专利名称：一种用于湿刻蚀机的排风装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种用于湿刻蚀机的槽盖，尤其涉及一种用于湿刻蚀机的带有排风装置的槽盖。
背景技术：
湿刻蚀机是光伏太阳能行业中常用的设备。如图I所示，为现有湿刻蚀机混合槽的槽盖1，结构简单，槽盖I上仅有一个观察窗2。现有湿刻蚀机的槽体3内容易积压酸性或碱性气体，影响硅片方阻的均匀性，使硅片的方阻过大，从而影响硅片的生产效率。
发明内容本实用新型的目的是提供一种用于湿刻蚀机的排风装置。 为了达到上述目的，本实用新型提供了一种用于湿刻蚀机的排风装置，其特征在于，包括槽盖、观察窗和槽体，槽盖设于槽体上，在槽盖上设有观察窗，其特征在于，伸缩管下端垂直设于槽盖的定位孔上，调节阀设于伸缩管的下端。优选地，所述的伸缩管为波纹管。优选地，所述的伸缩管为波纹管。本实用新型通过在现有湿刻蚀机的混合槽槽盖上加装一个排风装置，使湿刻蚀机产生的酸性或碱性气体排放出去，提高了硅片方阻的均匀性，避免了硅片因方阻过大而影响生产效率。
图I为现有湿刻蚀机的混合槽的结构示意图；图2为一种用于湿刻蚀机的排风装置及槽盖的结构示意图。图中I、槽盖；4、定位孔；2、观察窗；5、伸缩管；3、槽体；6、调节阀。
具体实施方式
以下结合附图与实施例对本实用新型作进一步的描述。实施例如图2所示，为一种用于湿刻蚀机的排风装置，在槽盖I上开一个定位孔4，伸缩管5与定位孔4对接。在伸缩管5上安装一个调节阀6，调节阀6可以调节排风的大小。伸缩管5选用波纹管。湿刻蚀机工作时，可以在伸缩管5上连接一个抽风机，加速排风。
权利要求1.一种用于湿刻蚀机的排风装置，其特征在于，包括槽盖(I)、观察窗⑵和槽体(3)，槽盖(I)设于槽体(3)上，在槽盖(I)上设有观察窗(2)，其特征在于，伸缩管(5)下端垂直设于槽盖(I)的定位孔(4)上，调节阀(6)设于伸缩管(5)的下端。
2.如权利要求I所述的一种用于湿刻蚀机的排风装置，其特征在于，所述的伸缩管(5)为波纹管。
专利摘要本实用新型公开了一种用于湿刻蚀机的排风装置。所述的排风装置其特征在于，包括槽盖、观察窗和槽体，槽盖设于槽体上，在槽盖上设有观察窗，其特征在于，伸缩管下端垂直设于槽盖的定位孔上，调节阀设于伸缩管的下端。本实用新型通过在现有湿刻蚀机的混合槽槽盖上加装一个排风装置，使湿刻蚀机产生的酸性或碱性气体排放出去，提高了硅片方阻的均匀性，避免了硅片因方阻过大而影响生产效率。
文档编号C23F1/08GK202576567SQ201220106718
公开日2012年12月5日 申请日期2012年3月20日 优先权日2012年3月20日
发明者王利锋 申请人:百力达太阳能股份有限公司