小。在热浸镀线路用炉壳U 中处理后的热浸镀钢板3a —边通过上部炉壳12 —边被冷却到约150°C，在水 冷槽15中进一步冷却后，被搬送到未图示的下一个工序。
如图l(b)所示，要切换成冷轧线路R2时，则使切换炉壳单元10沿水平方 向移动，使冷轧线路用炉壳20与冷轧线路R2—致。另外，预先将退火炉2的 送出部4的第1出口 6的门28关闭，将上部炉壳12的门29关闭。并且，在 冷轧线路用炉壳20的下部水平部20b与退火炉2的排出部4的第2出口 19之 间安装有连接单元30，在上部水平部20c与冷轧线路用固定炉壳23之间也安 装有连接单元31。被退火炉2退火的钢板3直线前进，通过连接单元30进入 冷轧线路用炉壳20的下部水平部20b，利用导向滚轮21而在垂直部20a上立 起，在这里由冷却装置27冷却。冷却后的冷轧钢板3b利用导向滚轮22而在 上部水平部20c上移动，进入连接单元21、冷轧线路用固定炉壳23， 一边使上 部炉壳12下降一边被冷却到约150°C，在水冷槽15中进一步冷却后，被搬送 到未图示的下一个工序。在所述第1实施形态中，冷轧线路用炉壳20与热浸镀线路用炉壳11结合 成一体，而热浸镀线路用炉壳11是将合金化炉lla、锌花不显装置llb及急冷 装置Ilc并设而形成的。因此，在热浸镀线路R1中，通过与用来选择合金化 炉lla、锌花不显装置llb、急冷装置llc的移动装置相同的移动装置就可切换 到冷轧线路R2，结构是简单的。另外，线路切换的移动装置即支承构架25和 轨道26等可使用已有的热浸镀线路Rl的支承构架25和轨道26等。
另外，在所述第l实施形态中，由于在切换炉壳单元IO的冷轧线路用炉壳 20上设置了冷却装置27，故不必在冷轧线路R2的其它部位设置冷却装置，结 构进一步变得简单。
(第2实施形态)
图3表示本发明的第2实施形态的钢板制造装置1B。下面说明的第2实施 形态及其变形例中，对于与所述第1实施形态相同的部分，标上相同符号并省 略说明。
在该钢板制造装置1B中，也是在退火炉2的下游侧设置有制造热浸镀钢板 3a的热浸镀线路Rl和不进行热浸镀而制造冷轧钢板3b的冷轧线路R2。
热浸镀线路Rl如图3(a)所示，它是一条利用导向滚轮5从退火炉2的送出 部4斜向下降，通过第1出口 6及长嘴7进入热浸镀槽8，利用设在该热浸镀 槽8内的罐轮9而向上方立起，通过合金化炉11a及保持区32再进入倒U字 形的上部炉壳12，利用导向滚轮13、 14下降并进入水冷槽15，利用设在该水 冷槽15内的罐轮16而向上方立起，通过断水装置17并利用导向滚轮18成为 水平的线路。
冷轧线路R2如图3(b)所示，它是一条利用导向滚轮33从退火炉2的送出 部4上升，离开第2出口 34而进入将热浸镀槽8旁通的冷轧线路用旁通炉壳 35，利用导向滚轮36在该冷轧线路用旁通炉壳35内成为水平，进入保持区35 并利用导向滚轮37上升，再利用导向滚轮38而成为水平，离开保持区32通 过冷轧线路连接单元39及冷轧线路用固定炉壳23而进入上部炉壳12的下降 部，利用导向滚轮24下降并进入水冷槽15，以后与热浸镀线路R1相同，利用 设在水冷槽15内的罐轮16而向上方立起，通过断水装置17并利用导向滚轮 18成为水平的线路。
另外，所述合金化炉lla可以是单独的，也可如图8所示作成将锌花不显 装置及急冷装置合并设置的炉壳单元。在该场合，炉壳单元支承在支承架构25 上，可在1对固轨道26上沿水平方向往复移动。
在所述保持区32上设置有在热浸镀线路Rl中将热浸镀钢板3a保持成一定 温度的加热器32a、以及在冷轧线路上对冷轧钢板3b进行冷却的冷却装置40。作为冷却装置40，最好是用风扇40b使由气体冷却器40a冷却后的气体强制循 环的方式。该保持区32是一条兼有热浸镀线路R1中的加热器32a对热浸镀钢 板3a的温度保持功能和冷轧线路R2中的冷却装置40对冷轧钢板3b的慢冷或 冷却功能的线路。
与第1实施形态相同，在退火炉2的送出部4上设置有对朝向长嘴7的第 1出口 6进行开闭的门28。因可由热浸镀槽8进行密封，故该门28不是绝对 必要的。但是，若有门28，则在制造冷轧钢板时可对热浸镀槽8进行维修保养。 另外，在冷轧线路用面定炉壳23与上部炉壳12合并的部分设置对热浸镀线路 Rl进行开闭的门29。作为冷轧线路用旁通炉壳35与保持区32及送出部4的 连接方法、冷轧线路连接单元39与保持区32及冷轧线路用固定炉壳23的连 接方法，可采用螺栓、夹子、气缸等任意的方法。
现说明由前述结构构成的钢板制造装置1B的动作，首先，在热浸镀线路 Rl中，如图3(a)所示，将退火炉2的送出部4的第1出口 6的门28打开，将 上部炉壳12的门29打开。被退火炉2退火的钢板3在镀锌的场合以约460°C、 在镀铝的场合以约670。C、在铝55%、锌45%镀层的场合以约600°<:的温度状 态借助导向滚轮5并通过长嘴7而浸渍在热浸镀槽8的热浸镀液中，在这里实 施锌或铝等的热浸镀。热浸镀后的钢板3a利用热浸镀槽8内的罐轮9而立起， 通过合金化炉Ua，在这里被加热到约520 约550°C，镀层被合金化。被合金 化炉lla处理后的热浸镀钢板3a利用保持区32的加热器32a以一定时间保持 成约520 约550°C， 一边通过上部炉壳12 —边被冷却到约150°C,在水冷槽 15中进一步冷却后，被搬送到未图示的下一个工序。
如图3(b)所示，要切换成冷轧线路R2时，则预先将退火炉2的送出部4 的第1出口 6的门28关闭，将上部炉壳12的门29关闭。另外，在保持区32 的下部与退火炉2的排出部4的第2出口 34之间安装有冷轧线路用旁通炉壳 35，在保持区32的上部与冷轧线路用固定炉壳23之间安装有冷轧线路连接单 元39。被退火炉2退火的钢板3通过导向滚轮33而进入冷轧线路用旁通炉壳 35，由导向滚轮36导向并进入保持区32，在这里利用冷却装置40进行冷却。 冷却后的冷轧钢板3b利用导向滚轮38而成为水平，进入冷轧线路连接单元39、 冷轧线路用固定炉壳23， 一边使上部炉壳12下降一边将其冷却到约150°C， 在水冷槽15中进一步冷却后，被搬送到未图示的下一个工序。
在所述第2实施形态中，由于热浸镀线路Rl的保持区32兼用为冷轧线路 R2的慢冷区或冷却区，故结构简单。另外，冷轧线路R2的其它部位不必另外 设置慢冷区或冷却区。
(第2实施形态的变形例)图4表示所述第2实施形态的变形例的钢板制造装置1B'。第2实施形态 是将冷轧线路用旁通炉壳35安装在退火炉2的送出部4与保持区32之间的例 子，但在本变形例中，冷轧线路用旁通炉壳41成为了与合金化炉Ua合并设置 结合成一体的切换炉壳单元42，该切换炉壳单元42支承在支承构架25上，并 可在1对轨道26上沿水平方向往复移动。
所述冷轧线路用旁通炉壳41是由水平部41a和垂直部41b构成的L字形， 在水平部41a与垂直部41b之间设置导向滚轮43。合金化炉lla可以是单独的， 也可如图5中双点划线所示合并设置锌花不显装置llb及急冷装置llc。
在冷轧线路用旁通炉壳41的水平部41a与退火炉2的送出部4的第2出 口 44之间安装有将它们气密连接的连接单元45。同样，在冷轧线路用旁通炉 壳41的垂直部41b与保持区32之间安装有将它们气密连接的连接单元46。作 为这些连接单元45、 46的连接方法，可采用螺栓、夹子、气缸等任意的方法。
现说明该第2实施形态的变形例的钢板制造装置1B'的动作，首先，在热 浸镀线路R1中，如图4(a)所示，使切换炉壳单元42沿水平方向移动，使合金 化炉lla与热浸镀线路Rl —致。另外，将退火炉2的送出部4的第1出口 6 的门28打开，将上部炉壳12的门29打开。被退火炉2退火的钢板3在镀锌 的场合以约460。C、在镀铝的场合以约670°C、在铝55%、锌45%镀层的场合 以约600°C的温度状态借助导向滚轮5并通过长嘴7而浸渍在热浸镀槽8的热 浸镀液中，在这里实施锌或铝等的热浸镀。热浸镀后的钢板3a利用热浸镀槽8 内的罐轮9而立起，通过合金化炉lla,在这里被加热到约520 550°C，镀层 被合金化。被合金化炉lla处理后的热浸镀钢板3a在保持区32中利用加热器 32a以一定时间保持成约520 约550°C， 一边通过上部炉壳12 —边被冷却到 约150°C，在水冷槽15中进一步冷却后，被搬送到未图示的下一个工序。
如图4(b)所示，要切换成冷轧线路R2时，则使切换炉壳单元42沿水平方 向移动，使冷轧线路用旁通炉壳41与冷轧线路R2—致。另外，预先将退火炉 2的送出部4的第1出口 6的门28关闭，将上部炉壳12的门29关闭。此外， 在冷轧线路用旁通炉壳41的水平部41a与退火炉2的第2出口 44之间、冷轧 线路用旁通炉壳41的垂直部41b与保持区32之间、保持区32的上部与冷轧 线路用固定炉壳23之间分别安装有连接单元45、 46、 39。被退火炉2退火后 的钢板3直接前进离开第2出口 44并进入冷轧线路用旁通炉壳41，由导向滚 轮43导向而进入保持区32，在这里利用冷却装置40进行冷却。冷却后的冷轧 钢板3b利用导向滚轮38而成为水平，进入冷轧线路连接单元39、冷轧线路用 固定炉壳23， 一边使上部炉壳12下降一边将其冷却到约150°C，在水冷槽15 中进一步冷却后，被搬送到未图示的下一个工序。在所述第2实施形态的变形例中，由于冷轧线路用旁通炉壳41与合金化 炉lla—体，并可沿水平方向移动，故利用与热浸镀线路Rl中的合金化炉lla、 锌花不显装置llb、急冷装置lie的选择相同的移动装置就可切换到冷轧线路 R2，结构是简单的。另外，移动装置的构架也可使用已有的热浸镀线路。
权利要求
1.一种钢板制造装置，可对热浸镀线路和冷轧线路进行切换，所述热浸镀线路是将从退火炉送出的钢板导入热浸镀槽来制造热浸镀钢板，所述冷轧线路是将从退火炉送出的钢板不导入热浸镀槽而在旁路中制造冷轧钢板，在从所述热浸镀槽立起的热浸镀线路上设置有合金化炉和保持区，其特征在于，在热浸镀线路上使用所述合金化炉和保持区，当切换成冷轧线路时，将所述热浸镀槽旁通的冷轧线路连接在所述保持区的上游，将后续的冷轧线路连接在所述保持区的下游，将所述保持区兼用为所述冷轧线路的慢冷区或冷却区。
2. 如权利要求1所述的钢板制造装置，其特征在于，可沿水平方向移动地 设置有炉壳单元，所述炉壳单元是将由所述合金化炉构成的热浸镀线路用炉壳 和冷轧线路用炉壳并设而形成的，在热浸镀线路上，使所述炉壳单元向一方向移动，并使由所述合金化炉构 成的热浸镀线路用炉壳与所述热浸镀线路一致，使用所述合金化炉和保持区，当切换成冷轧线路时，使所述炉壳单元向另一方向移动，将所述热浸镀槽 旁通的冷轧线路连接在所述冷轧线路用炉壳的下端，将所述保持区连接在上 端，并将所述保持区兼用为所述冷轧线路的慢冷区或冷却区。
全文摘要
一种钢板制造装置，可对热浸镀线路和冷轧线路进行切换，所述热浸镀线路是将从退火炉送出的钢板导入热浸镀槽来制造热浸镀钢板，所述冷轧线路是将从退火炉送出的钢板不导入热浸镀槽而在旁路中制造冷轧钢板，在从所述热浸镀槽立起的热浸镀线路上设置有合金化炉和保持区，其特征在于，在热浸镀线路上使用所述合金化炉和保持区，当切换成冷轧线路时，将所述热浸镀槽旁通的冷轧线路连接在所述保持区的上游，将后续的冷轧线路连接在所述保持区的下游，将所述保持区兼用为所述冷轧线路的慢冷区或冷却区。
文档编号C23C2/40GK101619431SQ200910139440
公开日2010年1月6日 申请日期2007年5月22日 优先权日2006年5月24日
发明者阪田守 申请人:中外炉工业株式会社