辊式输送设备、板状体的检查装置、及玻璃板的制造装置的制作方法

技术领域

本发明涉及辊式输送设备及板状体的检查装置、以及玻璃板的制造装置。

背景技术：

作为液晶显示器等的FPD(Flat Panel Display：平板显示器)用玻璃板的制造方法的一例，已知有使用了被称为浮法的成形法的浮法制造方法。

浮法制造方法具备：向积存于浮槽的熔融金属的表面供给熔融玻璃而成形为带状玻璃板的成形工序；将所述带状玻璃板切断成规定尺寸的矩形形状的玻璃板，并对切断后的玻璃板的周缘部进行磨削的切断倒角工序；对于所述玻璃板的被研磨面，通过研磨装置对该被研磨面的微小的凹凸或起伏进行研磨除去的研磨工序；及检查工序。

所述检查工序具备：对研磨结束后的玻璃板进行刷清洗之后，通过高压水进行清洗的清洗工序；将来自气刀喷嘴的压缩空气向玻璃板喷射而对玻璃板进行干燥清洁化的干燥清洁化工序；及测定被研磨面的平坦度(起伏高度相对于起伏间距的比率)的平坦度测定工序。

通过经由这些工序，将玻璃板制造成适合于FPD用玻璃板的厚度0.2～1.5mm且平坦度高的玻璃板。

专利文献1公开了以FPD用玻璃板为对象的批式的研磨装置。专利文献1的研磨装置具备：吸附保持玻璃板的吸附片；由张设有该吸附片的膜框构成的膜体。根据该研磨装置，向膜体与安装膜体的托架之间供给加压流体，通过加压流体的压力将由吸附片吸附保持的玻璃板的被研磨面压紧于研磨垫，并使玻璃板与研磨垫相对旋转(自转及/或公转)来研磨被研磨面。而且，在研磨时，将浆液向研磨垫与被研磨面之间供给。需要说明的是，由研磨垫研磨的玻璃板的被研磨面在FPD的制造工序中是制造TFT(Thin Film Transistor：薄膜晶体管)或CF(Color Filter：滤色器)的面，是要求高精度的平坦度的面。

另一方面，在平坦度测定工序中，检查研磨后的玻璃板的被研磨面的平坦度是否收敛在适合于TFT或CF的制造的规格值内。该平坦度的检查例如使用专利文献2公开的平坦度测定装置(检查装置)进行。

根据专利文献2的平坦度测定装置，将具有周期性的明暗的图案向玻璃板照射，并接受透过了玻璃板的图案或反射的图案，实现为了检测受光图像中的明暗周期的偏差(相对于向玻璃板照射的图案中的明暗周期的偏差)而向玻璃板照射的图案中的明暗周期所对应的尺寸的受光图像中的区域的明暗的平均化，并基于平均化的信号来算出玻璃板的平坦度。

如上述那样，在研磨工序(研磨装置)中研磨了被研磨面的玻璃板由检查工序(平坦度测定装置)检查被研磨面的平坦度，但是由于浆液附着于研磨结束后的玻璃板，因此通过检查工序的所述清洗工序将附着于玻璃板的浆液冲掉。然后，在平坦度测定装置中，为了防止残存于玻璃板的水滴、尘埃引起的误检测，在检查工序的所述干燥清洁化工序中，通过来自气刀喷嘴的压缩空气将水滴、尘埃除去，在对玻璃板进行了干燥清洁化之后，实施基于平坦度测定装置的平坦度测定。需要说明的是，平坦度测定在未研磨玻璃板的玻璃板的制造方法例如熔化法中也实施。

另外，玻璃板通过由多根辊构成的辊式输送设备从研磨装置到平坦度测定装置被连续搬运，铺设在具有所述气刀喷嘴的干燥生产线上的辊的轴承中，为了避免从轴承泄漏的润滑脂附着于玻璃板，而使用的是不使用润滑脂的具有自润滑性的氟树脂等的树脂制或将氟树脂等树脂涂覆于轴承钢的轴承(以下，称为树脂轴承)。而且，也存在具有陶瓷制的滚动体的树脂轴承。

【在先技术文献】

【专利文献】

【专利文献1】日本国特开2004-122351号公报

【专利文献2】日本国专利第3411829号公报

技术实现要素：

【发明要解决的课题】

然而，即便是不使用润滑脂的树脂轴承，由于树脂轴承的磨损也会产生树脂的粉尘，在该粉尘飞散而附着于玻璃板的情况下，在基于平坦度测定装置的检查工序中存在导致误检测这样的问题。

本发明鉴于这样的情况而作出，其目的在于提供一种辊由树脂轴承支承的辊式输送设备、且能够抑制从树脂轴承产生的粉尘的飞散的辊式输送设备及板状体的检查装置、以及玻璃板的制造装置。

【用于解决课题的方案】

本发明为了实现所述目的，而提供一种辊式输送设备，利用辊来搬运板状体，所述辊式输送设备具备：多根辊，沿着所述板状体的搬运路径配置；树脂制或涂覆有树脂的树脂轴承，具有滚动体、及夹持该滚动体并以能够滚动的方式收容该滚动体外圈和内圈，将所述多根辊的各自的轴支承为旋转自如；液体供给装置，向所述滚动体、所述外圈的与所述滚动体相接的轨道面、及所述内圈的与所述滚动体相接的轨道面供给液体；及罩盖，包围所述树脂轴承。

根据本发明，从液体供给装置向树脂轴承的滚动体、外圈的与滚动体相接的轨道面、内圈的与滚动体相接的轨道面供给液体，因此能够使由于树脂的磨损而产生的树脂的粉尘向液体混入，而且，由于树脂轴承由罩盖包围，因此能够抑制所述粉尘的飞散。而且，液体作为润滑剂发挥作用，因此树脂轴承的使用寿命延长。

树脂轴承由外圈、内圈、滚动体及保持器构成，滚动体、滚动体与保持器的滑动面、滚动体相接的外圈的轨道面、及滚动体相接的内圈的轨道面是发尘部位。向该发尘部位供给液体而使产生的树脂的粉尘封入液体的情况是本发明的特征。

〔树脂轴承的定义〕

本发明的树脂轴承是将构成轴承的外圈、内圈、滚动体及保持器中的至少一个构件形成为树脂制或涂覆有树脂的轴承。然而，当所述构件中的至少一个构件形成为未涂覆树脂的轴承钢露出的构件时，树脂轴承的自润滑性下降。因此，作为优选的树脂轴承的结构，全部的构件优选为树脂制或向轴承钢涂覆树脂的构件。

树脂轴承的全部的构件为树脂制时的树脂的材料没有特别限定，但优选为超高分子量聚乙烯(UHMW‐PE：ultra high molecular weight‐polyethylene)、聚四氟乙烯(PTFE：polytetrafluoroethylene)、或聚醚醚酮(PEEK：polyetheretherketone)。涂覆的树脂的材料没有特别限定，但优选具有自润滑性的氟树脂或聚酰亚胺树脂。轴承(滚动体、外圈及内圈)的材料没有特别限定，但优选硬且具有耐磨损性的陶瓷或高碳铬钢。

而且，从强度、寿命及轻量化的观点出发，更优选将外圈、内圈及保持器设为超高分子量聚乙烯制并将滚动体设为陶瓷制。

本发明的一方案优选的是，所述液体供给装置具备：支架构件，具备对所述树脂轴承的所述外圈进行保持的保持部及所述液体的流路；及液体循环供给单元，向所述支架构件的所述流路的入口供给所述液体，并将从所述流路的出口排出的所述液体向所述流路的入口循环供给。

根据本发明的一方案，在具备对树脂轴承的外圈进行保持固定的保持部的支架构件上设有液体的流路，因此无需将流路与支架构件另行设置，由此能够削减零件个数。液体通过液体循环供给单元而向流路的入口供给，在通过流路的过程中向树脂轴承的滚动体、外圈的与滚动体相接的轨道面、内圈的与滚动体相接的轨道面供给。并且，从流路的出口排出的液体利用液体循环供给单元而向流路的入口循环供给。需要说明的是，若在液体的循环通路设置过滤器并通过该过滤器来捕获向液体混入的粉尘，则能够始终将清洁的液体向流路供给。

本发明的一方案优选的是，所述支架构件的所述流路具有：隔着所述保持部而设置在一侧且与所述流路的入口连通的第一流路；及隔着所述保持部而设置在另一侧且与所述流路的出口连通的第二流路，所述第一流路与所述第二流路经由所述保持部而连通。

根据本发明的一方案，从流路的入口向第一流路供给的液体流过第一流路而向保持部流入。由此，向由保持部保持的树脂轴承供给液体。并且，向树脂轴承供给的液体从保持部向第二流路流入而流过第二流路，从流路的出口排出。通过将这样的第一流路及第二流路设于支架构件，能够向树脂轴承顺畅地供给液体。

本发明的一方案优选的是，在所述支架构件的所述第一流路与所述保持部之间、及所述保持部与所述第二流路之间，分别具备在所述保持部堵住所述液体的堰堤构件，所述树脂轴承的滚动体的一部分、所述外圈的轨道面的一部分、及所述内圈的轨道面的一部分浸渍于被所述保持部堵住的所述液体。

根据本发明的一方案，由于通过堰堤构件将向保持部供给的液体堵住，因此树脂轴承的滚动体的一部分、外圈的轨道面的一部分及内圈的轨道面的一部分成为始终浸渍于液体的状态。由此，能够大幅抑制来自树脂轴承的粉尘的飞散。

本发明的一方案优选的是，所述辊的所述轴插通于所述树脂轴承的所述内圈，在隔着所述内圈而位于两侧的所述轴上设置有滑动防止构件，所述滑动防止构件的端面抵接于所述内圈的端面并利用紧固用具而固定于所述轴。

根据本发明的一方案，通过滑动防止构件的限动作用，辊的轴相对于内圈沿轴向不滑动，能够防止滑动引起的发尘，因此来自树脂轴承的发尘量能够比以往减少。由此，能够进一步抑制粉尘的飞散。

另外，本发明为了实现所述目的，提供一种板状体的检查装置，具备：一边搬运板状体一边进行清洗的清洗部；一边搬运由所述清洗部清洗后的所述板状体一边进行干燥并进行清洁化的干燥清洁化部；及对由所述干燥清洁化部干燥并清洁化后的所述板状体进行检查的检查部，其中，将本发明的辊式输送设备配置于所述干燥清洁化部。

根据本发明的板状体的检查装置，由于将发明的辊式输送设备配置于干燥清洁化部，因此能够大幅减少所述粉尘附着于板状体的情况引起的检查装置的误检测的发生频度。

本发明的一方案优选的是，所述板状体是玻璃板。

根据本发明的一方案，由于在玻璃板的检查装置的干燥清洁化部配置有本发明的辊式输送设备，因此玻璃板的检查精度大幅提高。

另外，本发明提供一种玻璃板的制造装置，具备：

成形部，将熔融玻璃成形为带状玻璃板；

切断倒角部，将所述带状玻璃板切断成规定尺寸的矩形形状的玻璃板，并对切出的所述玻璃板的周缘部进行磨削；

清洗部，一边搬运对周缘部进行了磨削后的所述玻璃板一边进行清洗；

干燥清洁化部，一边搬运由所述清洗部清洗后的所述玻璃板一边进行干燥并进行清洁化；及

检查部，对由所述干燥清洁化部干燥并清洁化后的所述玻璃板进行检查，所述玻璃板的制造装置中，

将本发明的辊式输送设备配置于所述干燥清洁化部。

根据本发明的一方案，由于在玻璃板的检查装置的干燥清洁化部配置有本发明的辊式输送设备，因此能够制造出玻璃板的检查精度大幅提高的玻璃板。

【发明效果】

根据本发明的辊式输送设备，能够抑制从树脂轴承产生的树脂的粉尘的飞散。由此，根据本发明的板状体的检查装置，能够大幅减少所述粉尘附着于板状体的情况引起的误检测的发生频度。

附图说明

图1是表示液晶显示器用的玻璃板制造装置及玻璃板检查装置的各工序的框图。

图2是表示图1的玻璃板检查装置的结构的俯视图。

图3是表示图1的玻璃板检查装置的清洗装置及干燥清洁化装置的结构的侧视图。

图4是详细表示辊式输送设备的结构的俯视图。

图5是从图4的A-A′线观察到的辊式输送设备的主视图。

图6是树脂轴承及支架构件的从上方观察到的组装立体图。

图7是图6的支架构件的从下方观察到的立体图。

图8是表示包含支架构件的液体供给装置的结构的框图。

图9是固定于支架构件的树脂轴承由罩盖包围的立体图。

图10是在图9中将罩盖拆下的树脂轴承及支架构件的侧视图。

【标号说明】

10…玻璃板制造装置，12…玻璃板检查装置，14…成形工序，16…切断倒角工序，18…研磨工序，20…清洗工序，22…干燥清洁化工序，24…平坦度测定工序，26…清洗装置，28…干燥清洁化装置，30…玻璃板，32…辊式输送设备，34…刷清洗部，36…辊式输送设备，38…旋转刷，40、42…高压水喷射装置，44、46…喷嘴，48…壳体，49…干燥清洁化空间，50、52…气刀喷嘴，54…辊，54A、54B、54C…辊，56…树脂轴承，57…齿轮机构，58…轴，59…驱动部，60…圆盘体，61…环状缓冲构件，62…支架构件，64…液体供给装置，66…罩盖，68…滚动体，70…外圈，72…轨道面，74…内圈，76…轨道面，76A…最下点，78…液体循环装置，80…保持部，82…流路，84…流路的入口，86…流路的出口，88…泵，90…循环通路，92…上升通路，94…下降通路，96…第一流路，98…第二流路，100、102…堰堤构件，104、106…切口，108…滑动防止构件，110…螺钉，112…电磁阀，114…控制部。

具体实施方式

以下，根据附图来详细说明本发明的辊式输送设备及板状体的检查装置的优选的实施方式。

在实施方式中，说明向设置在液晶显示器用的玻璃板制造装置上的玻璃板检查装置(板状体的检查装置)适用的辊式输送设备。然而，适用本发明的辊式输送设备的装置没有限定为玻璃板检查装置。即，只要是防止从对辊式输送设备的辊进行支承的轴承产生的粉尘附着于板状体的装置都能够适用本发明的辊式输送设备。而且，虽然例示液晶显示器用的玻璃板作为板状体，但也可以是等离子体显示器、有机EL显示器等其他的FPD用玻璃板。而且，没有限定为玻璃板，也可以是金属制或树脂制的板状体。

图1是表示液晶显示器用的玻璃板制造装置10及玻璃板检查装置12的各工序的框图。

玻璃板制造装置10的制造工序包括：由成形装置(成形部)进行的成形工序14；由切断倒角装置(切断倒角部)进行的切断倒角工序16；由专利文献1等公开的研磨装置进行的研磨工序18；由清洗装置(清洗部)进行的清洗工序20；由干燥清洁化装置(干燥清洁化部)进行的干燥清洁化工序22；及由专利文献2等公开的平坦度测定装置(检查部)进行的平坦度测定工序24。而且，玻璃板检查装置12的检查工序包括清洗工序20、干燥清洁化工序22及平坦度测定工序24。

成形工序14是向积存于浮槽的熔融金属的表面供给熔融玻璃而成形为带状玻璃板的工序。切断倒角工序16是将所述带状玻璃板切断成规定尺寸的矩形形状的玻璃板并对切出的玻璃板的周缘部进行磨削的工序。研磨工序18是对玻璃板的被研磨面的微小的凹凸或起伏进行研磨而除去的工序。清洗工序20是在对研磨结束后的玻璃板进行刷清洗之后，通过高压水进行清洗，将附着于玻璃板的浆液、研磨屑除去的工序。干燥清洁化工序22是将压缩空气向玻璃板喷射而对玻璃板进行干燥清洁化的工序。平坦度测定工序24是对玻璃板的被研磨面的平坦度进行测定的工序。通过上述的工序而玻璃板为适合于液晶显示器用的玻璃板的厚度，且能得到平坦度高的玻璃板。

上述的玻璃板的制造方法基于浮法，但本实施方式也可以适用于熔化法等。需要说明的是，在利用熔化法等将锻造面形成为元件形成面的制造方法来制造玻璃板时，研磨工序18省略。

图2是简要表示玻璃板检查装置12的结构的俯视图，图3是表示玻璃板检查装置12的清洗装置(清洗工序20：参照图1)26及干燥清洁化装置(干燥清洁化工序22：参照图1)28的结构的侧视图。

如图2所示，通过研磨工序18研磨了被研磨面的玻璃板30借助辊式输送设备32，依次通过构成清洗装置26的刷清洗部34、高压水喷射装置40、42(参照图3)、及干燥清洁化装置28，向平坦度测定工序24的平坦度测定装置搬入。需要说明的是，辊式输送设备32中的铺设于干燥清洁化装置28的辊式输送设备36是具备树脂轴承的实施方式的辊式输送设备。而且，在图2中，为了容易理解地图示玻璃板30，不是由实线而是由双点划线表示。

图4是详细表示辊式输送设备36的结构的俯视图，图5是从图4的A-A′线观察到的主视图。

辊式输送设备36的各辊由轴58和与玻璃板30的下表面抵接的多个圆盘体60、60…构成，并将多个圆盘体60以规定的间隔配置于轴58。在图2中，为了避免烦杂而省略圆盘体60的图示，仅概略地图示比圆盘体60的直径小的树脂轴承56及轴58。而且，如图4及图5所示，在与玻璃板30的下表面抵接的圆盘体60的外周部安装有橡胶制或树脂制的环状缓冲构件61，防止给玻璃板30的下表面造成伤痕。

如图4及图5那样，轴58的两端部从干燥清洁化装置28的壳体48向外方突出地配置，经由齿轮机构57而与驱动部59连结。轴58将来自驱动部59的动力经由齿轮机构57传递，从而被驱动而旋转，由此圆盘体60旋转而搬运玻璃板30。

图2所示的刷清洗部34具备配置在辊式输送设备32的上方且以玻璃板30的被研磨面的铅垂方向为轴而沿水平方向旋转的多台旋转刷38、38…。玻璃板30一边由辊式输送设备32搬运，一边通过与被研磨面抵接而旋转的旋转刷38、38…将附着于被研磨面的浆液及研磨尘埃除去。

高压水喷射装置40如图3所示隔着辊式输送设备32而配置在上方，高压水喷射装置42隔着辊式输送设备32而配置在下方。如图3的左侧的箭头所示，玻璃板30一边由辊式输送设备32搬运，一边通过从高压水喷射装置40的喷嘴44喷射出的高压水来清洗其被研磨面(上表面)，并通过从高压水喷射装置42的喷嘴46喷射出的高压水来清洗其下表面。

通过了清洗装置26的玻璃板30由辊式输送设备32搬入到干燥清洁化装置28的壳体48内。并且，在通过配置在壳体48内的辊式输送设备36进行的搬运中，附着于玻璃板30的水滴、尘埃等由来自多个气刀喷嘴50、52(在图2及图3中为各1个)的压缩空气除去。如图2的下侧的箭头及图3的右侧的箭头所示，通过了气刀喷嘴50、52的玻璃板30向平坦度测定工序24搬运。需要说明的是，配置有气刀喷嘴50、52的干燥清洁化空间49由壳体48密闭。由此，在壳体48的外侧浮游的粉尘不会侵入干燥清洁化空间49。而且，在图2～图4中，将气刀喷嘴50、52上下配置一对，但也可以隔开间隔地将多对气刀喷嘴配置在壳体48内。

气刀喷嘴50在辊式输送设备36的上方且沿着玻璃板30的搬运方向设置。气刀喷嘴52在辊式输送设备36的下方且沿着玻璃板30的搬运方向设置。而且，气刀喷嘴50与气刀喷嘴52在上下方向上成对设置。而且，气刀喷嘴50、52为了有效地除去附着于玻璃板30的水滴、尘埃等，而如图2那样相对于玻璃板30的搬运方向倾斜规定角度地配置。

此外，辊式输送设备36为了将来自气刀喷嘴52的压缩空气高效地向玻璃板30的下表面喷射，而如图2、图4及图5那样将配置气刀喷嘴52的部分切断。

即，当着眼于构成辊式输送设备36的多根辊中的图2的标号54所示的辊时，该辊54避开气刀喷嘴52的配置位置而分割成2根辊54A、54B。并且，从壳体48向外部突出的辊54A的左端部支承于未图示的一般的轴承(轴承钢制的轴承)，位于壳体48内的辊54A的右端部支承于实施方式的树脂轴承56。而且，从壳体48向外部突出的辊54B的右端部支承于未图示的一般的轴承(轴承钢制的轴承)，位于壳体48内的辊54B的左端部支承于树脂轴承56。即，树脂轴承56适用于在壳体内配置的轴承。

需要说明的是，关于构成辊式输送设备36的其他的多根辊，基本上成为与辊54同样的结构，因此省略其说明。

接着，说明具备树脂轴承56的辊式输送设备36的基本的结构及作用。

图6是树脂轴承56及对树脂轴承56进行支承的大致长方体形状的支架构件62的从上方观察到的组装立体图，图7是支架构件62的从下方观察到的立体图，图8是表示包含支架构件62的液体供给装置64的结构的框图，在支架构件62处为主视图，为了观察到图6所示的堰堤构件100而将一部分剖切表示。图9是固定于支架构件62的树脂轴承56由透明树脂制的罩盖66包围的立体图，图10是在图9中将罩盖66拆下的树脂轴承56及支架构件62的侧视图。

图4及图5所示的实施方式的辊式输送设备36为了避免在壳体48内从轴承漏出的润滑脂附着于检查前的玻璃板30，而使用的是不使用润滑脂的具备自润滑性的树脂轴承56作为配置在壳体48内的轴承。并且，设有向图6那样的树脂轴承56的滚动体68、外圈70的与滚动体68相接的内周面即轨道面72、内圈74的与滚动体68相接的外周面即轨道面76、及保持滚动体68的保持器(未图示)供给液体(例如纯水、城市水、或地下水等水)的、图8的液体供给装置64。而且，如图9那样设置包围树脂轴承56的罩盖66。需要说明的是，图6所示的粗箭头表示树脂轴承56相对于支架构件62的组装方向，细箭头表示支架构件62中的所述液体的流动方向。

通过上述结构，根据实施方式的辊式输送设备36，由于从液体供给装置64向树脂轴承56的滚动体68、外圈70的与滚动体68相接的轨道面72、内圈74的与滚动体68相接的轨道面76、及保持器供给液体，因此由于树脂轴承56的磨损而产生的树脂的粉尘会混入液体。由此，能够减少来自树脂轴承56的发尘量，而且，由于树脂轴承56由罩盖66包围，因此从树脂轴承56产生的粉尘中的未混入液体的粉尘不会向罩盖66外飞散。因此，根据实施方式的辊式输送设备36，能够抑制从树脂轴承56产生的粉尘的飞散。

另外，根据具备实施方式的辊式输送设备36的玻璃板检查装置12，能够大幅减少所述粉尘附着于玻璃板30的情况引起的平坦度测定工序24中的误检测的发生频度，因此基于平坦度测定装置的玻璃板30的检查精度大幅提高。

需要说明的是，实施方式的树脂轴承56从强度、寿命及轻量化的观点出发，外圈70、内圈74及所述保持器是超高分子量聚乙烯制，滚动体68是陶瓷制。而且，向树脂轴承56供给的液体作为润滑剂发挥作用，因此也具有树脂轴承56的使用寿命延长这样的优点。

接着，说明液体供给装置64的特征。

液体供给装置64具备图8那样大致长方体形状的支架构件62和液体循环装置(液体循环供给单元)78。支架构件62在其上表面具备保持部80且具备图6那样的液体的槽状的流路82，该保持部80具有通过嵌合来保持树脂轴承56的外圈70的下半部分的圆弧状的凹曲面。而且，在图7所示的支架构件62的下部的一端设有流路82(参照图6)的入口84，并且在另一端设有流路82的出口86。

图8的液体循环装置78具有循环通路90，该循环通路90具备向流路82的入口84供给液体并将从流路82的出口86排出的液体向流路82的入口84循环供给的泵88。从流路82的入口84供给的液体经由设于支架构件62的上升通路92向支架构件62的上表面的流路82供给，在通过了流路82之后，经由设于支架构件62的下降通路94从出口86排出。

根据如此构成的液体供给装置64，在具备固定树脂轴承56的保持部80的支架构件62设有液体的流路82，因此无需将流路82与支架构件62另行设置，由此能够削减零件个数。

另外，液体借助液体循环装置78在通过流路82的过程中向树脂轴承56的滚动体68、外圈70的与滚动体68相接的轨道面72、内圈74的与滚动体68相接的轨道面76供给。并且，从流路82的出口86排出的液体借助泵88向流路82的入口84循环供给。需要说明的是，若在液体的循环通路90设置过滤器，并通过该过滤器来捕获混入液体的粉尘，则能够始终将粉尘的含有量少的液体向流路82供给。

接着，说明流路82的特征。

支架构件62的流路82如图6那样具备第一流路96和第二流路98。而且，第一流路96与第二流路98经由保持部80而连通。

第一流路96隔着保持部80的圆弧状的凹曲面而设置在一方侧，并经由上升通路92而与流路82的入口84连通。第二流路98隔着保持部80的圆弧状的凹曲面而设置在另一方侧，并经由下降通路94而与流路82的出口86连通。上升通路92设置在第一流路96的一端，下降通路94设置在第二流路98的另一端，但是上升通路92及下降通路94的设置部位没有特别限定，也可以设置在各流路的中央。需要说明的是，第二流路98的另一端是与所述第一流路96的一端所设置的一侧相反的一侧。

根据如此构成的流路82，从流路82的入口84经由上升通路92向第一流路96供给的液体流过第一流路96，向保持部80流入。由此，向由保持部80保持的树脂轴承56供给液体。并且，向树脂轴承56供给的液体从保持部80向第二流路98流入而流过第二流路98，经由下降通路94从流路82的出口86排出。通过将这样的第一流路96及第二流路98设于支架构件62，能够向树脂轴承56顺畅地供给液体。

接着，说明第一流路96和第二流路98的特征。

在支架构件62的第一流路96与保持部80之间、及保持部80与第二流路98之间，分别具备在保持部80堵住(积存)液体的堰堤构件100、102。由此，在由保持部80堵住的液体中浸渍有树脂轴承56的滚动体68的一部分、外圈70的轨道面72的一部分及内圈74的轨道面76的一部分。

根据具备这样的堰堤构件100、102的第一流路96及第二流路98，通过堰堤构件100、102能够堵住向保持部80供给的液体，因此位于树脂轴承56的下部的滚动体68、外圈70的与该滚动体68相接的轨道面72、及内圈74的与该滚动体68相接的轨道面76成为始终没入(浸渍于)液体的状态。由此，能够大幅抑制来自树脂轴承56的粉尘的飞散。

需要说明的是，在堰堤构件100的上部中央具备使液体从第一流路96向保持部80流入的凹状的切口104，在堰堤构件102的上部中央具备使液体从保持部80向第二流路98流入的凹状的切口106。切口104、106的底部的高度、即由保持部80堵住的液体的水面设定在比固定于保持部80的树脂轴承56的图8中双点划线所示的内圈74的轨道面76的最下点76A靠上方的位置。由此，树脂轴承56的滚动体68的一部分、外圈70的与该滚动体68相接的轨道面72的一部分、及内圈74的与该滚动体68相接的轨道面76的一部分始终浸渍于液体。

然而，图10那样辊式输送设备36的辊的轴58经由一对滑动防止构件108、108而固定于树脂轴承56的内圈74。即，该固定方法首先将轴58插通于内圈74。接着，从内圈74的两端面各自的方向将圆圈状的滑动防止构件108、108向轴58嵌入。接着，使各个滑动防止构件108、108的与内圈74相对的端面与内圈74的两侧端面接触。即，利用滑动防止构件108、108将内圈74夹持。需要说明的是，滑动防止构件108的外径优选为内圈74的外径以下。若滑动防止构件108的外径为内圈74的外径以下，则不会阻碍液体的流动。并且，最后，向从滑动防止构件108的外周面朝向内周面设置的贯通螺纹孔插通螺钉(紧固用具)110、110，将2个滑动防止构件108、108固定于轴58。由此，辊式输送设备36的辊的轴58经由滑动防止构件108、108而固定于树脂轴承56的内圈74。

辊的轴58相对于内圈74，通过滑动防止构件108、108的限动作用来不会沿轴向的滑动。由此，能够防止所述滑动引起的从树脂轴承56的内圈74的发尘，因此能够更进一步抑制粉尘的飞散。

另外，如图8那样，液体供给装置64具备向液体循环装置78的循环通路90开始及停止液体的供给的电磁阀(阀)112。根据需要而对电磁阀112进行开闭，由此能够开始及停止液体的供给。

而且，电磁阀112进行的液体的供给的开始动作及停止动作由控制部114控制。在不需要始终向树脂轴承56供给液体时，只要通过控制部114每规定时间对电磁阀112进行开闭控制，来进行液体的供给的开始动作及停止动作即可。而且，控制部114为了节电而仅在必要时使泵88运转。即，控制部114也控制泵88的运转/停止。

虽然详细地而且参照特定的实施方式说明了本发明，但是不脱离本发明的范围和主旨而能够施加各种修正或变更的情况对于本领域技术人员来说不言自明。

本申请基于2012年10月5日提出申请的日本专利申请2012-222761，并将其内容作为参照而援引于此。