一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，属于一种在线监测装置。该装置的组成单元包括：光学探头，光谱分析装置，显示装置；光学探头置于卷绕镀膜设备内部，分为前中后三个单元；光学探头安装于镀膜腔室隔离装置与镀膜鼓之间的镀膜腔室狭缝内，镀膜鼓与收卷室之间设置有透射光学探头和反射光学探头。本实用新型在线监测卷绕镀膜设备各个镀膜腔室膜层特性，及时调整工艺参数，达到连续生产，提高生产效率及产能。
【专利说明】一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，属于一种在线监测
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【背景技术】
[0002]触控产品基材包括柔性基板与玻璃基板两种，但两种方式都在集成多层功能薄膜工艺方面共同推进着产业的技术革新。投射电容式触摸屏的生产需要对透明导电膜(如ΙΤ0)做出图形线条。虽然触摸屏图形工艺相较半导体或液晶显示的图形工艺相对简单，但它们能够被人的眼睛辨别出来(但为显示质量而采用极致的图形工艺及设备又大可不必)。为解决可见线条的问题，通过叠加薄膜的方式，既保持了触摸屏器件光学特性的总体表现又可以在视觉上令线条图案得以隐匿。更好的是，以上叠加膜层兼具抗反射膜的特性，令显示器件的视觉体验变得更佳。
[0003]卷绕镀膜设备在线监测一般采用单个反射探测装置及单个透射装置用于探测产品光谱特性，对于镀制多层膜设备系统而言，不能探测各个膜层特性而导致无法实时改变在线参数，降低生产效率及产能。
【发明内容】
[0004]为了克服上述缺陷，本实用新型的目的在于提供一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，能够实时探测卷绕镀膜设备各个镀膜腔室内膜层光学特性并及时作出分析，以保证产品膜层均一性。
[0005]为了达到上述目的，本实用新型采用如下技术方案:
[0006]一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，该装置的组成单元包括:光学探头，光谱分析装置，显示装置；光学探头置于卷绕镀膜设备内部，分为前中后三个单元；光学探头安装于镀膜腔室隔离装置与镀膜鼓之间的镀膜腔室狭缝内，镀膜鼓与收卷室之间设置有透射光学探头和反射光学探头。
[0007]光学探头由光纤连接至光谱分析装置；光谱分析装置位于镀膜设备外侧。
[0008]光学探头上表面不影响基材运动；
[0009]光谱分析装置位于镀膜设备外侧，分析在线探测光谱信号；
[0010]不同腔室光谱信号通过不同光纤通道传入光谱分析装置并由显示装置显示；
[0011]狭缝内光学探头探测分别各个镀膜腔室内膜层光学特性，镀膜鼓与收卷室之间探测产品光学特性；
[0012]镀膜腔室狭缝内光学探头探测膜层反射光谱，镀膜鼓与收卷室之间光学探头探测反射及透射光谱。
[0013]本实用新型与现有技术相比有如下技术优点:
[0014]本实用新型在线监测卷绕镀膜设备各个镀膜腔室膜层特性，及时调整工艺参数，达到连续生产，提高生产效率及产能。【专利附图】
【附图说明】
[0015]图1为本实用新型的结构示意图。
[0016]1-光学探头；2-光谱分析装置；3-显示装置；4-镀膜腔室隔离装置；5-镀膜鼓表面；6-基材；7-间隙。
[0017]图2为基材与镀膜腔室隔离装置的部分结构示意图。
[0018]图3为本实用新型的实施例结构示意图。
[0019]8、9、10、11、12、13、14_镀膜腔室狭缝；15-透射光学探头；16-反射光学探头；17-放卷室；18-收卷室；19-镀膜腔室；20-阴极靶位；21-镀膜鼓。
【具体实施方式】
[0020]为了详细叙述本实用新型专利的上述特点，优势和工作原理，下面结合说明书附图1，附图2，附图3【具体实施方式】对本实用新型做进一步的说明，但本实用新型所保护的范围并不局限于此。
[0021]本实用新型组成单元包括:光学探头I，光谱分析装置2，显示装置3 ;光学探头I置于卷绕镀膜设备内部，分为前中后三个单元，在线探测膜层光学特性，安装于镀膜腔室隔离装置与镀膜鼓之间的镀膜腔室狭缝8 ;9 ;10 ;11 ;12 ;13 ;14内，光学探头I上表面不影响基材6运动；光学探头I由光纤连接至光谱分析装置2 ;光谱分析装置2位于镀膜设备外侧，分析在线探测光谱信号；不同腔室光谱信号通过不同光纤通道传入光谱分析装置2并由显示装置3显示；镀膜腔室狭缝8 ;9 ；10 ；11 ；12 ；13 ；14内光学探头探测分别各个镀膜腔室内膜层光学特性，镀膜鼓与收卷室之间透射光学探头15和反射光学探头16探测产品总膜层光学特性；镀膜腔室狭缝8 ；9 ；10 ；11 ；12 ；13 ；14内光学探头I探测膜层反射光谱，镀膜鼓与收卷室之间透射光学探头15和反射光学探头16探测反射及透射光谱；
[0022]卷绕镀膜设备共含有六个镀膜腔室，基材放置于放卷室内，与镀膜鼓紧密贴合，基材运动过程中分别经过不同镀膜腔室并镀制不同膜层，反射光谱通过光学探头经过光谱分析装置，最终显示于显示装置。
[0023]光学探头I安装于镀膜腔室狭缝8 ;9 ；10 ；11 ；12 ；13 ；14内，分别放置于与狭缝平行方向前中后三个位置，用于探测不同位置膜层反射光谱，镀膜腔室狭缝内光学探头I为基材反射光谱，作为参考光谱；镀膜腔室狭缝9内光学探头探测第一层膜层反射光谱；镀膜腔室狭缝10探测第二层与第一层叠加反射光谱；以此类推；透射光学探头15和反射光学探头16分别探测产品透射光谱及反射光谱。生产过程中由于单个膜层参数变化导致均一性下降时，对应不同位置处反射光谱发生变化，根据变化趋势及时改变工艺参数以保证各膜层均一'I"生。
[0024]以上所述实施例仅表达了本专利的一种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本专利构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。因此，本专利的保护范围应以所附权利要求为准。
【权利要求】
1.一种卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，其特征在于:该装置的组成单元包括:光学探头(1)，光谱分析装置(2)，显示装置(3);光学探头(I)置于卷绕镀膜设备内部，分为前中后三个单元；光学探头(I)安装于镀膜腔室隔离装置(4)与镀膜鼓(21)之间的镀膜腔室狭缝(8 ；9 ；10 ；11 ；12 ；13 ；14)内，镀膜鼓(21)与收卷室(18)之间设置有透射光学探头(15)和反射光学探头(16)。
2.根据权利要求1所述的卷绕镀膜机在线监测膜层光学特性装置，其特征在于:光学探头(I)由光纤连接至光谱分析装置(2);光谱分析装置(2)位于镀膜设备外侧。
【文档编号】C23C14/56GK203451613SQ201320491833
【公开日】2014年2月26日 申请日期:2013年8月13日 优先权日:2013年8月13日
【发明者】李晨光 申请人:南昌欧菲光科技有限公司