一种金刚石涂层刀具生长装置的制作方法

文档序号:12430851阅读:来源:国知局

技术特征:

1.一种金刚石涂层刀具生长装置,包括真空室(8)、升降基片台(2)和热丝装置(6),其特征是:在真空室(8)内设有立式放置的升降基片台(2),在升降基片台(2)的一侧设有与升降基片台(2)并排设置的热丝装置(6),在热丝装置(6)的两端分别设有水冷电极(3),在升降基片台(2)的另一侧中部设有磁流体(7),在真空室(8)内分别设有进气系统(4)和抽气系统(5)。

2.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具生长装置,其特征是:所述抽气系统(5)的外端与真空泵连接。

3.根据权利要求1所述的金刚石涂层刀具生长装置,其特征是:在真空室(8)的一侧设有前开门(1)。

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