专利名称：真空蒸发镀膜用的电接触结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构技术领域。
背景技术：
传统的真空蒸发镀膜用的电接触结构，主要是采用人エ驱动接触板接触工作，操作不便，工作性能不稳定，影响镀膜工作。 发明内容本实用新型的目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种结构简单，自动控制，性能稳定的真空蒸发镀膜用的电接触结构。 为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案真空蒸发镀膜用的电接触结构，包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板，所述第一接触板固定安装在大门组件上；所述第二接触板安装在一气缸的伸縮端上，气缸固定在真空室组件上。所述气缸的伸缩轴外端轴向组设ー绝缘柱，绝缘柱的外端固定第二接触板及ー导电压板，导电压板与第二接触板紧贴在一起。所述绝缘柱通过ー螺栓过渡连接到气缸的伸缩轴上。本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作，达到自动化控制，智能性高，工作稳定，能满足生产的需要，且确保生产的稳定性和质量。本实用新型再一优点是结构简単，科学合理，投资成本低，大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。
附图I为本实用新型的较佳实施例结构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型进ー步说明參阅图I所示，本实用新型所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构，包括可相互对接导通的第一接触板I和第二接触板2，第一接触板I固定安装在大门组件3上；所述第二接触板2安装在ー气缸4的伸縮端上，气缸4固定在真空室组件5上。图I所示，本实施的气缸4伸缩轴外端轴向组设ー绝缘柱6，绝缘柱6的外端固定第二接触板2及ー导电压板7，导电压板7与第二接触板2紧贴在一起，电性结构好，可通过1200A的强大电流，大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性。绝缘柱6通过ー螺栓8过渡连接到气缸4的伸缩轴上。结构简单，科学合理，投资成本低，体积小巧，安装、使用方便。工作时，气缸4驱动第二接触板2向前运动，与固定在大门组件3上的第一接触板I接触，从而使蒸发电源和蒸发电极导通，满足生产的需要，当气缸4带动第二接触板2向后运动，则可使第二接触板2与第一接触板I脱离，即可实现蒸发电源和蒸发电极断开，エ作稳定可靠，达到自动化控制，提升了真空蒸发镀膜的稳定性和准确性，提高生产效率和质 量。当然，以上图示仅为本实用新型的较佳实施例，并非以此限定本实用新型的实施范围，故，凡是依照本实用新型之原理做等效变化或修饰，均应涵盖于本实用新型的保护范围内。
权利要求1.真空蒸发镀膜用的电接触结构，包括可相互对接导通的第一接触板(I)和第二接触板(2)，其特征在干第一接触板(I)固定安装在大门组件(3)上；所述第二接触板(2)安装在一气缸(4)的伸缩端上,气缸(4)固定在真空室组件(5)上。
2.根据权利要求I所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构，其特征在干所述气缸(4)的伸缩轴外端轴向组设ー绝缘柱(6)，绝缘柱(6)的外端固定第二接触板(2)及一导电压板(7)，导电压板(7)与第二接触板(2)紧贴在一起。
3.根据权利要求2所述的真空蒸发镀膜用的电接触结构，其特征在于绝缘柱(6)通过ー螺栓(8)过渡连接到气缸(4)的伸缩轴上。
专利摘要本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及真空蒸发镀膜用的电接触结构，包括可相互对接导通的第一接触板和第二接触板，所述第一接触板固定安装在大门组件上；所述第二接触板安装在一气缸的伸缩端上，气缸固定在真空室组件上；所述气缸的伸缩轴外端轴向组设一绝缘柱，绝缘柱的外端固定第二接触板及一导电压板，导电压板与第二接触板紧贴在一起。本实用新型采用气缸驱动接触板接触工作，达到自动化控制，智能性高，工作稳定，能满足生产的需要，且确保生产的稳定性和质量；结构简单，科学合理，投资成本低，大大提高了真空蒸发镀膜机的运行率和可操作性，体积小巧，安装、使用方便。
文档编号C23C14/24GK202595249SQ201220129970
公开日2012年12月12日 申请日期2012年3月31日 优先权日2012年3月31日
发明者赵铭 申请人:广东友通工业有限公司