技术总结
本实用新型公开了一种旋转磁控多弧靶，包括圆柱靶管，所述圆柱靶管上设有旋转机构，该旋转机构通过转轴与圆柱靶管连接，圆柱靶管内固定磁铁极靴，该磁铁极靴上设有磁铁组，圆柱靶管内设有冷却水进管，该冷却水进管穿出圆柱靶管外，旋转机构上设有冷却水出口，圆柱靶管上通过管路与冷却水出口连接。本实用新型轰击电流均匀分布，消除了飞弧烧损工件的现象。
技术研发人员：刘广杰
受保护的技术使用者：河源圣飞斯科技有限公司
文档号码：201620777328
技术研发日：2016.07.22
技术公布日：2017.01.25