1.一种可作为滑动元件表层涂层的氮掺杂DLC膜的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
（1）以丙酮、酒精、去离子水分别对衬底进行超声波清洗，除去表面的杂质和油污，并用电吹风吹干以备用；
（2）将清洗干净的衬底置于样品基架上；
（3）溅射腔室中，用氮气轰击石墨靶材3-5分钟，清洗和活化靶材；
（4）把经过清洗的衬底放入溅射腔室，在真空度抽至10-5Pa时，通入溅射气体氮气，使其起辉，进行预溅射3-15分钟，除去靶材表面的杂质、污物；
（5）进行镀膜的过程中，石墨靶材的工艺参数为：50~200W，溅射腔室工作气压为02~1.5Pa，溅射时间为10—60min，偏压为-50—200W，进行磁控溅射镀膜，镀膜后直接获得一种可作为滑动元件表层涂层的氮掺杂DLC膜。
2.根据权利要求1所述的一种可作为滑动元件表层涂层的氮掺杂DLC膜的制备方法，其特征在于步骤1所用衬底材料选择Si片、玻璃、金属中的任一种。
3.根据权利要求1所述的一种可作为滑动元件表层涂层的氮掺杂DLC膜的制备方法，其特征在于氮气既作为溅射起辉气体，又作为反应掺杂气体。