一种镍钛系形状记忆合金及其制备方法和应用与流程

技术特征：

1.一种镍钛系形状记忆合金，其特征在于，该合金由钛、镍、铜、钴、钕元素构成。

2.根据权利要求1所述的一种镍钛系形状记忆合金，其特征在于，按原子百分比包括如下组分：钛原子百分比含量为45-50%、镍的原子百分比含量为30-38%；铜的原子百分比含量为10-13%、钴的原子百分比含量为10-13%、余量为钕。

3.根据权利要求1所述的一种镍钛系形状记忆合金，其特征在于，所述形状记忆合金的厚度为2-50微米。

4.根据权利要求1所述的一种镍钛系形状记忆合金，其特征在于，所述形状记忆合金的显微结构中包含Ti₂Cu与Ti₂Ni相。

5.根据权利要求4所述的一种镍钛系形状记忆合金，其特征在于，所述形状记忆合金中的Ti₂Cu与Ti₂Ni相的尺寸小于500纳米。

6.权利要求1~5任一项所述的形状记忆合金的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

1）按照上述的合金材料制备靶材；

2）采用磁控溅射制备薄膜状的形状记忆合金，抽真空至10^-3Pa以上，充入氩气，然后再抽真空至10^-3Pa，调整工作电压为500V，溅射占空比60-70%，开始进行溅射沉积，控制厚度为2-50微米；

3）对步骤2）得到的形状记忆合金进行退火热处理得到形状记忆合金。

7.根据权利要求6所述的形状记忆合金的制备方法，其特征在于，所述退火热处理温度为650-720摄氏度。

8.权利要求1~5任一项所述的形状记忆合金在工业控制、医疗器械方面的应用。