1.一种溅射装置，包括：
靶单元，具有阴极极性；
阳极部，布置在基板和所述靶单元之间且具有阳极极性；
电机部，旋转所述阳极部；以及
第一冷却流体供应部，与所述阳极部的内部空间连通，以向所述阳极部供应第一冷却流体。
2.如权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，
所述阳极部包括多个阳极棒，
所述电机部包括多个第一电机，为使所述多个阳极棒旋转而分别安装于所述多个阳极棒的一端，
所述阳极棒的内部空间相互连通。
3.如权利要求2所述的溅射装置，其特征在于，多个阳极棒分别包括：
第一管，提供所述第一冷却流体能够流动的空间；
以及第二管，容纳所述第一管，与所述电机联动而旋转。
4.如权利要求3所述的溅射装置，其特征在于，
所述第一管及所述第二管包括铝或钼。
5.如权利要求3所述的溅射装置，其特征在于，
还包括第二冷却流体供应部，向所述阳极部供应第二冷却流体，
所述第二冷却流体在所述第一管的外部沿着所述第二管流动。
6.如权利要求5所述的溅射装置，其特征在于，
所述第一冷却流体是冷却的液态氮，
所述第二冷却流体是冷却的空气。
7.如权利要求2所述的溅射装置，其特征在于，
所述电机部还包括多个第二电机，为了使所述多个阳极棒旋转而分别安装在所述多个阳极棒的另一端。
8.如权利要求2所述的溅射装置，其特征在于，
还包括绝缘部件，具备容纳所述靶单元的靶单元孔，且使所述靶单元和所述阳极部绝缘。
9.如权利要求8所述的溅射装置，其特征在于，
还包括框架，与所述绝缘部件结合而支撑所述多个阳极棒。
10.如权利要求1所述的溅射装置，其特征在于，
所述第一冷却流体供应部包括多个冷却线。