1. 一种具备耐磨耐蚀涂层钨镍合金的制备方法,该方法包括如下步骤:
(1)制备基体
按以下重量组份配制混合粉
碳化钨,90.1%-92.8%,费氏粒度0.8-1μm;
镍粉,5%-6%,费氏粒度0.5-1.0μm;
碳化铬,余量;
将上述配比的混合粉进行湿磨;其中球磨时间分段控制;先将碳化物粉及添加剂碳化铬加入球磨筒湿磨12-16小时,再加入镍粉湿磨14-18小时;
将球磨完毕的混合料料浆干燥;
将干燥混合料压制成所需形状的压制品;
将压制品放在烧结炉内高温烧结,烧结温度为1450-1470℃, 保温时间70-90min,烧结压力为4.5-5.0Mpa,获得钨镍合金基体;
(2)基体预处理
所述基体预处理,可依次进行研磨抛光、超声清洗和离子源清洗;
(3)溅射沉积
将预处理后的基体置于镀膜设备真空腔体中,选用Cr、AlSi靶,靶电流为50-100A,工件上施加-20—-50V负偏压,控制加热温度为400℃-450℃,通入氩气和氮气,通过控制氩气流量、氮气流量以及沉积时间在基体表面依次沉积Cr层、CrN层以及CrAlSiN层组成,具体如下:
(31)氩气流量保持为150sccm-200sccm,氮气流量为0sccm,沉积1.5-2.5h,得到Cr层;
(32)氩气流量保持为20-80sccm,氮气流量为100sccm-300sccm,沉积时间为3-5h,得到CrN层;
(33)氩气流量保持为50-100sccm,氮气流量为450sccm-700sccm,沉积时间为10-15h,得到CrAlSiN层;
待涂层沉积完毕后,在真空环境下冷却至220℃以下,然后在氮气保护气氛下冷却至100℃以下,最后放气至大气压,开腔出炉,即在基体表面获得复合涂层。
2.如权利要求1所述的方法,其特征在于,在所述步骤(2)中,所述研磨抛光,可将基体先在600目的金刚石砂轮盘上进行粗磨10min,然后在1200目的金刚石砂轮盘上进行细磨10min,再用W2.5的金刚石抛光粉进行抛光至试样表面均匀光亮,所述超声清洗,可将研磨抛光后的基体按以下顺序清洗,丙酮超声清洗5min→无水乙醇超声清洗5min→烘干待用,所述离子源清洗,可采用霍尔离子源对基体进行清洗5min,压强为2×10-2Pa,基体温度为300℃,氩气通量为10sccm,偏压为-100V,阴极电流为29.5A,阴极电压为19V,阳极电流为7A,阳极电压为80V,以清除基体表面的吸附气体以及杂质,提高沉积涂层与基体的结合强度以及成膜质量。