一种旋转磁控多弧靶的制作方法

文档序号:12759094阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种旋转磁控多弧靶,包括圆柱靶管,其特征在于,所述圆柱靶管上设有旋转机构,该旋转机构通过转轴与圆柱靶管连接,圆柱靶管内固定磁铁极靴,该磁铁极靴上设有磁铁组,圆柱靶管内设有冷却水进管,该冷却水进管穿出圆柱靶管外,旋转机构上设有冷却水出口,圆柱靶管上通过管路与冷却水出口连接。

2.根据权利要求1所述的旋转磁控多弧靶,其特征在于,所述磁铁组包括从左至右依次排列的S极磁铁、N极磁铁和S极磁铁,N极磁铁上端和下端各设一个S极磁铁,各个磁铁构成一个磁场回路。

3.根据权利要求2所述的旋转磁控多弧靶,其特征在于,所述磁铁为铁淦氧磁铁。

4.根据权利要求3所述的旋转磁控多弧靶,其特征在于,所述旋转机构设置在圆柱靶管的上方。

5.根据权利要求4所述的旋转磁控多弧靶,其特征在于,所述N极磁铁两侧的S极磁铁对称分布。

6.根据权利要求5所述的旋转磁控多弧靶,其特征在于,所述磁铁组呈“丁”字型。

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