技术总结
本发明公开一种溅射装置，根据示例性的实施例的溅射装置包括：具有阴极极性的靶单元；布置在基板和靶单元之间，并具有阳极极性的阳极部；使阳极部旋转的电机部；以及与阳极部的内部空间连通而向阳极部供应第一冷却流体的流体供应部。根据示例性实施例，可以减少阳极棒的弯曲现象，因此可以减少阳极棒和靶单元之间可能发生的电弧(arcing)现象，并可以减少为清洗或更换阳极棒而中断工序所导致的生产性下降。
技术研发人员：姜贤株;孙尚佑;朴俊龙;申相原;郑敞午
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
文档号码：201511026395
技术研发日：2015.12.31
技术公布日：2017.01.11