一种金刚石涂层刀具生长装置的制作方法

文档序号:12430851阅读:335来源:国知局

本实用新型涉及一种刀具生长装置,具体地说本实用新型涉及一种金刚石涂层刀具生长装置。



背景技术:

金刚石薄膜是采用物理、化学等方法沉积在衬底材料表面的一层金刚石晶体,金刚石薄膜分为单晶金刚石膜、聚晶金刚石膜和类金刚石膜,它们除了硬度高、导热系数大、化学稳定性好、摩擦系数小等特性外,还具有合成工艺简单、质量容易控制、可在形状复杂的基体表面大面积沉积高质量膜等优点,是一种发展前景广阔的新型刀具材料,但是现有金刚石涂层刀具生长设备主要采用圆形基片台和卧式结构,现有结构导致沉积面积较小,钽丝容易下垂,且沉积不能均匀与持续的问题。



技术实现要素:

为了克服背景技术中的不足,本实用新型公开了一种金刚石涂层刀具生长装置,通过设置立式结构,实现了沉积面积大、钽丝不下垂,能长时间均匀沉积的目的。

为实现上述发明目的,本实用新型采用如下技术方案:

一种金刚石涂层刀具生长装置,包括真空室、升降基片台和热丝装置,在真空室内设有立式放置的升降基片台,在升降基片台的一侧设有与升降基片台并排设置的热丝装置,在热丝装置的两端分别设有水冷电极,在升降基片台的另一侧中部设有磁流体,在真空室内分别设有进气系统和抽气系统。

所述的金刚石涂层刀具生长装置,所述抽气系统的外端与真空泵连接。

所述的金刚石涂层刀具生长装置,在真空室的一侧设有前开门。

由于采用了上述技术方案,本实用新型具有如下优越性:

本实用新型通过设置立式放置的升降基片台与热丝装置,并通过升降基片台安装基片及调节基片与热丝装置之间的距离,达到了钽丝不下垂、沉积面积大、长时间均匀沉积的目的。

【附图说明】

图1是本实用新型的结构示意图;

在图中:1、前开门;2、升降基片台;3、水冷电极;4、进气系统;5、抽气系统;6、热丝装置;7、磁流体;8、真空室。

【具体实施方式】

通过下面的实施例可以更详细的解释本实用新型,本实用新型并不局限于下面的实施例;

结合附图1所述的金刚石涂层刀具生长装置,包括真空室8、升降基片台2和热丝装置6,在真空室8内设有立式放置的升降基片台2,在升降基片台2的一侧设有与升降基片台2并排设置的热丝装置6,在热丝装置6的两端分别设有水冷电极3,在升降基片台2的另一侧中部设有磁流体7,在真空室8内分别设有进气系统4和抽气系统5。

所述的金刚石涂层刀具生长装置,所述抽气系统5为真空泵。

所述的金刚石涂层刀具生长装置,在真空室8的一侧设有前开门1。

实施本实用新型所述的金刚石涂层刀具生长装置,在使用时通过打开前开门1安装升降基片台2,在升降基片台2上放好基片,通过真空泵抽出真空室8内的真空,并通过进气系统4充入工作气体,并通过立式结构的热丝装置6将工作气体离化,调整好升降基片台2上基片与热丝装置6中热丝的距离,在升降基片台2上就能达到大面积均匀的金刚石涂层刀具。

本实用新型未详述部分为现有技术。

为了公开本实用新型的发明目的而在本文中选用的实施例,当前认为是适宜的,但是,应了解的是,本实用新型旨在包括一切属于本构思和实用新型范围内的实施例的所有变化和改进。

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