专利名称：一种气相沉积炉用三级过滤系统的制作方法
技术领域：
本实用新型属于热处理设备，具体涉及一种气相沉积炉用三级过滤系统。
背景技术：
CVD化学气相沉积炉是利用气相沉积的原理，将参与化学反应的物质，加热到一定工艺温度，在真空泵抽气系统产生的引力作用下，引至沉积室进行反应、沉积，生成新的固态物质。为了得到工艺要求的沉积厚度，此反应过程一般需连续工作20天左右。沉积过程中，如有中断现象发生，就会在沉积面上产生瑕疵，影响产品质量。在沉积过程中，大部分的生成物会沉积在沉积室内，但还有相当数量的固态分子，会随着气流，沿着管道、过滤器，进入真空泵，如果该气流未经过滤器有效过滤，固态分子大量进入泵腔，随着沉积过程的持续进行，泵油污染不断加剧，最后使泵卡滞，停止工作，从而使得沉积过程无法继续进行下去。从以上陈述可以看出，过滤器在气相沉积炉中的关键作用。目前，此类设备是在原有真空炉的基础上改造而成，过滤器为单级、水冷结构，两台真空泵并联连接在系统上，轮流交替工作。沉积过程中，混合气体经单级过滤器过滤后，约有总量30%的粉尘进入泵腔， 污染泵油，使得泵频繁发生卡滞现象，需迅速启动另外一台泵继续工作。同时及时组织工人对故障泵进行维修。这样重复进行，方能保证沉积过程持续进行。在生产过程中，操作工人要随时监视系统工作情况，发现隐患要立即解决，工人劳动强度相当大，用工成本高。
实用新型内容本实用新型所解决的是技术问题是降低人工成本、提高生产效率的气相沉积炉用三级过滤系统。为解决上述的技术方案，本实用新型采取的技术方案一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特殊之处在于包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵，一级过滤器的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器的上部腔体内设置有水冷挡板，一级过滤器的下部为锥形捕集腔，一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，三级过滤器输出口与真空泵连接。上述的二级过滤器采用布袋过滤器。上述的三级过滤器采用活性炭过滤器。上述的三级过滤器的输出端连接有备用真空泵。与现有技术相比，本实用新型将简单的单级过滤变为三级过滤，目的使从炉内抽出的混合气体分别通过水冷挡板冷却过滤、布袋过滤、活性炭过滤三级有效过滤后，减少固体分子进入真空泵的数量，保证真空泵能长期保持稳定工作状况，减小工人劳动强度，提高生产效率，确保证产品质量的稳定。
图1为本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施方式
对本实用新型进行详细说明。参见图1，本实用新型包括一级过滤器1、二级过滤器2、三级过滤器3、真空泵，一级过滤器1的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器1的上部腔体内设置有水冷挡板4，一级过滤器1的下部为锥形捕集腔，经一级过滤器1冷却后的混合气体通过管路输出到二级过滤器2内，过滤后的气体输出到三级过滤器3，完成过滤后的气体经真空泵输出。上述的二级过滤器2采用布袋过滤器。上述的三级过滤器3采用活性炭过滤器。上述的三级过滤器3的输出端连接有备用真空泵。从炉内抽出的混合气体，首先进入一级过滤器，此过滤器的上部腔体为双层水冷结构，内部还设有水冷挡板，气体在这里进行充分冷却、凝结，下部为锥形捕集腔，捕集到的固体分子在这里收集，经试验实测，约有72%的固体分子被收集。经一级过滤器冷却后的混合气体随后进入二级布袋过滤器内，布袋密度的选择， 根据固态分子的大小来确定。气体经布袋过滤后方可进入管道，经实测，约总量20%的固态分子被拦截。最后，固态分子含量仅8%的气体进入最后一级活性炭过滤器，经过活性炭过滤装置后。气体的固态杂质的含量约3%左右，大大减少了粉尘进入泵腔的数量，减小了对泵油的污染，保证了真空泵长期、稳定的工作。同时为了防止沉积过程中一台泵发生意外故障，影响系统正常工作，故为该系统配备了两台真空泵，并联连接在系统上，可轮流交替工作。
权利要求1.一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特征在于包括一级过滤器(1)、二级过滤器 (2)、三级过滤器(3)、真空泵(5)，一级过滤器(1)的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器 (1)的上部腔体内设置有水冷挡板(4)，一级过滤器(1)的下部为锥形捕集腔，一级过滤器 (1)、二级过滤器(2)、三级过滤器(3)依次连接，三级过滤器(3)的输出口与真空泵(5)连接。
2.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特征在于所述的二级过滤器(2)采用布袋过滤器。
3.根据权利要求1所述的一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特征在于所述的三级过滤器(3)采用活性炭过滤器。
4.根据权利要求1或3所述的一种气相沉积炉用三级过滤系统，其特征在于所述的三级过滤器(3)的输出端连接有备用真空泵。
专利摘要本实用新型涉及一种气相沉积炉用三级过滤系统。目前，此类设备是在原有真空炉的基础上改造而成，在沉积过程中，混合气体经单级过滤器过滤后，约有总量30%的粉尘进入泵腔，污染泵油，使得泵频繁发生卡滞现象。本实用新型包括一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、真空泵，一级过滤器的上部腔体为双层水冷结构，一级过滤器的上部腔体内设置有水冷挡板，一级过滤器的下部为锥形捕集腔，一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器依次连接，三级过滤器输出口与真空泵连接。本实用新型减少固体分子进入真空泵的数量，保证真空泵能长期保持稳定工作状况，减小工人劳动强度，提高生产效率，确保证产品质量的稳定。
文档编号C23C16/44GK202061405SQ201120115199
公开日2011年12月7日 申请日期2011年4月19日 优先权日2011年4月19日
发明者张淑蓉, 王利花 申请人:西安电炉研究所有限公司