真空镀膜机减压装置制造方法
【专利摘要】本实用新型涉及机械【技术领域】，具体涉及一种减压装置。真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，升级用罗茨泵组包括1号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的进气口与1号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的出气口与第三罗茨泵组联通。本实用新型通过对泵的合理连接从而减小真空室内的气压，起到辅助减压的作用，从而减小整个真空镀膜系统的能耗。
【专利说明】真空镀膜机减压装置【技术领域】
[0001]本实用新型涉及机械【技术领域】，具体涉及一种减压装置。
【背景技术】
[0002]真空镀膜是指在真空条件下采用加热或其他方式，在固体表面镀一层与基体材料不同的薄膜材料，也可以利用固体本身生产一层与基体不同的薄膜材料，即真空镀膜技术。在真空条件下镀膜，膜不易受污染，可获得纯度高、致密性好、厚度均匀的膜层。
[0003]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
[0004]镀膜处理时所需的高真空单靠一种类型的泵是无法达到要求的，根据压力范围的要求分别使用适当的泵是很有必要的。如何合理有效的对泵进行排布连接将对真空镀膜机的内部真空度有着必不可分的联系，还将影响镀膜的质量。如若在合理安排泵的连接关系从而保证真空镀膜机内部在镀膜所需的真空度的同时，合理对真空镀膜机内部进行减压，更有利于镀膜质量。
实用新型内容
[0005]本实用新型的目的在于，提供一种真空镀膜机减压装置，以解决上述技术问题。
[0006]本实用新型所解决的技术问题可以采用以下技术方案来实现：
[0007]真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗`茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，其特征在于，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，所述升级用罗茨泵组包括I号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；
[0008]所述I号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；
[0009]所述2号升级用罗茨泵的进气口与所述I号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；
[0010]所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组联通。
[0011]以所述第三罗茨泵组为前级泵，所述第三罗茨泵组是为了降低罗茨泵的排出压力，由于罗茨泵的压缩比是有限的，从而通过选择特定抽速的前级泵以改善罗茨泵的有限压缩比。本实用新型在合理安排泵的个数的前提下，提高了本实用新型罗茨泵的级数，减少了管路连接，并提高了罗茨泵的抽速和效率。
[0012]所述第一罗茨泵组包括至少三个罗茨泵，所述第二罗茨泵组包括至少二个罗茨泵，所述第三罗茨泵组包括至少三个罗茨泵。
[0013]作为一种优选方案，所述第一罗茨泵组包括三个罗茨泵，所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室下室的下方。
[0014]所述第二罗茨泵组包括二个罗茨泵，所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室上室的左侧。
[0015]所述第三罗茨泵组包括三个罗茨泵。
[0016]所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室下室之间均设有一阀门；
[0017]所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室上室之间也均设有一阀门。
[0018]所述I号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室之间以及与第一罗茨泵组之间均设有一阀门。
[0019]所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组之间设有一阀门。
[0020]有益效果：本实用新型通过对罗茨泵的合理连接，进一步增加了罗茨泵的级数，从而进一步提高了罗茨泵抽真空的能力，从而减小整个真空镀膜系统的能耗。
【专利附图】
【附图说明】
[0021]图I为现有技术真空镀膜机减压装置结构示意图；
[0022]图2为本实用新型的具体实施I的结构示意图。
【具体实施方式】
[0023]为了使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体图示进一步阐述本实用新型。
[0024]真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，升级用罗茨泵组包括I号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵；1号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的进气口与I号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通；2号升级用罗茨泵的出气口与第三罗茨泵组联通。
[0025]以第三罗茨泵组为前级泵，第三罗茨泵组是为了降低罗茨泵的排出压力，由于罗茨泵的压缩比是有限的，从而通过选择特定抽速的前级泵以改善罗茨泵的有限压缩比。
[0026]第一罗茨泵组包括至少三个罗茨泵，第二罗茨泵组包括至少二个罗茨泵，第三罗茨泵组包括至少三个罗茨泵。
[0027]具体实施I,参见图2,第一罗茨泵组I包括三个罗茨泵,第一罗茨泵组I中的各罗茨泵位于镀膜机的真空室下室的下方。第二罗茨泵组2包括二个罗茨泵，第二罗茨泵组2中的各罗茨泵位于镀膜机的真空室上室的左侧。第三罗茨泵组3包括三个罗茨泵。第一罗茨泵组I中的各罗茨泵与镀膜机的真空室下室之间均设有一阀门；第二罗茨泵组2中的各罗茨泵与镀膜机的真空室上室之间也均设有一阀门。I号升级用罗茨泵4的进气口与镀膜机的真空室下室之间以及与第一罗茨泵组I之间均设有一阀门。2号升级用罗茨泵5的出气口与第三罗茨泵组3之间设有一阀门。
[0028]现有技术，参见图1，与本实用新型参见图2，相比在未增加罗茨泵的个数的前提下，提高了下室罗茨泵的级数，从而提高了下室罗茨泵抽真空的强度与效率。
[0029]以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
【权利要求】
1.真空镀膜机减压装置，包括与镀膜机的真空室下室联通的第一罗茨泵组、与镀膜机的真空室上室联通的第二罗茨泵组、与大气联通的第三罗茨泵组，各罗茨泵组中罗茨泵并联，其特征在于，还包括一用于提高罗茨泵的级数的升级用罗茨泵组，所述升级用罗茨泵组包括I号升级用罗茨泵、2号升级用罗茨泵； 所述I号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室以及第一罗茨泵组联通； 所述2号升级用罗茨泵的进气口与所述I号升级用罗茨泵的出气口以及第二罗茨泵组联通； 所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组联通。
2.根据权利要求I所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组包括至少三个罗茨泵，所述第二罗茨泵组包括至少二个罗茨泵，所述第三罗茨泵组包括至少三个罗茨泵。
3.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组包括三个罗茨泵，所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室下室的下方。
4.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第二罗茨泵组包括二个罗茨泵，所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵位于所述镀膜机的真空室上室的左侧。
5.根据权利要求2所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第三罗茨泵组包括三个罗茨泵。
6.根据权利要求I至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述第一罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室下室之间均设有一阀门； 所述第二罗茨泵组中的各罗茨泵与镀膜机的真空室上室之间也均设有一阀门。
7.根据权利要求I至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述I号升级用罗茨泵的进气口与镀膜机的真空室下室之间以及与第一罗茨泵组之间均设有一阀门。
8.根据权利要求I至5中任意一项所述的真空镀膜机减压装置，其特征在于，所述2号升级用罗茨泵的出气口与所述第三罗茨泵组之间设有一阀门。
【文档编号】C23C14/56GK203546140SQ201320618117
【公开日】2014年4月16日 申请日期:2013年10月8日 优先权日:2013年10月8日
【发明者】陈显东 申请人:上海宏昊企业发展有限公司