技术总结
本发明公开了一种炉管尾气处理管道，在外管内并列设有第一、第二内管，第一、第二内管独立设有加热元件，并可通过设于其两端的分路切换阀的切换择一地与外部导通，外管两端连接有接头，接头独立设有加热元件，第一、第二内管分别设有进水口和出水口，用于进出清洗介质；本发明可有效减少副产物在管道内的堆积，降低管道堵塞的几率，保护炉管中工艺产品的安全性；并且自带清洗的功能可使得管道在安装后无须经常更换和清洗，减少了设备的宕机时间。
技术研发人员：张乐成;王智;苏俊铭
受保护的技术使用者：上海华力微电子有限公司
文档号码：201611059866
技术研发日：2016.11.22
技术公布日：2017.02.22