机械式流化沉积系统和方法与流程

技术特征：

技术总结
允许高效、有成本效益地生产硅的机械式流化系统和构成。可将微粒提供到被加热的盘或锅，该盘或锅振荡或振动以得到反应表面。微粒在盘或锅中向下迁移，并且随着反应产物达到所期望状态，反应产物在盘或锅中向上迁移。排放的气体可重新循环。

技术研发人员：马克·W·达塞尔;乌韦·克冉特;大卫·A·布莱斯勒
受保护的技术使用者：斯泰克有限责任公司;马克·W·达塞尔
技术研发日：2015.12.23
技术公布日：2017.10.13