专利名称：晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其主要利用调整装置的极精细微调，以控制调整台两端的水平距离，促使固定板能保持在最佳的水平角度，提升晶圆的镀膜质量。
背景技术：
传统的晶圆镀膜平台请参阅图1所示，其主要由加热平台10、加热器11及调整台12所组成，该加热器11贯穿设于调整台12，并于加热器11上方设置一加热平台10，因此当调整台12进行水平微调时，能同步微调加热平台10的水平。其次，位于调整台12的端边设置有调整装置13，其由定位杆130及调整螺帽131所组成，该定位杆130固设于调整台12上，再将调整螺帽131由定位杆130下方螺入，而定位于调整台12下方，供使用者旋转调整螺帽131以进行调整台12的水平微调。当晶圆进行镀膜时，需将晶圆放置于加热平台10上(图中未显示)，再启动加热器11使加热平台10能导热以进行晶圆表面镀膜，然而该加热平台10容易受晶圆的重量不平均或热胀冷缩的影响，导致晶圆受热不均匀，而造成镀膜质量不佳。因此，镀膜前必须凭借转动调整螺帽131，以调整加热平台10的水平距离，确保晶圆能均匀受热，但调整时需非常精细，否则容易造成滑片的风险，且每次调整仅凭使用者的先前经验，因此相当耗时费力，尤其每次调整前都无法了解先前调整数据，完全无法掌控调整数据，因此每次调整都必须不断的测试、调整再修正，导致每次调整都相当耗时费力，且成效不明显，影响晶圆的镀膜质量。实用新型设计人有鉴于传统水平微调的缺失，乃极力苦思解决的道，并凭借本身的专业及多年来的工作经验，终于在历经数次的修正、试验与改进后，首创出一种能测量及纪录水平微调的调整装置。
发明内容本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，能精密微调晶圆镀膜平台的水平装置，使晶圆能均匀受热，以降低产品的不合格率，同时能纪录微调数据。为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是:一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其特征在于:主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，该固定板的端边开设有通孔，定位杆插置于通孔以连结固定板与调整台，使固定板能随着调整台的调整而同步移动，该调整装置的调整杆套入调整台的调整通孔，圆头垫圈、差动螺帽、微调手轮及固定螺帽依序套入该调整杆内，该调整装置设有能够通过转动来控制调整台两端的水平距离的差动螺帽及微调手轮，在调整台的侧边对应于该差动螺帽处设置有定位板，在调整台的端边设置有该数字千分表。所述晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其中:该微调手轮底端设置一归零螺帽。所述晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其中:该数字千分表能纪录每次微调数据并自动关电。与现有技术相比较，采用上述技术方案的本实用新型具有的优点在于:利用调整装置的差动螺帽、微调手轮、固定螺帽及归零螺帽进行极精细的微调，以控制调整台两端的水平距离，使固定板能同步随之调整，带动固定板上的加热平台产生极细微的水平调整，促使加热平台能控制在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆达到均匀受热的目的，以提升晶圆镀膜的质量，且当将调整台水平微调后，能凭借数字千分表以纪录微调数据，供下次调整的参考，以节省进行调整的困扰，甚为省时省力，而能提高工作效能。
图1是现有加热装置的立体图；图2是本实用新型的立体分解图；图3是本实用新型的立体图；图4是本实用新型加热机台的示意图；图5是本实用新型使用的示意图。附图标记说明:加热平台10 ;加热器11 ;调整台12 ;调整装置13 ;定位杆130 ;调整螺帽131 ;机台2 ;固定板21 ;通孔210 ;定位杆211 ;调整台22 ;调整通孔220 ;定位板221 ;螺孔2210 ;调整装置23 ;调整杆230 ;差动螺帽231 ;微调手轮232 ;固定螺帽233 ;归零螺帽234 ;圆头垫圈235 ;数字千分表24 ;调整键240 ;加热装置25 ;加热平台250。
具体实施方式
首先，请参阅图2所示，是本实用新型的立体分解图，其主要由固定板21、调整台22、调整装置23及数字千分表24所组成，该固定板21的端边开设有通孔210，而能插设定位杆211以连结调整台22，使固定板21能随着调整台22的水平调整而同步移动，位于调整台22的端边则设置有调整装置23及数字千分表24，该调整装置23由差动螺帽231、微调手轮232、固定螺帽233及归零螺帽234所组成，而于调整台22对应于差动螺帽231的侧边设置有定位板221，以固定差动螺帽231，防止差动螺帽231滑移而造成调整台22水平距离偏差的风险。组装时，请仍然参阅图2并配合图3所示，该调整台22对应连结于固定板21下方，并使固定板21能随着调整台22的调整而移动，再将调整杆230套入调整台22的调整通孔220，然后依序将圆头垫圈235、差动螺帽231、微调手轮232及固定螺帽233套入调整杆230内，而能凭借旋转差动螺帽231及微调手轮232使调整杆230产生极细微的上升或下降，以控制调整台22两端的水平距离，再利用定位板221固定差动螺帽231，防止差动螺帽231偏移而影响水平距离，然后再将固定螺帽233螺固于微调手轮232下方，以稳固调整装置23，且于微调手轮232底端设置有归零螺帽234，而能将微调手轮232归零，避免混淆调整数据，至于数字千分表24则设置于调整台22的侧边，供显示及纪录调整装置23的调整数据。使用时，请继续参阅图4所示，该机台2设置有加热装置25，并于加热装置25顶端设置一加热平台250，且令加热平台250穿设于固定板21上，而该加热平台250依据固定板21两端的水平距离设置。因此，当晶圆进行镀膜时，先启动加热装置25，再将晶圆放置于加热平台250上(图中未显示)，使位于加热平台250上的晶圆能均匀受热，才能达到使晶圆表面均匀镀膜，否则一旦晶圆受热不均，容易产生瑕疵，所以需利用调整台22的调整装置23进行微调，使加热平台250能平均受热，以提升镀膜的成功率。调整时，请再参阅图5所示，先粗调差动螺丝231使调整台22两端的水平角度达到理想的受热范围，然后将螺丝螺入定位板221的螺孔2210(图中未显示)，而能将差动螺丝231与定位板221螺固，避免调整台22偏移，接着再旋转微调手轮232，以进行极精密的微调，该微调手轮232转一圈约产生6mil的齿距，而微调手轮232共具有24个刻度，因此每一刻度约为0.25mil齿距，使用上非常精细，当微调手轮232旋转后，即能配合数字千分表24做纪录，尤其数字千分表24会自动记忆调整纪录，供作为下次调整的参考依据。当调整完成后，可将微调手轮232归零，然后锁紧归零螺帽234，防止微调手轮232转动，接着再按压数字千分表24的调整键240，而能将合数字千分表24归零，以免混淆使用数据，且当任一侧的数字千分表24的数据显示不同时，能实时方便的调整，最后再将微调手轮232下方的固定螺帽233螺紧固定，避免微调手轮232转动而产生误差，且该数字千分表24会自动关电，而当无通电进行调整时，也能保持纪录状态，相当实用。因此，凭借调整装置23进行极精细的微调，能避免过度调整造成滑片风险，且使调整台22的水平距离产生极细微的变化，而能同步调整固定板21，并促使固定板21—起微距调整水平角度，使位于固定板21上方的加热平台250 (请回顾图4所示)能均匀受热，令位于加热平台250上放置的晶圆能平均受热(图中未显示)，有效降低晶圆镀膜的不合格率，以提升晶圆镀膜的质量，且不必花费太多时间进行水平调整，并能同时纪录该次调整数据，更可实时做校正归零，确实掌握调整资料，以作为下次调整的参考，非常省时省力。综上所述，本实用新型于固定板下方设置调整台及调整装置，而能进行极细微的水平微调，同时能纪录微调数据，不仅加快调整速度，更能将该次调整数据纪录于数字千分表内，供作为调整水平的参考，更有效提升晶圆镀膜的质量。
权利要求1.一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其特征在于:主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，该固定板的端边开设有通孔，定位杆插置于通孔以连结固定板与调整台，使固定板能随着调整台的调整而同步移动，该调整装置的调整杆套入调整台的调整通孔，圆头垫圈、差动螺帽、微调手轮及固定螺帽依序套入该调整杆内，该调整装置设有能够通过转动来控制调整台两端的水平距离的差动螺帽及微调手轮，在调整台的侧边对应于该差动螺帽处设置有定位板，在调整台的端边设置有该数字千分表。
2.根据权利要求1所述晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，其特征在于:该微调手轮底端设置一归零螺帽。
专利摘要本实用新型涉及一种晶圆镀膜的加热平台的水平微调及纪录装置，特别是指一种能精密微调晶圆镀膜平台的水平装置，使晶圆能均匀受热，以降低产品的不合格率，同时能纪录微调数据。其主要由固定板、调整台、调整装置及数字千分表所组成，而能利用调整装置的极精细微调，以控制调整台两端的水平距离，使固定板能同步随之调整，促使固定板上的加热平台能调整在理想的水平角度，使位于加热平台上的晶圆能均匀受热，以提升晶圆镀膜的质量，且于水平调整后，能凭借数字千分表以纪录微调数据，供下次调整的参考，相当进步且实用。
文档编号C23C14/54GK202989276SQ20122059838
公开日2013年6月12日 申请日期2012年11月13日 优先权日2012年11月13日
发明者许庆丰 申请人:许庆丰