技术总结
本实用新型涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点拆卸装置，包括石墨舟输送装置、工艺点推出装置和工艺点收纳装置，工艺点推出装置设置在石墨舟输送装置的正上方，工艺点收纳装置可拆卸安装在石墨舟输送装置的正下方。本实用新型包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，在石墨舟固定夹具上安装固定好装有工艺点的石墨舟后，使用移动装置将固定好的石墨舟移动到导向板的正下方，导向板通过升降装置下移到与石墨舟上工艺点的上表面接触，最后通过工艺点推出装置将工艺点推出石墨舟的工艺孔，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了拆卸效率，提高了劳动生产率。
技术研发人员：邹海军;吴佳俊;吴俊;王少华
受保护的技术使用者：常州亿晶光电科技有限公司
文档号码：201620652726
技术研发日：2016.06.27
技术公布日：2017.01.04