专利名称：塑性加工用模具及其制造方法、以及铝材的锻造方法
技术领域：
本发明涉及金属材料的塑性加工用模具，特别是涉及一种用于铝材温锻或热锻的塑性加工用模具。
背景技术：
一般而言，用以制造锻造品的模具，往往被要求用以提高耐久性的耐磨损性和降低用以抑制由于与锻造品表面的滑动而造成的磨损的摩擦系数的滑动特性等，从而在其表面形成硬质覆膜。近年来，为了使锻造品更轻量化，铝材(包括铝合金材料，以下相同)的适用日益增加，不过，由于铝材为软质，因此，在热锻和温锻中锻造过程中的变形大，露出新生面与模具接触，从而，在锻造品的表面容易产生热粘。在温热锻造中，为了防止热粘(赋予耐热粘性)，利用喷雾等将润滑剂附着在模具表面上，以使模具和锻造品不直接接触。于是，开发了限定表面性状的模具，以使能够保持表面附着的润滑剂。专利文献1中揭示了一种温热锻造用模具，其是覆盖由Ti、Cr等氮化物或碳氮化物构成的硬质覆膜，将表面算术平均粗糙度Ra限定在0. 1 0. 6 μ m的范围内。 专利文献2中揭示了一种锻造用模具，其是覆盖由Ti的硼化物(TiB2)构成的层，再在其上层叠由以Al为主的金属的氮化物构成的层，将表面算术平均粗糙度Ra限定在0. 05μπι以下。专利文献3中揭示了一种温热加工用工具，其是覆盖由Ti、Cr等的氮化物或碳氮化物构成的层，再在其上层叠Ti、Cu等的金属层，将表面的十点平均粗糙度Rz限定在4 15 μ m 的范围内。专利文献1 日本特开2009-61464号公报专利文献2 日本特开2010-99735号公报专利文献3 日本特开2002-307129号公报不过，只是限定Ra、Rz等表面凹凸的高度(深度)和高低差等，对于保持润滑剂还不足够，特别是在铝材等软质金属的塑性加工中，在锻造过程中的高面压下有可能发生热粘。
发明内容
本发明即是鉴于上述问题点而产生的，其目的在于提供一种耐热粘性优异的塑性加工用模具。为了解决所述课题，关于模具的表面性状的指标，本发明者着眼于凹部和凸部的非对称度(偏差度偏度(skewness))，发现具有优异的润滑剂保持性的是构成凸部的部分变大的形状。为了解决所述课题，本发明的塑性加工用模具其特征在于，在由金属构成的基材上形成有硬质覆膜，该硬质覆膜的表面其算术平均粗糙度Ra为0. 3 μ m以上且2 μ m以下， 偏度Rsk为0以下。根据这样的塑性加工用模具，由于在表面保持润滑剂上很优异，从而获得耐热粘性。
本发明的塑性加工用模具，所述硬质覆膜优选是其膜厚为Iym以上且12μπι以下，且优选是含有Ti、Cr的至少1种和Al的氮化物、碳氮化物、碳化物的任意一个。
根据形成像这样限制膜厚的硬质覆膜的塑性加工用模具，容易控制表面性状。另外，根据用这样的材料形成硬质覆膜的塑性加工用模具，耐热性及耐氧化性优异、特别是由于表面形成硬质的覆膜，从而耐久性优异。
本发明的塑性加工用模具，优选是用于铝材的温锻或热锻。
另外，本发明的塑性加工用模具的制造方法，其特征在于，进行以下工序来制造塑性加工用模具，即基材表面粗糙化工序，采用喷丸法使由金属构成的基材表面粗糙化；基材研磨工序，对该表面进行研磨；成膜工序，在研磨过的基材表面形成硬质覆膜，在塑性加工用模具中，硬质覆膜的表面算术平均粗糙度Ra为0. 3 μ m以上且2 μ m以下，偏度Rsk为0 以下。并且，在所述表面粗糙化处理工序中，将基材的表面调整为算术平均粗糙度Ra超过 1 μ m且2 μ m以下，在所述研磨工序中，调整到Ra为0. 3 μ m以上且2 μ m以下，偏度Rsk为 0以下。
这样一来，对基材进行表面粗糙化和研磨，调整表面，从而能够容易形成适当的表面性状的硬质覆膜。
本发明的铝材的锻造方法其特征在于，将所述塑性加工用模具表面涂敷润滑剂后进行使用，对铝材进行温锻或热锻。
发明效果
根据本发明的塑性加工用模具，由于具备在表面保持润滑剂方面优异的硬质覆膜，因此，在特别要求耐热粘性的铝材的温热锻造中，也能够防止热粘。根据本发明的塑性加工用模具的制造方法，能够容易调整为适当的表面性状，而获得耐热粘性优异的塑性加工用模具。根据本发明的铝材锻造方法，可获得没有热粘的锻造品。
图1是对塑性加工用模具的表面性状所引起的润滑剂附着状态进行说明的截面局部放大图，(a)是偏度Rsk不足0的模型，(b)是偏度Rsk超过0的模型。
具体实施方式
[塑性加工用模具]
关于本发明的塑性加工用模具进行说明。
本发明的塑性加工用模具是在金属材料的塑性加工、例如锻造中采用的成形用模具，在由金属构成的基材上覆盖硬质覆膜。基材及硬质覆膜可以分别由适用于常用模具的众所周知的材料形成。例如，基材可以列举热工具钢SKD61、冷工具钢SKD11、高速工具钢 SKH51这样的合金工具钢或者超硬合金等。硬质覆膜可列举Al、Ti等的氮化物、碳氮化物、 碳化物、DLC(类金刚石)等的单层膜或层叠了 2种以上膜的多层膜。本发明的塑性加工用模具(以下，适当称为模具)对形成硬质覆膜的表面(以下，称为模具的表面)形状进行如下限定。
(算术平均粗糙度Ra:0· 3 μ m以上且2 μ m以下)
若模具的表面变粗糙则摩擦系数变大，即使附着润滑剂也无法获得耐热粘性，从而，高度、深度方向的振幅平均参数即算术平均粗糙度Ra为2 μ m以下，优选是为IymW 下。另一方面，若表面过于平滑，凹凸的高低差变小，则蓄留润滑剂的凹部容积过小，润滑剂在锻造过程中无法保持。本发明中，设定后述的偏度Rsk为0以下，抑制凹部的容积比，从而，算术平均粗糙度为0. 3 μ m以上，优选是0. 4 μ m以上。
(偏度Rsk :0 以下)
偏度Rsk是凸部和凹部的非对称度(偏差度)，当Rsk = 0时，凸部和凹部相对于截面粗糙度曲线的平均线(图1中以一点划线表示)在体积上对称。图1所示模具的截面的局部放大图，为了容易明白地表示由于Rsk造成的不同，将凹凸形状均勻表示。Rsk > 0时，如图1(b)所示成为偏向深度方向的凹凸形状。从而，凹部的容积变得较大，附着在模具表面的润滑剂大部分蓄留在凹部中，相应地，附着在凸部表面的润滑剂层变薄。从而，由于凹凸的高度的突出部位和模具形状等，而有可能出现没有附着润滑剂的区域。本发明中， 如图1(a)所示，为了抑制凹部的容积比，确保附着在凸部表面的润滑剂，而使偏度RskSo 以下(图1(a)中表示Rsk <0)，优选是Rsk <-0.2。偏度Rsk的下限并没有特别限定，不过，若Rsk < -1，则凹部的容积相对于凸部而言过小，在锻造过程中不能充分保持润滑剂， 因而，优选是偏度Rsk超过-1，以使不会偏向高度方向。
模具表面的算术平均粗糙度Ra及偏度Rsk，是由JIS B0601(2001年)规定的表面性状参数，各自的测量方法遵循着该规定，能够利用众所周知的测量装置进行测量。另外， 为了使Ra、Rsk分别进入所述范围而对表面进行调整，如后述制造方法中所说明，优选是在调整基材表面后，覆盖硬质覆膜，再根据必要调整硬质覆膜的表面。
再有，本发明的塑性加工用模具，优选是如下构成覆盖表面的硬质覆膜，从而，能够适用于温锻或热锻、特别是铝材锻造。
本发明的塑性加工用模具的硬质覆膜优选是膜厚Iym以上且12 μ m以下。硬质覆膜在膜厚不足1 μ m的情况下，虽然还取决于硬质覆膜材料和用途(锻造条件等)，但有时不足以对模具赋予耐磨损性。另一方面，若增厚硬质覆膜的膜厚，则该硬质覆膜的表面性状与作为底材的基材表面性状发生较大变化。如后述制造方法所说明，将基材的表面调整为一定程度上符合模具要求的表面性状后，覆盖硬质覆膜。从而，若硬质覆膜的表面性状相对于基材发生较大变化，则有必要再次调整表面，不过，多次调整凹凸的变化量在生产上的效率很差，另外，由于变化量也是存在界限的，从而，很难使模具的表面性状适当。因而，优选是硬质覆膜的膜厚为12 μ m以下。再有，关于在铝材的温热锻造中采用的模具，由于被加工材料为软质，因此由于锻造而产生的模具(硬质覆膜)的磨损比较少，硬质覆膜可以不用形成得那么厚，优选是膜厚为7 μ m以下，更优选是为5 μ m以下。
本发明的塑性加工用模具的硬质覆膜优选是由含有Ti、Cr的至少1种和Al的氮化物、碳氮化物、碳化物的任意一种构成。对于热锻来说，即使是较低熔点的铝材很多时候被加工材料也达到500°C以上，还要在大气中进行实施，因此优选是在硬质覆膜中适用氧化开始温度500 600°C以上的材料。氮化物、碳氮化物、碳化物一般来说是以这样的顺序选取形成时的自由能量为负的较大值，因此耐氧化性、耐热性优异。其中，以Al的氮化物 (AlN)为基，添加了 Ti、Cr的氮化物和碳氮化物、即以组成式AlhVTixCi^CzNhUx彡0、 y彡0、0 < x+y < UO^z < Uw > 0)表示的材料其耐氧化性优异。另外，由于添加了 Ti、CN 102527899 ACr,由此硬度增大。还有，所述组成式中的W、即C、N的原子数总和相对于Al、Ti、Cr的原子数总和的比是随着各原子的原子数(x、y、z的值)而变化的值，以下省略。还有，硬质覆膜优选是在所述氮化物等中添加了 Si或Y的材料，另外，也可以添加Nb、Ta等，不过，Al、Ti、 Cr这3种原子数总和相对于Al和Si等金属元素及半金属元素的全部原子数总和的比优选是0.7以上。由这些材料构成的硬质覆膜为了对铝材的温热锻造赋予足够的耐久性，更优选是设定为所述范围的膜厚。
[塑性加工用模具的制造方法]
本发明的塑性加工用模具的制造方法是对成形为模具形状的基材，进行以下工序，即将其表面粗糙化的基材表面粗糙化工序、对粗糙了的表面进行研磨的基材研磨工序和在基材表面形成硬质覆膜的成膜工序。并且，为了使模具表面即硬质覆膜的表面成为所述范围的表面性状(Ra :0. 3 2 μ m、Rsk :0以下)，从而，在基材表面粗糙化工序及基材研磨工序的各个工序中将基材调整为以下规定范围的表面性状。以下，关于各工序进行详细说明。
(基材表面粗糙化工序1μ m < Ra彡2 μ m)
基材表面粗糙化工序通过采用了喷丸法的表面粗糙化处理使基材表面粗糙化。通过后续的基材研磨工序，基材表面的算术平均粗糙度Ra有一定程度减小，从而，基材表面粗糙化工序中，将表面调整为Ra > lym。装置和投射材料(喷射材料)等能够适用一般在金属材料的表面处理中使用的装置或材料，投射喷射材料的空气压通常为5 lOkg/cm2左右。作为喷射材料，能够使用由氧化铝(corundum)或SiC (alundum)形成的粒子，粒径平均为20 400μπι左右的材料。若使用平均粒径大的喷射材料，则能够短时间内使表面形状粗糙化，另外，Ra也变大，但由于偏度Rsk明显偏向(Rsk >>0)凹部(深度方向)，从而， 后续的基材研磨工序需要很长研磨时间。还有，在利用喷丸法进行的表面粗糙化处理中，存在由于喷射材料的粒径和投射密度等条件产生的差，但粗糙化了的表面的偏度Rsk有偏向凹部(Rsk >0，参照图1(b))的倾向。若表面粗糙化时使Ra超过2 μ m，则过于偏向凹部， 即Rsk过大，在基材研磨工序中很难将Rsk调整为0以下。从而，按照使Ra彡2 μ m的方式对表面进行调整。
(基材研磨工序0· 3 μ m彡Ra彡2 μ m、Rsk彡0)
基材研磨工序是对在基材表面粗糙化工序中粗糙化了的基材表面进行研磨，将偏度Rsk调整为0以下。详细地说，经由粗糙化形成的凹凸中的凸部顶部较多地经研磨被去除，由此算术平均粗糙度Ra减小，同时，研磨前相对于凹部小的凸部(Rsk >0)的大小成为与凹部同等以上(Rsk<0)。为了以这样微小的研磨量进行研磨，作为研磨材料可列举镜面精加工中使用的平均粒径4 8μπι的金刚石粒子(磨粒)。还有，为了对成形为模具的复杂形状的基材表面进行研磨，研磨装置优选是与基材表面粗糙化工序同样适用投射型的装置。但是，直接投射所述微小的研磨材料是很困难的，从而，将在由具有弹力性的树脂构成的粒径1 2mm左右的粒子表面附着所述金刚石磨粒的物质作为投射材料。作为使用这种投射材料的装置，列举出工7 ° 7 (注册商标、(株)W” ”― ^ )。经过这样的研磨处理，在基材表面粗糙化工序中形成的凹凸会残留一定程度，能够调整为与模具表面性状接近的表面性状。
(成膜工序)
硬质覆膜能够利用CVD法及PVD法形成，不过优选是利用能够在低温下进行处理的PVD法进行成膜，特别推荐的是反应性喷溅和离子镀敷。根据这些方法，作为例如用于铝材热锻的模具的优选硬质覆膜，形成添加了 Ti的Al氮化物((AlhTix)N)膜时，采用由 (Al1-Jix)的组成的合金构成的靶，在达到规定压力的范围内向处理室供给氮气(N2)，从而能够形成期望组成的硬质覆膜。形成碳氮化物膜时，将像甲烷(CH4)等碳氢化合物这样的含有C的气体以符合碳氮化物的C、N比的分压与队一起供给即可。
(表面精加工工序)
成膜工序后，也可以再进行表面精加工工序，调整硬质覆膜的表面性状。根据硬质覆膜的膜厚和成膜条件、或者是作为底材的基材的表面性状，有时硬质覆膜的表面性状相对于基材的表面性状变粗(算术平均粗糙度Ra增大)。另外，利用电弧式离子镀敷(AIP) 进行成膜时，粒子从靶向基材飞散，从而，硬质覆膜本身的表面变粗。于是，以微小的研磨量研磨硬质覆膜的表面，调整成期望的表面性状。硬质覆膜的研磨能够用与所述基材研磨工序同样的方法进行。利用以上方法能够制造本发明的塑性加工用模具。
[铝材的锻造方法]
本发明的铝材锻造方法采用的是所述本发明的塑性加工用模具，对铝材进行温锻或热锻。那时，模具在表面涂敷润滑剂进行使用。润滑剂及其他锻造条件，能够适用铝材的温热锻造中众所周知的条件。作为热锻方法的一例，是将期望成分的铝材(或铝合金材料) 的铸块进行均勻化热处理，保持此状态或者冷却，经过再加热使铸块达到规定范围的开始温度，另一方面，将安装在锻造冲压装置上的模具加热到规定温度，利用该锻造冲压装置进行锻造。铝材(铸块、锻造材料)的锻造开始温度、锻造结束温度按照成分进行分别设定。 采用本发明的塑性加工用模具，涂敷在模具表面的润滑剂被保持在模具和铝材之间直至锻造结束，获得没有热粘的铝锻造品。
[实施例1]
以上，关于用以实施本发明的方式进行了叙述，以下，将确认本发明效果的实施例与不满足本发明要件的比较例进行比较，进行具体说明。还有，本发明并不限定于该实施例。
(基材)
基材是将SKD61 (HRC50)机械加工成直径220mm、厚度20mm的圆板形状进行使用。
(基材表面粗糙化工序)
在基材的表面以空气压lOkg/cm2实施喷丸，进行表面粗糙化。喷射材料采用的是氧化铝粒子，如表1所示，使用#20 (平均粒径400 μ m)、#50 (平均粒径300 μ m)、#80 (平均粒径180 μ m)、#300 (平均粒径20 μ m)，分别调整投射时间，以使基材表面的算术平均粗糙度Ra为超过1 μ m且2 μ m以下的范围。用表面粗糙度测量仪(〒一，一 *义 > >社制、7 才一 Λ夕U寸一 7 4 >卜，)测量表面粗糙了的表面算术平均粗糙度Ra及偏度Rsk，如表 1所示。还有，关于供试材料No. 5的基材，没有实施喷丸。
(基材研磨工序)
利用投射型的研磨装置(工7 口，7 YT-100、(株)Y 7 *夕7 —夕7制)将表面附着有平均粒径4 8 μ m的金刚石磨粒的树脂粒子投射在供试材料No. 5 10的基材表面，进行研磨以使表面的偏度Rsk为0以下、且算术平均粗糙度Ra不会不足0. 3 μ m(除7了供试材料No. 5)。与表面粗糙化后同样，测量表面的Ra、Rsk，如表1所示。
(成膜工序)
在基材的表面，利用具有电弧式离子镀敷(AIP)的成膜装置，形成4μπι膜厚的由(Ala55Tia2Cra2Siatl5)N构成的硬质覆膜。向装置的处理室导入基材，将处理室排气到 IXlO-3Pa以下，将基材加热到约400°C后，利用Ar离子实施5分钟喷溅。对照着硬质覆膜， 采用添加了 Ti、Cr、Si的Al合金靶(Φ 100mm)，设定电弧电流为150A,以-70V对基材外加偏压，向处理室供给氮气(N2)，在4 下进行成膜。
(表面精加工工序)
与基材的研磨同样对硬质覆膜的表面进行研磨，从而，去除表面附着的粒子，形成模具的供试材料(No. 1 10)。测量硬质覆膜表面的Ra、Rsk，如表1所示。
(环压缩试验)
为了评价润滑剂向供试材料表面的附着状态，进行环压缩试验，测量摩擦系数μ。 环压缩试验是在模拟锻造工艺的压缩行程中，根据环形状的被加工材料的内径变化率求出摩擦系数和压下率关系的试验。将6000系的Al合金材料机械加工成外径60mm、内径30mm、 高度20mm的环形状，形成被加工材料。在供试材料上涂敷石墨类的润滑剂，2块作为1组， 夹着加热的被加工材料，在被加工材料500°C、供试材料400°C的温度下，以压下率70%进行压缩。关于相同供试材料，再涂敷润滑剂，换成新的被加工材料，重复进行10次环压缩试验。测量第5 10次的各环压缩试验所产生的摩擦系数μ，计算其平均值。表1表示摩擦系数μ的平均值。摩擦系数μ的平均值为0.4以上时，在环压缩试验中供试材料表面不能保持润滑剂，看作是与被加工材料直接接触，摩擦系数μ上升，合格基准是摩擦系数μ 的平均值不足0.4。
[表 1]
供试材料基材表面处理硬质覆腹摩擁系数 U表面粗糙化研磨硬质覆膜规格表面性状喷丸喷射材料规格Ra (um )RskRa (um )Rsk组成腹厚 (irn )Ra (um )Rsk区分No,比较例t平均粒径400μ π2.00.8--(AIa5sTkCra2Siao5)N42.0as0.5S2平均粒径300μπι1.50.6--1.50.50.453平均粒径180μηι1.10.4-U0,20.424平均粒径 20μΓη1.00.2--0.80.10.435--—0.1-0.20.10.40实施例6平均粒径400μπι2.00.81.5-0.11.5-OJ0.377平均粒径300μηι1,50.61.2-0.21.2-0.20.298平均粒径180μπι1.10.40.5-0.60.5-0.60.209平均粒径 20|im1.00.20.40.4-0.60.2510平均粒径180μπι1.10.40.4—0.50.8-0.60.17
如表1的供试材料No. 1 4所示，只是利用喷丸法进行了表面粗糙化处理，即使改变喷射材料，基材表面的偏度Rsk也不在0以下，形成明显偏向凹部的凹凸形状，该形状影响了硬质覆膜的表面性状。推测其结果是，附着在凸部表面的润滑剂不足，耐磨损性下降。与之相对，在表面粗糙化处理后实施了研磨处理的供试材料No. 6 10，保持算术平均粗糙度Ra在本发明的范围内且Rsk被调整为0以下，从而，在环压缩试验中保持附着润滑剂的状态，获得耐磨损性。另一方面，只进行研磨处理的供试材料No. 5，推测是Ra不足的镜面状态且Rsk不足0，从而凹部的容积小、表面没有保持足够的润滑剂而耐磨损性降低。
另外，若比较供试材料No. 1 4，则观察到喷射材料的平均粒径越大，Ra越大 (粗)且Rsk越向正的方向变大(偏向凹部变大)的倾向。对这些供试材料分别在相同条件下实施研磨处理的供试材料No. 6 9，Ra降低大致相同程度，且Rsk降低，转向负方向。 于是，关于表面粗糙化处理后的Rsk比较小的供试材料No. 3，与供试材料No. 8相比，缩短了对基材的研磨处理时间，制作供试材料No. 10，结果是抑制了 Ra的降低，且Rsk也足够小。 从而，供试材料No. 10获得了润滑剂附着状态良好的表面性状，耐磨损性特别优异。
[实施例2]
对实施例1中最佳的(摩擦系数μ最小的)供试材料No. 10，以在相同条件下实施表面处理的基材，变化硬质覆膜的组成及膜厚进行比较。
关于与实施例1相同材料及形状的基材，在与供试材料No. 10相同的条件下进行基材表面粗糙化工序及基材研磨工序。在这些基材上利用符合表2所示组成的金属靶或合金靶与实施例1同样，用AIP形成表2所示组成的硬质覆膜。碳氮化物是以符合该硬质覆膜组成的分压与队一起供给甲烷(CH4)，在压力4 下形成，碳化物是供给CH4,在压力1. 3Pa 下形成。另外，变化成膜时间，形成表2所示的膜厚。还有，关于供试材料No. 23，利用非平衡磁控溅射(UBMS)装置，使用碳靶，向Ar气氛中供给10体积％的CH4,在压力0. 6 下进行放电，形成类金刚石(DLC)。对形成的硬质覆膜的表面与实施例1同样进行研磨，作成模具的供试材料(No. 11 23)。与实施例1同样测量硬质覆膜表面的Ra、Rsk，如表2所示。 还有，作为比较例，还制作了只由没有形成硬质覆膜(不进行成膜工序及表面精加工工序) 的基材构成的供试材料No. 24。
与实施例1同样地，利用环压缩试验求出摩擦系数μ，如表2所示。还有，表2还同时表示供试材料No. 10的结果。
[表 2]
权利要求
1.一种塑性加工用模具，其特征在于，在由金属构成的基材上形成有硬质覆膜，所述硬质覆膜的表面的算术平均粗糙度Ra为0. 3 μ m以上且2 μ m以下，偏度Rsk为0 以下。
2.根据权利要求1所述的塑性加工用模具，其特征在于，所述硬质覆膜的膜厚为1 μ m以上且12 μ m以下。
3.根据权利要求1或2所述的塑性加工用模具，其特征在于，所述硬质覆膜是含有Ti、Cr的至少1种和Al的氮化物、碳氮化物、碳化物的任意一个。
4.根据权利要求3所述的塑性加工用模具，其特征在于，所述塑性加工用模具用于铝材的温锻或热锻。
5.一种塑性加工用模具的制造方法，其特征在于，进行以下工序来制造所述塑性加工用模具基材表面粗糙化工序，采用喷丸法调整由金属构成的基材的表面，使算术平均粗糙度 Ra为超过Ιμ 且2μπι以下；基材研磨工序，通过研磨来调整所述基材的表面，使算术平均粗糙度Ra为0. 3 μ m以上且2 μ m以下，偏度Rsk为0以下；成膜工序，在所述基材的表面形成硬质覆膜，在所述塑性加工用模具中，所述硬质覆膜的表面的算术平均粗糙度Ra为0. 3 μ m以上且2μπι以下，偏度以下。
6.一种铝材的锻造方法，其特征在于，将权利要求3所述的塑性加工用模具表面涂敷润滑剂后进行使用，对铝材进行温锻或热锻。
全文摘要
提供一种通过控制表面性状而使耐热粘性优异的塑性加工用模具及其制造方法、以及铝材的锻造方法。这种塑性加工用模具其特征在于，通过以下工序进行制造，即基材表面粗糙化工序，采用喷丸法使基材表面粗糙化，将算术平均粗糙度Ra调整为超过1μm且2μm以下；基材研磨工序，对该表面进行研磨，保持Ra为0.3μm以上且调整偏度Rsk为0以下；成膜工序，在该基材表面形成硬质覆膜，硬质覆膜的表面的算术平均粗糙度Ra为0.3μm以上且2μm以下，偏度Rsk为0以下。通过调整为不偏向凹部的凹凸形状，由此抑制蓄留润滑剂的凹部的容积，在凸部表面也能够附着足够的润滑剂。
文档编号C23C14/02GK102527899SQ20111037552
公开日2012年7月4日 申请日期2011年11月23日 优先权日2010年11月30日
发明者山本兼司 申请人:株式会社神户制钢所