1.一种倒置式推举电缸装置，其特征在于，包括电缸安装在电缸杆上，电缸杆为中空结构，内设有推杆，推杆为可伸缩结构；电缸杆固定在所安装的沉积设备的上盖板上；推杆穿过上盖板，在推杆的端部安装限位压块，与安装在腔体上的限位开关相配合在限位开关与上盖板所安装的沉积设备的腔体底面之间限定一定的空行程。
2.按照权利要求1所述的倒置式推举电缸装置，其特征在于，电缸杆为固定长度。
3.按照权利要求1所述的倒置式推举电缸装置，其特征在于，开腔时，腔体支撑上盖板与电缸杆不动，推杆先延伸向下运动空行程长度至腔体底面，推杆继续延伸，以腔体底面为支撑，带动电缸杆及上盖板一起向上运动，腔体开启；关闭腔体时，推杆收缩，推杆以腔体底面为支撑，带着电缸杆及上盖板向下运动，直至腔体关闭；上盖板与腔体壁板接触后，推杆向上回缩，上盖板在重力的作用下，完全贴合腔体壁板，腔体闭合后推杆继续回缩空行程的长度，限位压块触发限位开关，运动结束。