专利名称：聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及聚对二甲苯沉积装置，特别是涉及一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构。
技术背景 聚对二甲苯是通过化学气相沉积法制备的具有聚二甲结构的聚合物薄膜的统称，主要有Parylene N(聚对二甲苯)、Parylene C(聚一氯对二甲苯)和Parylene D(聚二氯对二甲苯)三种。聚对二甲苯薄膜具有极其优良的电性能、化学稳定性和生物相容性，在微电子机械系统、电子元器件、医疗器材等领域有着广泛的应用。聚对二甲苯薄膜均采用气相沉积法(CVD工艺)制造，工艺如下对二甲苯二聚体在设备主机系统中180°C下升华为气体，经过高温裂解为对二甲苯单体，再导入真空腔室内部沉积装置中在室温下沉积聚合于产品表面。这种工艺使得聚对二甲苯薄膜具有无残余应力、完全同形、高度均匀、渗透力强等优势。由于上述特性，聚对二甲苯真空卧式沉积系统需要经常拆开设备主机和真空腔室以对管道和部件表面的残膜进行清理，清理完毕后重新联结，并调试联结的状态以保证沉积系统所需要的真空度。目前的聚对二甲苯真空卧式沉积系统连接结构采用的方法是，从真空腔室安装在固定底座的滑槽上，主机和真空腔室内分别伸出管道，由标准KF卡箍将两个管道的管口法兰夹紧，并由其中KF密封圈保持真空密封。通过调试主机和真空腔室的高度和水平度来保证两个管口法兰保持的平行度，从而达到系统所要求的密封性。由于地面很难保持绝对水平，以及设备本身结构变形的影响，使得两个管口法兰面保持平行的调试时间长、难度高。同时由于采用固定底座上方安装滑槽结构，底座占用体积大，腔室高度偏闻，导致占用空间大，广品装卸费力。
实用新型内容为了解决现有技术中聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，主机和真空腔室连接后密封性能较差，安装不方便的问题，本实用新型提供了一种结构简单，主机和真空腔室平行度较好，真空腔室密封性能较好的聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构。为了解决上述问题，本实用新型所采取的技术方案是—种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的一侧墙板直接固定在主机侧壁上；所述真空腔室通过腔室法兰与主机侧壁上的墙板相连接。前述的一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，其特征在于在主机底部安装有可升降的地脚螺栓。在腔室底座底部安装有四个万向轮。前述的一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，其特征在于在腔室法兰内设置有密封作用的密封圈。所对应的墙板部分表面光滑平整，形成密封面。[0010]本实用新型的有益效果是本实用新型取消采用外延管道口法兰连接结构，改为真空腔室墙板直接连接主机侧壁上，由于腔室法兰直径是原管道法兰直径的十倍以上，法兰和墙板平面之间的接触面积得到放大，降低了对平行度的要求；同时一次性调整主机地脚螺栓来保证墙板与真空腔室法兰的平行度，后续拆装腔室不用再进行平行度调整，设备更容易保证密封性。底座下方安装万向轮结构后，减少了腔室占用空间，移动方便，腔室高度降低至与装卸车平台同等高度，产品取装不用举高，直接从装卸车平台平移至真空腔室内，大大减轻劳动强度。
图I是本实用新型聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结 构的结构示意图。图2是图I的右视图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型做进一步的描述。如图1-2所示，一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机I、底座7、滚桶和真空腔室2，在真空腔室2内设置有滚桶，在主机I旁设置有底座7，在底座7的上方设置有真空腔室2，在真空腔室2的侧壁上设置有腔室法兰，真空腔室2安装有腔室法兰的一侧墙板3与主机I侧壁相连接。在腔室法兰内设置有密封作用的密封圈。通过腔室法兰与真空腔室墙板3直接连接将真空腔室2与主机I相连，由于腔室法兰直径较大，腔室法兰和侧壁平面之间的不平行度得到减小，降低了保持平行的难度，真空腔室2更容易保证较好的真空性。在主机I底部安装有地脚螺栓5，在底座7的底部安装有四个万向轮6，且4个万向轮6均匀分布，这样底座7移动十分方便，同时节省了空间，大幅的降低了真空腔室2的高度，产品取装不用举高，且可用小车，大大减轻了劳动强度。安装时，先以腔室法兰为基准，调整地脚螺栓5将主机侧壁的墙板面3与腔室法兰平行，日常使用时，由于主机I底部的地脚螺栓5固定不动，只要通过万向轮6将底座7推到位，这样真空腔室2法兰平面与主机墙板平面3就是平行的，真空腔室2整体就具有较好的密封性能，保证了真空腔室2的真空性。以上显示和描述了本实用新型的基本原理、主要特征及优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
权利要求1.一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的一侧墙板直接固定在主机侧壁上；所述真空腔室通过腔室法兰与主机侧壁上的墙板相连接。
2.根据权利要求I所述的一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，其特征在于在主机底部安装有可升降的地脚螺栓。
3.根据权利要求I所述的一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，其特征在于在腔室底座底部安装有四个万向轮。
4.根据权利要求I所述的一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，其特征在于在腔室法兰内设置有密封作用的密封圈。
专利摘要本实用新型公开了一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，包括主机、底座、滚桶和真空腔室，在真空腔室内设置有滚桶，其特征在于在主机旁设置有底座，在底座的上方设置有真空腔室，在真空腔室的侧壁上设置有腔室法兰，所述真空腔室安装有腔室法兰的一侧侧壁与主机侧壁相连接，所述主机内的输送管穿过主机侧壁并通过管口法兰与真空腔室侧壁配合固定，且输送管伸入到滚桶内。本实用新型解决了现有技术中聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构，主机和真空腔室连接后密封性能较差，安装不方便的问题，提供了一种结构简单，主机和真空腔室平行度较好，真空腔室密封性能较好的聚对二甲苯真空卧式沉积系统新联结结构。
文档编号C23C16/44GK202543315SQ201120447710
公开日2012年11月21日 申请日期2011年11月14日 优先权日2011年11月14日
发明者徐志淮 申请人:昆山彰盛奈米科技有限公司