一种新型真空镀膜的制造方法
【专利摘要】一种新型真空镀膜机，它涉及真空镀膜机【技术领域】。真空室(1)的上端设置有放气孔(2)，真空室(1)内设置有电离规管(3)，真空室(1)的下端设置有扩散泵(4)，扩散泵(4)与储气桶(5)连接，储气桶(5)的上端设置有低阀(6)和热偶计规管(7)，储气桶(5)通过橡胶管(8)与机械泵(9)连接，且储气桶(5)与机械泵(9)之间设置有磁力阀(10)。它结构设计合理，操作简单，使用方便，生产制造成本低，加工效果高，镀膜效果好，能够满足中高档产品的镀膜要求。
【专利说明】一种新型真空镀膜机【技术领域】:
[0001]本实用新型涉及真空镀膜机【技术领域】，尤其涉及一种新型真空镀膜机。
【背景技术】:
[0002]一些光学零件的光学表面需要用物理方法或化学方法镀上一层或多层薄膜，使得光线经过该表面的反射光特性或透射性特性发生变化，许多机械加工所采用的刀具表面也需要沉积一层致密的、结合牢固的超硬镀层而使其得以硬化，延长其使用寿命，提高切削效率，从而改善被加工部件的精度和光洁度。目前，作为物理镀膜方法的真空镀膜，尤其是纳米级超薄膜制作技术，已广泛地应用在电真空、无线电、光学、原子学、空间技术等领域及我们的生活中。
[0003]真空镀膜实质上是在高真空状态下利用物理方法在镀件的表面上镀上一层薄膜的技术，它是一种物理现象，真空镀膜按其方式不同可分为真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和现代发展起来的离子镀膜。而现有的真空镀膜机结构设计不够合理，操作复杂，使用不够方便，生产制造成本高，镀膜效果不够好，无法满足中高档产品的镀膜要求。实用新型内容:
[0004]本实用新型的目的是提供一种新型真空镀膜机，它结构设计合理，操作简单，使用方便，生产制造成本低，加工效果高，镀膜效果好，能够满足中高档产品的镀膜要求。
[0005]为了解决【背景技术】所存在的问题，本实用新型是采用以下技术方案:它是由真空室1、放气孔2、电离规管3、扩散泵4、储气桶5、低阀6、热偶计规管7、橡胶管8、机械泵9、磁力阀10组成；真空室I的上端设置有放气孔2，真空室I内设置有电离规管3，真空室I的下端设置有扩散泵4，扩散泵4与储气桶5连接，储气桶5的上端设置有低阀6和热偶计规管7，储气桶5通过橡胶管8与机械泵9连接，且储气桶5与机械泵9之间设置有磁力阀10。
[0006] 所述的扩散泵4内设置有导流管4-1，导流管4-1的上端设置有喷嘴4-2，导流管4-2的下端设置有加热器4-3，扩散泵4的两侧均匀设置有数个冷却水管4-4。
[0007]本实用新型在使用过程中，首先在扩散泵4的底部加有扩散泵油，扩散泵油在真空中加热到沸腾时，产生的油蒸汽沿导流管4-1上升，再经过各级喷嘴4-2向下高速喷出，随着喷嘴处低压区的形成，进气口处的气体便进入泵体内，再由排气口进入储气桶压缩储存后经机械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵体底部被重新加热，如此循环工作达到抽真空的目的，此种扩散泵的抽真空极限可以达到1.73 X IO-5Pa,另外，在使用扩散泵时应该注意在真空下状态下进行，防止扩散泵油被氧化变质，还要保证冷却水的畅通。
[0008]本实用新型结构设计合理，操作简单，使用方便，生产制造成本低，加工效果高，镀膜效果好，能够满足中高档产品的镀膜要求。
【专利附图】
【附图说明】:
[0009]图1是本实用新型的结构示意图；
[0010]图2是本实用新型中扩散泵的内部结构示意图。【具体实施方式】:
[0011]参照图1，图2，本【具体实施方式】采用以下技术方案:它是由真空室1、放气孔2、电离规管3、扩散泵4、储气桶5、低阀6、热偶计规管7、橡胶管8、机械泵9、磁力阀10组成；真空室I的上端设置有放气孔2，真空室I内设置有电离规管3，真空室I的下端设置有扩散泵4，扩散泵4与储气桶5连接，储气桶5的上端设置有低阀6和热偶计规管7，储气桶5通过橡胶管8与机械泵9连接，且储气桶5与机械泵9之间设置有磁力阀10。
[0012]所述的扩散泵4内设置有导流管4-1，导流管4-1的上端设置有喷嘴4-2，导流管4-2的下端设置有加热器4-3，扩散泵4的两侧均匀设置有数个冷却水管4-4。
[0013]本【具体实施方式】在使用过程中，首先在扩散泵4的底部加有扩散泵油，扩散泵油在真空中加热到沸腾时，产生的油蒸汽沿导流管4-1上升，再经过各级喷嘴4-2向下高速喷出，随着喷嘴处低压区的形成，进气口处的气体便进入泵体内，再由排气口进入储气桶压缩储存后经机械泵9抽出；油蒸汽遇到泵壁后被冷凝又回到泵体底部被重新加热，如此循环工作达到抽真空的目的，此种扩散泵的抽真空极限可以达到1.73X 10_5Pa，另外，在使用扩散泵时应该注意在真空下状态下进行，防止扩散泵油被氧化变质，还要保证冷却水的畅通。
[0014]本【具体实施方式】结构设计合理，操作简单，使用方便，生产制造成本低，加工效果高，镀膜效果好，能够满足中高档产品的镀膜要求。
【权利要求】
1.一种新型真空镀膜机，其特征在于它是由真空室(I)、放气孔(2)、电离规管(3)、扩散泵(4)、储气桶(5)、低阀(6)、热偶计规管(7)、橡胶管(8)、机械泵(9)、磁力阀(10)组成；真空室(I)的上端设置有放气孔(2)，真空室(I)内设置有电离规管(3)，真空室(I)的下端设置有扩散泵(4)，扩散泵(4)与储气桶(5)连接，储气桶(5)的上端设置有低阀(6)和热偶计规管(7)，储气桶(5)通过橡胶管(8)与机械泵(9)连接，且储气桶(5)与机械泵(9)之间设置有磁力阀(10)。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜机，其特征在于所述的扩散泵(4)内设置有导流管(4-1)，导流管(4-1)的上端设置有喷嘴(4-2)，导流管(4-2)的下端设置有加热器(4-3)，扩散泵(4)的两侧均匀设置有数个冷却水管(4-4)。
【文档编号】C23C14/22GK203530416SQ201320692916
【公开日】2014年4月9日 申请日期:2013年11月5日 优先权日:2013年11月5日
【发明者】毛昌海 申请人:艾瑞森表面技术（苏州）有限公司