管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置的制作方法

文档序号:12393946阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置,其特征在于:包括石墨舟输送装置、工艺点推出装置和工艺点收纳装置,所述工艺点推出装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方,所述工艺点收纳装置可拆卸安装在所述石墨舟输送装置的正下方;

所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置,所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上;

所述石墨舟固定夹具包括底板(1),所述底板(1)上固定安装有安装块(2),所述安装块(2)上开有直角开口(3),两个所述安装块(2)对称设置,所述底板(1)上开有螺纹孔,所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉(4),所述底板(1)上开有若干与石墨舟(18)上的工艺孔相对应的工艺通孔(5);

所述工艺点推出装置包括导向装置和推出装置,所述导向装置与所述推出装置相对设置;

所述导向装置包括导向板(6)和驱动导向板(6)升降的升降装置,所述导向板(6)固定安装在所述升降装置上,所述导向板(6)上开有若干导向孔(7),若干所述导向孔(7)与石墨舟(18)上的工艺孔相对应;

所述推出装置包括推板(9)和驱动推板(9)升降的升降装置,所述推板(9)固定安装在所述升降装置上,所述推板(9)上固定安装有若干与石墨舟(18)上的工艺孔相对应的推杆(10),所述推杆(10)与所述导向孔(7)同轴心。

2.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置,其特征在于:所述移动装置为丝杆驱动装置,包括丝杆(11),丝杆转动装置、具有滑槽的导轨(12)和滑块,所述丝杆(11)驱动装置与所述丝杆(11)固定连接,所述滑块与所述丝杆(11)传动连接,所述滑块滑动安装在所述导轨(12)内。

3.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置,其特征在于:所述升降装置为推动缸。

4.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置,其特征在于:所述工艺点收纳装置为收纳箱(8)。

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